Στοιχεία πλανητικού αντιδραστήρα Aixtron G10 στερεού SiC

1. Βασικά Χαρακτηριστικά & Πλεονεκτήματα

• Πλήρως πυκνή δομή στερεού SiC χωρίς συνδετικά για ανώτερη αντοχή στη φθορά και τη διάβρωση

• Εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα και αντοχή σε θερμικό σοκ σε θερμοκρασίες άνω των 1500 °C

• Εξαιρετικά χαμηλή παραγωγή σωματιδίων και υψηλή καθαρότητα, ελαχιστοποιώντας τον κίνδυνο μόλυνσης

• Εξαιρετική χημική αδράνεια έναντι των αερίων διεργασίας που χρησιμοποιούνται στην επίταση SiC

• Μεγάλη διάρκεια ζωής υπό επαναλαμβανόμενη ποδηλασία υψηλής θερμοκρασίας

• Επεξεργασμένες με μηχανική ακρίβεια έως σφιχτές ανοχές διαστάσεων για αξιόπιστη εφαρμογή και σταθερότητα διαδικασίας

 2. Τυπικές εφαρμογές

Αυτά τα αξεσουάρ Solid SiC χρησιμοποιούνται σε βασικούς λειτουργικούς τομείς του αντιδραστήρα Aixtron G10, όπως:

• Πλάκες κάλυψης και επιλεγμένα στοιχεία καλύμματος

• Προστατευτικοί δακτύλιοι και εξαρτήματα υψηλής φθοράς

• Πείροι ακριβείας, ροδέλες και μικρά δομικά μέρη

• Άλλα προσαρμοσμένα ένθετα υψηλής καθαρότητας που εκτίθενται σε έντονη ροή αερίου ή θερμικό φορτίο

Υποστηρίζουν σταθερή κατανομή θερμοκρασίας, ομοιόμορφη παροχή αερίου και χαμηλή πυκνότητα ελαττώματος κατά τη διάρκεια της επιταξιακής ανάπτυξης SiC υψηλού όγκου για MOSFET ισχύος, διόδους και σχετικές συσκευές μεγάλου κενού ζώνης.

3. Γιατί να επιλέξετε το VeTek Solid SiC για το Aixtron G10;

Ως εξειδικευμένος κατασκευαστής υλικών ημιαγωγών, η VeTek Semiconductor παρέχει:

• Στερεά εξαρτήματα SiC υψηλής καθαρότητας προσαρμοσμένα για συστήματα Aixtron G10, για παράδειγμα: δακτύλιος κάλυψης, εσωτερικά/εξωτερικά καλύμματα, πλάκα έλξης/στήριξης, δορυφορικός δίσκος, υποδοχέας

• Αυστηρός έλεγχος καθαρότητας και μηχανική κατεργασία CNC ακριβείας

• Συμπληρωματικές λύσεις που περιλαμβάνουν γραφίτη με επίστρωση CVD SiC και εξαρτήματα επικαλυμμένα με TaC για πλήρη κάλυψη θερμικού πεδίου

• Προσαρμοσμένα σχέδια που ταιριάζουν σε συγκεκριμένες συνθήκες διεργασίας και διαμορφώσεις αντιδραστήρων

Τα αξεσουάρ Solid SiC μας βοηθούν τους πελάτες να μεγιστοποιήσουν τα πλεονεκτήματα παραγωγικότητας της πλατφόρμας Aixtron G10—υψηλή απόδοση γκοφρέτας, εξαιρετικό πάχος και ομοιομορφία ντόπινγκ και ανταγωνιστικό κόστος ιδιοκτησίας—παρατείνοντας παράλληλα τη διάρκεια ζωής του εξαρτήματος και μειώνοντας την απώλεια απόδοσης που σχετίζεται με σωματίδια.