Προϊόντα

Διαδικασία Επιτάξεως SiC

Οι μοναδικές επικαλύψεις καρβιδίου της VeTek Semiconductor παρέχουν ανώτερη προστασία για τα μέρη γραφίτη στη διεργασία επιτάξεως SiC για την επεξεργασία απαιτητικών ημιαγωγών και σύνθετων ημιαγωγών υλικών. Το αποτέλεσμα είναι η παρατεταμένη διάρκεια ζωής του συστατικού γραφίτη, η διατήρηση της στοιχειομετρίας της αντίδρασης, η αναστολή της μετανάστευσης ακαθαρσιών σε εφαρμογές επιταξίας και ανάπτυξης κρυστάλλων, με αποτέλεσμα αυξημένη απόδοση και ποιότητα.


Οι επικαλύψεις καρβιδίου του τανταλίου (TaC) προστατεύουν τα κρίσιμα εξαρτήματα του κλιβάνου και του αντιδραστήρα σε υψηλές θερμοκρασίες (έως 2200°C) από καυτή αμμωνία, υδρογόνο, ατμούς πυριτίου και λιωμένα μέταλλα. Το VeTek Semiconductor έχει ένα ευρύ φάσμα δυνατοτήτων επεξεργασίας και μέτρησης γραφίτη για να καλύψει τις προσαρμοσμένες απαιτήσεις σας, ώστε να μπορούμε να προσφέρουμε επίστρωση ή πλήρη εξυπηρέτηση με χρέωση, με την ομάδα ειδικών μηχανικών μας έτοιμη να σχεδιάσει τη σωστή λύση για εσάς και τη συγκεκριμένη εφαρμογή σας .


Σύνθετοι κρύσταλλοι ημιαγωγών

Το VeTek Semiconductor μπορεί να παρέχει ειδικές επικαλύψεις TaC για διάφορα εξαρτήματα και φορείς. Μέσω της κορυφαίας διαδικασίας επίστρωσης της VeTek Semiconductor, η επίστρωση TaC μπορεί να αποκτήσει υψηλή καθαρότητα, σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας και υψηλή χημική αντοχή, βελτιώνοντας έτσι την ποιότητα του προϊόντος των στρωμάτων κρυστάλλου TaC/GaN) και EPl και παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής των κρίσιμων εξαρτημάτων του αντιδραστήρα.


Θερμομονωτές

Συστατικά ανάπτυξης κρυστάλλων SiC, GaN και AlN, συμπεριλαμβανομένων των χωνευτηρίων, των δοχείων σπόρων, των εκτροπέων και των φίλτρων. Βιομηχανικά συγκροτήματα που περιλαμβάνουν θερμαντικά στοιχεία αντίστασης, ακροφύσια, δακτυλίους θωράκισης και εξαρτήματα συγκόλλησης, εξαρτήματα GaN και SiC επιταξιακού αντιδραστήρα CVD, συμπεριλαμβανομένων φορέων πλακών, δορυφορικών δίσκων, κεφαλών ντους, καπακιών και βάθρων, εξαρτημάτων MOCVD.


Σκοπός:

 ● Φορέας γκοφρέτας LED (Δίοδος εκπομπής φωτός).

● Δέκτης ALD(Semiconductor).

● Υποδοχέας EPI (Διαδικασία επιτάξεως SiC)


Σύγκριση επικάλυψης SiC και επίστρωσης TaC:

Ούτω TaC
Κύρια Χαρακτηριστικά Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα, εξαιρετική αντίσταση στο πλάσμα Εξαιρετική σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας (συμμόρφωση διαδικασίας υψηλής θερμοκρασίας)
Καθαρότητα >99,9999% >99,9999%
Πυκνότητα (g/cm3) 3.21 15
Σκληρότητα (kg/mm2) 2900-3300 6,7-7,2
Αντίσταση [Ωcm] 0,1-15.000 <1
Θερμική αγωγιμότητα (W/m-K) 200-360 22
Συντελεστής θερμικής διαστολής (10-6/℃) 4,5-5 6.3
Εφαρμογή Εξοπλισμός ημιαγωγών Κεραμική σέγα (δακτύλιος εστίασης, κεφαλή ντους, εικονική γκοφρέτα) Ανταλλακτικά SiC Single Crystal Development, Epi, UV LED Εξοπλισμός


View as  
 
Δακτύλιος οδηγός τριών πετάλων με επίστρωση CVD TaC

Δακτύλιος οδηγός τριών πετάλων με επίστρωση CVD TaC

Η VeTek Semiconductor έχει βιώσει πολλά χρόνια τεχνολογικής ανάπτυξης και έχει κατακτήσει την κορυφαία τεχνολογία διεργασιών της επίστρωσης CVD TaC. Ο δακτύλιος οδήγησης τριών πετάλων με επίστρωση CVD TaC είναι ένα από τα πιο ώριμα προϊόντα επίστρωσης CVD TaC της VeTek Semiconductor και αποτελεί σημαντικό συστατικό για την προετοιμασία κρυστάλλων SiC με τη μέθοδο PVT. Με τη βοήθεια του VeTek Semiconductor, πιστεύω ότι η παραγωγή κρυστάλλων SiC θα είναι πιο ομαλή και αποτελεσματική.
Πορώδης γραφίτης με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου

