Φούρνος οξείδωσης και διάχυσης

Οι κλιβάνοι οξείδωσης και διάχυσης χρησιμοποιούνται σε διάφορα πεδία όπως συσκευές ημιαγωγών, διακριτές συσκευές, οπτοηλεκτρονικές συσκευές, ηλεκτρονικές συσκευές ισχύος, ηλιακά κύτταρα και πλήρη παραγωγή ολοκληρωμένου κυκλώματος μεγάλης κλίμακας. Χρησιμοποιούνται για διαδικασίες, όπως διάχυση, οξείδωση, ανόπτηση, κράμα και πυροσυσσωμάτωση των πλακιδίων.

Το Vetek Semiconductor είναι ένας κορυφαίος κατασκευαστής που ειδικεύεται στην παραγωγή γραφίτη υψηλής καθαρότητας, καρβιδίου πυριτίου και χαλαζία σε κλιβάνους οξείδωσης και διάχυσης. Δεσμευόμαστε να παρέχουμε εξαρτήματα φούρνου υψηλής ποιότητας για τις βιομηχανίες ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών και βρίσκονται στην πρώτη γραμμή της τεχνολογίας επιφανειακής επικάλυψης, όπως CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrocarbon κ.λπ.

Τα πλεονεκτήματα των συστατικών καρβιδίου Silicon Silicon Vetek:

● Αντίσταση υψηλής θερμοκρασίας (έως 1600 ℃)

● Εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα και θερμική σταθερότητα

● Καλή χημική αντοχή στη διάβρωση

● Χαμηρός συντελεστής θερμικής επέκτασης

● Υψηλή δύναμη και σκληρότητα

● Μεγάλη διάρκεια ζωής

Στους κλιβάνους οξείδωσης και διάχυσης, λόγω της παρουσίας υψηλής θερμοκρασίας και των διαβρωτικών αερίων, πολλά συστατικά απαιτούν τη χρήση ανθεκτικών σε υλικά υψηλής θερμοκρασίας και ανθεκτικά στη διάβρωση, μεταξύ των οποίων το καρβίδιο του πυριτίου (SIC) είναι μια επιλογή που χρησιμοποιείται συνήθως. Τα παρακάτω είναι τα κοινά συστατικά καρβιδίου πυριτίου που βρίσκονται σε κλιβάνους οξείδωσης και φούρνους διάχυσης:

● σκάφος πλακιδίων

Το σκάφος πλακιδίων καρβιδίου πυριτίου είναι ένα δοχείο που χρησιμοποιείται για τη μεταφορά πλακών πυριτίου, τα οποία μπορούν να αντέξουν σε υψηλές θερμοκρασίες και δεν θα αντιδράσουν με πλακίδια πυριτίου.

● Σωλήνας φούρνου

Ο σωλήνας του κλιβάνου είναι το συστατικό πυρήνα του κλιβάνου διάχυσης, που χρησιμοποιείται για την προσαρμογή των θαλάσσιων πλακών και τον έλεγχο του περιβάλλοντος αντίδρασης. Οι σωλήνες φούρνου καρβιδίου πυριτίου έχουν εξαιρετική απόδοση υψηλής θερμοκρασίας και αντοχής στη διάβρωση.

● Πλάκα διαφυγής

Χρησιμοποιείται για τη ρύθμιση της ροής αέρα και της κατανομής θερμοκρασίας μέσα στον κλίβανο

● Σωλήνας προστασίας θερμοστοιχείων

Χρησιμοποιείται για την προστασία των θερμοστοιχείων μέτρησης της θερμοκρασίας από άμεση επαφή με διαβρωτικά αέρια.

● Κουπί

Τα κουτάκια του καρβιδίου του πυριτίου είναι ανθεκτικά σε υψηλή θερμοκρασία και διάβρωση και χρησιμοποιούνται για τη μεταφορά σκαφών πυριτίου ή σκάφη χαλαζία που μεταφέρουν πλακίδια πυριτίου στους σωλήνες διάχυσης.

● Εγκεκέλτιος αερίου

Χρησιμοποιείται για την εισαγωγή αερίου αντίδρασης στον κλίβανο, πρέπει να είναι ανθεκτικό στη υψηλή θερμοκρασία και τη διάβρωση.

● Μεταφορέας σκαφών

Ο μεταφορέας σκαφών με καραμέλα πυριτίου χρησιμοποιείται για να διορθώσει και να υποστηρίξει τα πλακίδια πυριτίου, τα οποία έχουν πλεονεκτήματα όπως η υψηλή αντοχή, η αντίσταση στη διάβρωση και η καλή δομική σταθερότητα.

● Πόρτα φούρνου

Οι επικαλύψεις ή τα εξαρτήματα του πυριτίου μπορούν επίσης να χρησιμοποιηθούν στο εσωτερικό της πόρτας του κλιβάνου.

● Στοιχείο θέρμανσης

Τα στοιχεία θέρμανσης καρβιδίου πυριτίου είναι κατάλληλα για υψηλές θερμοκρασίες, υψηλή ισχύ και μπορούν γρήγορα να αυξήσουν τις θερμοκρασίες σε πάνω από 1000 ℃.

