Νιτρίδιο πυριτίου

1. Εξαιρετική χημική σταθερότητα

Τα κεραμικά νιτριδίου του πυριτίου έχουν εξαιρετική χημική σταθερότητα και μπορούν να αντέξουν σε μια ποικιλία ισχυρών οξέων, αλκάλων και διαβρωτικών αερίων. Στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών συχνά πρέπει να αντιμετωπίζουν διαβρωτικές χημικές ουσίες, τα κεραμικά νιτριδίου πυριτίου μπορούν να παρέχουν μακροπρόθεσμη σταθερή εγγύηση απόδοσης.

2. Εξαιρετικές μηχανικές ιδιότητες

Τα κεραμικά νιτριδίου του πυριτίου έχουν υψηλή σκληρότητα, εξαιρετική αντοχή σε θλίψη και αντίσταση φθοράς, ικανές να αντέχουν στη μηχανική τάση και η φθορά της επιφάνειας, δεν είναι εύκολο να παραμορφωθεί ή να ρήξει. Αυτή η μηχανική ιδιότητα το καθιστά πολύ κατάλληλο ως υλικό για διαρθρωτικά τμήματα και τμήματα επεξεργασίας σε εξοπλισμό ημιαγωγών.

3. Σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας

Τα κεραμικά νιτριδίου πυριτίου μπορούν να διατηρήσουν τη σταθερότητα σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας, να μην είναι εύκολο να μαλακώσουν ή να λιώσουν και να αντέχουν στην επεξεργασία και το χειρισμό υψηλής θερμοκρασίας στη διαδικασία παραγωγής ημιαγωγών. Αυτό το επιτρέπει να χρησιμοποιείται στην κατασκευή βασικών εξαρτημάτων εξοπλισμού υψηλής θερμοκρασίας, όπως αρπακτικά, συστατικά του θαλάμου αντίδρασης και ούτω καθεξής.

4. Εξαιρετικές μονωτικές ιδιότητες

Οι μονωτικές ιδιότητες είναι κρίσιμες στην κατασκευή συσκευών ημιαγωγών. Τα κεραμικά νιτριδίου του πυριτίου έχουν καλές μονωτικές ιδιότητες, οι οποίες μπορούν να απομονώσουν και να προστατεύσουν τα συστατικά του κυκλώματος από τη διαρροή ρεύματος ή την ηλεκτρομαγνητική παρεμβολή, συμβάλλοντας στη βελτίωση της σταθερότητας και της αξιοπιστίας της συσκευής.

5. Θερμική αγωγιμότητα και θερμική αγωγιμότητα

Τα κεραμικά νιτριδίου του πυριτίου έχουν υψηλή θερμική αγωγιμότητα, μπορούν να διεξάγουν αποτελεσματικά και να διαλύουν τη θερμότητα που παράγεται από τη συσκευή, συμβάλλοντας στη διατήρηση της σταθερότητας της θερμοκρασίας της συσκευής στη διαδικασία λειτουργίας. Αυτό είναι κρίσιμο για τη λειτουργία υψηλής απόδοσης των συσκευών ημιαγωγών.

1. Οι ηλεκτροστατικοί τσοκ και τα συστατικά του θαλάμου χάραξης

Τα κεραμικά νιτριδίου πυριτίου χρησιμοποιούνται συχνά ως υλικά για ηλεκτροστατικά τσοκ και συστατικά του θαλάμου χάραξης στην κατασκευή ημιαγωγών λόγω της εξαιρετικής χημικής σταθερότητας και της αντοχής σε υψηλή θερμοκρασία. Τα ηλεκτροστατικά τσοκ χρησιμοποιούνται για τη σταθεροποίηση και τη σταθεροποίηση των δισκίων ή των υποστρωμάτων, ενώ τα συστατικά του θαλάμου χάραξης χρησιμοποιούνται για να αντέχουν σε διαβρωτικά αέρια και περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας.

2. Πλάκες και ανακλαστήρες διανομής αερίου

Τα κεραμικά νιτριδίου πυριτίου χρησιμοποιούνται επίσης στην κατασκευή εξοπλισμού ημιαγωγών στις πλάκες διανομής αερίου και τους ανακλαστήρες. Οι πλάκες κατανομής αερίου χρησιμοποιούνται για την ομοιόμορφη κατανομή αντιδραστικών ή προστατευτικών αερίων στον θάλαμο αντίδρασης, ενώ οι ανακλαστήρες χρησιμοποιούνται για τη βελτιστοποίηση της κατανομής και της αντανάκλασης του φωτός εντός του θαλάμου αντίδρασης για τη βελτίωση της αποτελεσματικότητας και της ομοιομορφίας της αντίδρασης.

3. Οι κάτοχοι και τα θερμικά εξαρτήματα

Τα κεραμικά νιτριδίου του πυριτίου χρησιμοποιούνται συχνά ως κάτοχοι και συστατικά θερμικής διαχείρισης στον εξοπλισμό παραγωγής ημιαγωγών. Αυτά τα εξαρτήματα πρέπει να έχουν καλή μηχανική αντοχή, αντίσταση φθοράς και θερμική αγωγιμότητα για να εξασφαλίσουν σταθερή λειτουργία εξοπλισμού και ακρίβεια επεξεργασίας συσκευών.

4. Χημική μηχανική στίλβωση (CMP) μαξιλάρια

Το κεραμικό νιτρίδιο του πυριτίου χρησιμοποιείται ευρέως ως υλικό PAD στη διαδικασία χημικής μηχανικής στίλβωσης (CMP). Έχει εξαιρετική επίπεδη και αντίσταση στη φθορά και μπορεί να παρέχει σταθερή υποστήριξη κατά τη διάρκεια της διαδικασίας στίλβωσης για να εξασφαλίσει την επιπεδότητα και την ακρίβεια της επιφάνειας του πλακιδίου ημιαγωγού.