Πορώδης γραφίτης με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου

Ο πορώδης γραφίτης επικαλυμμένο με καρβίδιο είναι ένα απαραίτητο προϊόν στη διαδικασία επεξεργασίας ημιαγωγών, ειδικά στη διαδικασία ανάπτυξης κρυστάλλων SIC. Μετά από συνεχείς αναβαθμίσεις επενδύσεων και τεχνολογίας Ε & Α, η ποιότητα του προϊόντος Porous Graphite του Vetek Semiconductor έχει κερδίσει υψηλό έπαινο από ευρωπαίους και αμερικανούς πελάτες. Καλώς ήλθατε στην περαιτέρω διαβουλεύσεις σας.
CVD TAC Coating Planetary SIC Epitaxial Sensceptor

CVD TAC Coating Planetary SIC Epitaxial Sensceptor

Ο πλανητικός επιταξιακός υποδοχέας επίστρωσης CVD TaC είναι ένα από τα βασικά συστατικά του πλανητικού αντιδραστήρα MOCVD. Μέσω της επίστρωσης CVD TaC του πλανητικού επιταξιακού υποδοχέα SiC, του μεγάλου δίσκου σε τροχιά και του μικρού δίσκου περιστρέφεται και το μοντέλο οριζόντιας ροής επεκτείνεται σε μηχανές πολλαπλών τσιπ, έτσι ώστε να έχει τόσο τη διαχείριση ομοιομορφίας επιταξιακού μήκους κύματος υψηλής ποιότητας όσο και τη βελτιστοποίηση ελαττωμάτων του απλού -μηχανές τσιπ και τα πλεονεκτήματα κόστους παραγωγής των μηχανών πολλαπλών τσιπ. Η VeTek Semiconductor μπορεί να παρέχει στους πελάτες Πλανητικός επιταξιακός υποδοχέας SiC με επίστρωση CVD TaC. Εάν θέλετε επίσης να φτιάξετε έναν πλανητικό φούρνο MOCVD όπως το Aixtron, ελάτε σε εμάς!
Δέκτης επιταξίας GaN

Δέκτης επιταξίας GaN

Η Vetek Semiconductor είναι μια κινεζική εταιρεία που είναι κατασκευαστής παγκόσμιας κλάσης και προμηθευτής της Gan Epitaxy Sensceptor. Εργαζόμαστε στη βιομηχανία ημιαγωγών, όπως επικαλύψεις καρβιδίου πυριτίου και επιθετικό Gan Epitaxy για μεγάλο χρονικό διάστημα. Μπορούμε να σας προσφέρουμε εξαιρετικά προϊόντα και ευνοϊκές τιμές. Η Vetek Semiconductor προσβλέπει να γίνει ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας.
Υποδοχέας γκοφρέτας με επικάλυψη TaC

Υποδοχέας γκοφρέτας με επικάλυψη TaC

Το eTek Semiconductor TaC Coated Wafer Susceptor είναι ένας δίσκος γραφίτη επικαλυμμένος με καρβίδιο τανταλίου για επιταξιακή ανάπτυξη καρβιδίου του πυριτίου για τη βελτίωση της ποιότητας και της απόδοσης του πλακιδίου. Το VeTek επιλέχθηκε λόγω της προηγμένης τεχνολογίας επίστρωσης και των ανθεκτικών λύσεων που εξασφαλίζει εξαιρετικά αποτελέσματα επιτάξεως SiC και εκτεταμένη διάρκεια ζωής του υποδοχέα, καλωσορίζουμε τις περαιτέρω έρευνες σας.
Δακτύλιοι οδηγοί επίστρωσης TaC

Δακτύλιοι οδηγοί επίστρωσης TaC

Ως κορυφαίος κατασκευαστής προϊόντων TaC Coating Guide Rings στην Κίνα, οι δακτύλιοι οδηγοί με επικάλυψη Semiconductor TaC VeTek είναι σημαντικά συστατικά στον εξοπλισμό MOCVD, εξασφαλίζοντας ακριβή και σταθερή παροχή αερίου κατά την επιταξιακή ανάπτυξη και είναι απαραίτητο υλικό στην επιταξιακή ανάπτυξη ημιαγωγών. Καλώς ήρθατε να μας συμβουλευτείτε.
Ως επαγγελματίας κατασκευαστής και προμηθευτής Διαδικασία Επιτάξεως SiC στην Κίνα, έχουμε το δικό μας εργοστάσιο. Είτε χρειάζεστε προσαρμοσμένες υπηρεσίες για να καλύψετε τις συγκεκριμένες ανάγκες της περιοχής σας είτε θέλετε να αγοράσετε προηγμένες και ανθεκτικές Διαδικασία Επιτάξεως SiC κατασκευασμένες στην Κίνα, μπορείτε να μας αφήσετε ένα μήνυμα.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept