Πορώδες sic

Πορώδες sic


Το Vetek Semiconductor είναι ένας κορυφαίος κατασκευαστής πορώδους κεραμικής SIC για τη βιομηχανία ημιαγωγών. Πέρασε το ISO9001, το Vetek Semiconductor έχει καλό έλεγχο στην ποιότητα. Ο Vetek Semiconductor έχει πάντα δεσμευτεί να γίνει καινοτόμος και ηγέτης στην πορώδη κεραμική βιομηχανία SIC.


Porous SiC Ceramic Disc

Πορώδης κεραμικός δίσκος SIC


Τα πορώδη κεραμικά SIC είναι κεραμικό υλικό που εκτοξεύονται σε υψηλές θερμοκρασίες και έχουν μεγάλο αριθμό διασυνδεδεμένων ή κλειστών πόρων μέσα. Είναι επίσης γνωστό ως ένα μικροσκοπικό κύπελλο αναρρόφησης κενού, με μεγέθη πόρων που κυμαίνονται από 2 έως 100um.


Τα πορώδη κεραμικά SIC έχουν χρησιμοποιηθεί ευρέως στη μεταλλουργία, τη χημική βιομηχανία, την προστασία του περιβάλλοντος, τη βιολογία, τον ημιαγωγό και άλλους τομείς. Τα πορώδη κεραμικά SIC μπορούν να παρασκευαστούν με τη μέθοδο αφρού, τη μέθοδο Sol Gel, τη μέθοδο χύτευσης ταινιών, τη μέθοδο στερεής πυροσυσσωμάτωσης και τη μέθοδο πυρόλυσης εμποτισμού.


Preparation of porous SiC ceramics by sintering method

Προετοιμασία πορώδους κεραμικής SIC με μέθοδο πυροσυσσωμάτωσης

Compressive strength of Porous SiC ceramicsFlexural strength of Porous SiC ceramicsFracture toughness of Porous SiC ceramicsthermal conductivity ofPorous SiC ceramics

Ιδιότητες των κεραμικών καρβιδίου πορώδους πυριτίου που παρασκευάζονται με διαφορετικές μεθόδους ως συνάρτηση του πορώδους



porous SiC ceramics Suction Cups in Semiconductor Wafer Fabrication

Porous SIC Ceramics Sugtion Cups σε κατασκευή ημιαγωγών


Τα πορώδη κεραμικά SIC του Vetek Semiconduction παίζουν το ρόλο της σύσφιξης και της μεταφοράς πλακιδίων στην παραγωγή ημιαγωγών. Είναι πυκνά και ομοιόμορφα, υψηλά σε αντοχή, καλή διαπερατότητα του αέρα και ομοιόμορφη σε προσρόφηση.


Αντιμετωπίζουν αποτελεσματικά πολλά δύσκολα προβλήματα, όπως η εσοχή των πλακιδίων και η ηλεκτροστατική κατανομή των τσιπ και βοηθούν στην επίτευξη της επεξεργασίας των εξαιρετικά υψηλής ποιότητας των πλακών.

Διάγραμμα εργασίας των πορώδους κεραμικής SIC:

Working diagram of porous SiC ceramics


Αρχή λειτουργίας της πορώδους κεραμικής SIC: Το δισκίο πυρίτιο καθορίζεται από την αρχή της προσρόφησης κενού. Κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας, οι μικρές οπές στα πορώδη κεραμικά SIC χρησιμοποιούνται για την εξαγωγή του αέρα μεταξύ του δισκίου πυριτίου και της κεραμικής επιφάνειας, έτσι ώστε το δισκίο πυριτίου και η κεραμική επιφάνεια να βρίσκονται σε χαμηλή πίεση, καθορίζοντας έτσι το δίσκο του πυριτίου.


Μετά την επεξεργασία, το νερό του πλάσματος ρέει έξω από τις τρύπες για να αποτρέψει το δισκίο του πυριτίου από τη προσκόλληση στην κεραμική επιφάνεια και ταυτόχρονα καθαρίζονται το δισκίο πυριτίου και η κεραμική επιφάνεια.


Microstructure of the porous SiC ceramics

Μικροδομή της πορώδους κεραμικής SIC


Επισημάνετε τα πλεονεκτήματα και τα χαρακτηριστικά:


● Αντίσταση υψηλής θερμοκρασίας

● Αντοχή στη φθορά

● Χημική αντίσταση

● Υψηλή μηχανική αντοχή

● Εύκολο στην αναγέννηση

● Εξαιρετική αντίσταση θερμικού σοκ


είδος
μονάδα
πορώδη κεραμικά
Διάμετρος πόρων
ένας
10 ~ 30
Πυκνότητα
g / cm3
1.2 ~ 1.3
Επιφανειακή ρουγιάεορτή
ένας
2.5 ~ 3
Τιμή απορρόφησης αέρα
KPA
-45
Κάμψη
MPA
30
Διηλεκτρική σταθερά
1MHz
33
Θερμική αγωγιμότητα
W/(m · k)
60 ~ 70

Υπάρχουν αρκετές υψηλές απαιτήσεις για πορώδη κεραμικά SIC:


1. Ισχυρή προσρόφηση κενού

2. Η επίπεδη είναι πολύ σημαντική, διαφορετικά θα υπάρχουν προβλήματα κατά τη διάρκεια της λειτουργίας

3. Καμία παραμόρφωση και χωρίς μεταλλικές ακαθαρσίες


Ως εκ τούτου, η τιμή απορρόφησης αέρα των πορώδους SIC κεραμικής του Semiconductor του Vetek φτάνει -45KPA. Ταυτόχρονα, μετριάζονται στα 1200 ℃ για 1,5 ώρες πριν εγκαταλείψουν το εργοστάσιο για να αφαιρέσουν τις ακαθαρσίες και συσκευάζονται σε σακούλες κενού.


Τα πορώδη κεραμικά SIC χρησιμοποιούνται ευρέως στην τεχνολογία επεξεργασίας πλακιδίων, στη μεταφορά και σε άλλους συνδέσμους. Έχουν κάνει μεγάλα επιτεύγματα στη συγκόλληση, τη στήριξη, τη τοποθέτηση, τη στίλβωση και άλλους συνδέσμους.


View as  
 
Πορώδες τσοκ κενού SiC

Πορώδες τσοκ κενού SiC

Το πορώδες τσοκ κενού SiC της Vetek Semiconductor χρησιμοποιείται συνήθως σε βασικά εξαρτήματα του εξοπλισμού κατασκευής ημιαγωγών, ειδικά όταν πρόκειται για διαδικασίες CVD και PECVD. Η Vetek Semiconductor ειδικεύεται στην κατασκευή και προμήθεια τσοκ κενού πορώδους SiC υψηλής απόδοσης. Καλώς ήρθατε για περαιτέρω ερωτήσεις σας.
Πορώδες κεραμικό τσοκ κενού

Πορώδες κεραμικό τσοκ κενού

Το πορώδες κεραμικό τσοκ κενού της Vetek Semiconductor είναι κατασκευασμένο από κεραμικό υλικό καρβιδίου του πυριτίου (SiC), το οποίο έχει εξαιρετική αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, χημική σταθερότητα και μηχανική αντοχή. Είναι ένα απαραίτητο συστατικό πυρήνα στη διαδικασία ημιαγωγών. Καλωσορίστε τις περαιτέρω ερωτήσεις σας.
Πορώδες κεραμικό τσοκ

Πορώδες κεραμικό τσοκ

Το Vetek Semiconductor προσφέρει πορώδη κεραμικό τσοκ που χρησιμοποιείται ευρέως στην τεχνολογία επεξεργασίας πλακιδίων, τη μεταφορά και άλλους συνδέσμους, κατάλληλο για συγκόλληση, γραφή, έμπλαστρο, στίλβωση και άλλους συνδέσμους, επεξεργασία με λέιζερ. Το πορώδες κεραμικό Chuck μας έχει εξαιρετικά ισχυρή προσρόφηση κενού, υψηλή επιπεδότητα και υψηλή καθαρότητα ανταποκρίνεται στις ανάγκες των περισσότερων βιομηχανιών ημιαγωγών.

Order precision-engineered Porous SiC ceramics from Veteksemicon—ideal for thermal uniformity and gas control in semiconductor systems.


Veteksemicon’s porous silicon carbide (SiC) components are engineered for high-temperature plasma processes and advanced gas flow control. Ideal for PECVD, ALD, vacuum chucks, and gas distribution plates (showerheads), these components offer excellent thermal conductivity, thermal shock resistance, and chemical stability.


Our porous SiC features a controlled pore structure for consistent gas permeability and uniform temperature distribution, reducing defect rates and enhancing yield. It is widely used in wafer handling platforms, temperature equalizing plates, and vacuum holding systems. The material ensures mechanical durability under corrosive and high-load thermal conditions.


Contact Veteksemicon today to request custom Porous SiC solutions or detailed engineering parameters.


Ως επαγγελματίας κατασκευαστής και προμηθευτής στην Κίνα, έχουμε το δικό μας εργοστάσιο. Είτε χρειάζεστε προσαρμοσμένες υπηρεσίες για να καλύψετε τις συγκεκριμένες ανάγκες της περιοχής σας είτε θέλετε να αγοράσετε προηγμένες και ανθεκτικές Πορώδες sic που έγιναν στην Κίνα, μπορείτε να μας αφήσετε ένα μήνυμα.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept