Προϊόντα

Η ανάπτυξη κρυστάλλων καρβιδίου του πυριτίου είναι μια βασική διαδικασία στην κατασκευή συσκευών ημιαγωγών υψηλής απόδοσης. Η σταθερότητα, η ακρίβεια και η συμβατότητα του εξοπλισμού ανάπτυξης κρυστάλλων καθορίζουν άμεσα την ποιότητα και την απόδοση των πλινθωμάτων καρβιδίου του πυριτίου. Με βάση τα χαρακτηριστικά της τεχνολογίας Physical Vapor Transport (PVT), η Veteksemi έχει αναπτύξει έναν κλίβανο θέρμανσης με αντίσταση για ανάπτυξη κρυστάλλων καρβιδίου του πυριτίου, επιτρέποντας σταθερή ανάπτυξη κρυστάλλων καρβιδίου του πυριτίου 6 ιντσών, 8 ιντσών και 12 ιντσών με πλήρη συμβατότητα με αγώγιμα, ημιμονωτικά υλικά και συστήματα N. Μέσω του ακριβούς ελέγχου της θερμοκρασίας, της πίεσης και της ισχύος, μειώνει αποτελεσματικά κρυσταλλικά ελαττώματα όπως EPD (Etch Pit Density) και BPD (Basal Plane Dislocation), ενώ διαθέτει χαμηλή κατανάλωση ενέργειας και συμπαγή σχεδιασμό που πληροί τα υψηλά πρότυπα βιομηχανικής παραγωγής μεγάλης κλίμακας.

Η τεχνολογία συγκόλλησης σπόρων SiC είναι μία από τις βασικές διαδικασίες που επηρεάζουν την ανάπτυξη των κρυστάλλων. Η VETEK έχει αναπτύξει έναν εξειδικευμένο κλίβανο θερμής πίεσης κενού για τη συγκόλληση σπόρων με βάση τα χαρακτηριστικά αυτής της διαδικασίας. Ο κλίβανος μπορεί να μειώσει αποτελεσματικά διάφορα ελαττώματα που δημιουργούνται κατά τη διαδικασία συγκόλλησης σπόρων, βελτιώνοντας έτσι την απόδοση και την τελική ποιότητα του κρυσταλλικού πλινθώματος.

Ο θάλαμος επιταξιακού αντιδραστήρα Veteksemicon Coated SiC είναι ένα βασικό εξάρτημα σχεδιασμένο για απαιτητικές διαδικασίες επιταξιακής ανάπτυξης ημιαγωγών. Χρησιμοποιώντας προηγμένη χημική εναπόθεση ατμών (CVD), αυτό το προϊόν σχηματίζει μια πυκνή, υψηλής καθαρότητας επίστρωση SiC σε ένα υπόστρωμα γραφίτη υψηλής αντοχής, με αποτέλεσμα ανώτερη σταθερότητα σε υψηλή θερμοκρασία και αντοχή στη διάβρωση. Αντιστέκεται αποτελεσματικά στις διαβρωτικές επιδράσεις των αντιδρώντων αερίων σε περιβάλλοντα διεργασιών υψηλής θερμοκρασίας, καταστέλλει σημαντικά τη μόλυνση από σωματίδια, εξασφαλίζει σταθερή επιταξιακή ποιότητα υλικού και υψηλή απόδοση και επεκτείνει ουσιαστικά τον κύκλο συντήρησης και τη διάρκεια ζωής του θαλάμου αντίδρασης. Αποτελεί μια βασική επιλογή για τη βελτίωση της παραγωγικής απόδοσης και αξιοπιστίας ημιαγωγών ευρείας ζώνης όπως το SiC και το GaN.

Το Silicon Cassette Boat από την Veteksemicon είναι ένας φορέας γκοφρέτας σχεδιασμένος με ακρίβεια και αναπτύχθηκε ειδικά για εφαρμογές κλιβάνων ημιαγωγών υψηλής θερμοκρασίας, συμπεριλαμβανομένης της οξείδωσης, της διάχυσης, της εισαγωγής και της ανόπτησης. Κατασκευασμένο από πυρίτιο εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας και φινιρισμένο σε προηγμένα πρότυπα ελέγχου μόλυνσης, παρέχει μια θερμικά σταθερή, χημικά αδρανής πλατφόρμα που ταιριάζει απόλυτα με τις ιδιότητες των ίδιων των πλακών πυριτίου. Αυτή η ευθυγράμμιση ελαχιστοποιεί τη θερμική καταπόνηση, μειώνει το σχηματισμό ολίσθησης και ελαττωμάτων και εξασφαλίζει εξαιρετικά ομοιόμορφη κατανομή θερμότητας σε όλη την παρτίδα

Στη βασική διαδικασία της επιταξιακής ανάπτυξης καρβιδίου του πυριτίου, η Veteksemicon κατανοεί ότι η απόδοση του υποδοχέα καθορίζει άμεσα την ποιότητα και την απόδοση παραγωγής του επιταξιακού στρώματος. Οι υψηλής καθαρότητας EPI υποδοχείς μας, σχεδιασμένοι ειδικά για το πεδίο SiC, χρησιμοποιούν ένα ειδικό υπόστρωμα γραφίτη και μια πυκνή επίστρωση CVD SiC. Με την ανώτερη θερμική τους σταθερότητα, την εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση και τον εξαιρετικά χαμηλό ρυθμό παραγωγής σωματιδίων, εξασφαλίζουν απαράμιλλο πάχος και ομοιομορφία ντόπινγκ για τους πελάτες ακόμη και σε σκληρά περιβάλλοντα διεργασιών υψηλής θερμοκρασίας. Η επιλογή του Veteksemicon σημαίνει να επιλέξετε τον ακρογωνιαίο λίθο της αξιοπιστίας και της απόδοσης για τις προηγμένες διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών σας.

Ο επικαλυμμένος γραφίτης Veteksemicon SiC για ASM είναι ένα συστατικό φορέα πυρήνα σε επιταξιακές διεργασίες ημιαγωγών. Αυτό το προϊόν χρησιμοποιεί την ιδιόκτητη τεχνολογία επίστρωσης πυρολυτικού καρβιδίου του πυριτίου και τις διαδικασίες μηχανικής κατεργασίας ακριβείας για να εξασφαλίσει ανώτερη απόδοση και εξαιρετικά μεγάλη διάρκεια ζωής σε περιβάλλοντα διεργασιών υψηλής θερμοκρασίας και διαβρωτικότητας. Κατανοούμε βαθιά τις αυστηρές απαιτήσεις των επιταξιακών διεργασιών σχετικά με την καθαρότητα του υποστρώματος, τη θερμική σταθερότητα και τη συνέπεια και δεσμευόμαστε να παρέχουμε στους πελάτες σταθερές, αξιόπιστες λύσεις που βελτιώνουν τη συνολική απόδοση του εξοπλισμού.