● Sic Liner

Χρησιμοποιείται για την προστασία του εσωτερικού τοίχου των σωλήνων του κλιβάνου, μπορεί να βοηθήσει στη μείωση της απώλειας της θερμικής ενέργειας και να αντέξει σκληρά περιβάλλοντα όπως η υψηλή θερμοκρασία και η υψηλή πίεση.

View as

Συλλογικός βραχίονας ρομπότ καρβιδίου

Το ρομποτικό βραχίονα του καρβιδίου του πυριτίου (sic) έχει σχεδιαστεί για χειρισμό υψηλής απόδοσης πλακιδίων στην προχωρημένη παραγωγή ημιαγωγών. Κατασκευασμένο από καρβίδιο πυριτίου υψηλής καθαρότητας, αυτό το ρομποτικό βραχίονα προσφέρει εξαιρετική αντίσταση σε υψηλές θερμοκρασίες, διάβρωση στο πλάσμα και χημική επίθεση, εξασφαλίζοντας αξιόπιστη λειτουργία σε απαιτητικά περιβάλλοντα καθαρού χώρου. Η εξαιρετική μηχανική αντοχή και η σταθερότητα των διαστάσεων επιτρέπουν την ακριβή χειρισμό των πλακιδίων, ελαχιστοποιώντας τους κινδύνους μόλυνσης, καθιστώντας την ιδανική επιλογή για MOCVD, επιταξία, εμφύτευση ιόντων και άλλες κρίσιμες εφαρμογές χειρισμού πλακιδίων. Χαιρετίζουμε τα ερωτήματά σας.

Δείτε περισσότερα >> Αποστολή Ερώτησης >>

Σκάφος καρυδιού πυριτίου sic

Τα σκάφη Veteksemicon SIC Wafer χρησιμοποιούνται ευρέως σε κρίσιμες διεργασίες υψηλής θερμοκρασίας στην κατασκευή ημιαγωγών, που χρησιμεύουν ως αξιόπιστοι φορείς για τις διαδικασίες οξείδωσης, διάχυσης και ανόπτησης για ολοκληρωμένα κυκλώματα που βασίζονται σε πυρίτιο. Επίσης, υπερέχουν στον τομέα των ημιαγωγών τρίτης γενιάς, ιδανικά για απαιτητικές διαδικασίες όπως η επιταξιακή ανάπτυξη (EPI) και η εναπόθεση χημικών ατμών μετάλλων (MOCVD) για συσκευές SIC και GAN Power. Υποστηρίζουν επίσης την κατασκευή υψηλής θερμοκρασίας ηλιακών κυττάρων υψηλής απόδοσης στη φωτοβολταϊκή βιομηχανία. Ανυπομονώ για την περαιτέρω διαβουλεύσεις σας.

Δείτε περισσότερα >> Αποστολή Ερώτησης >>

SIC PLANSVER

Τα κιβώτια Veteksemicon SIC προβλήματος είναι βραχίονες υποστήριξης καρβιδίου πυριτίου υψηλής καθαρότητας που έχουν σχεδιαστεί για χειρισμό πλακιδίων σε οριζόντιους φούρνους διάχυσης και επιταξιακούς αντιδραστήρες. Με εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα, αντίσταση στη διάβρωση και μηχανική αντοχή, αυτά τα κουτάλια εξασφαλίζουν σταθερότητα και καθαριότητα σε απαιτητικά περιβάλλοντα ημιαγωγών. Διατίθεται σε προσαρμοσμένα μεγέθη και βελτιστοποιήθηκε για μεγάλη διάρκεια ζωής.

Δείτε περισσότερα >> Αποστολή Ερώτησης >>

Μεμβράνη κεραμικής SIC

Οι μεμβράνες κεραμικών Veteksemicon SIC είναι ένας τύπος ανόργανης μεμβράνης και ανήκουν σε υλικά συμπαγούς μεμβράνης στην τεχνολογία διαχωρισμού μεμβράνης. Οι μεμβράνες SIC εκτοξεύονται σε θερμοκρασία πάνω από 2000 ℃. Η επιφάνεια των σωματιδίων είναι ομαλή και στρογγυλή. Δεν υπάρχουν κλειστές πόροι ή κανάλια στο στρώμα υποστήριξης και σε κάθε στρώμα. Συνήθως αποτελούνται από τρία στρώματα με διαφορετικά μεγέθη πόρων.

Δείτε περισσότερα >> Αποστολή Ερώτησης >>

Πορώδη κεραμική πλάκα

Οι πορώδεις κεραμικές πλάκες SIC είναι πορώδη κεραμικά υλικά από καρβίδιο του πυριτίου ως το κύριο συστατικό και επεξεργάζονται με ειδικές διεργασίες. Είναι απαραίτητα υλικά στην κατασκευή ημιαγωγών, στην εναπόθεση χημικών ατμών (CVD) και σε άλλες διαδικασίες.

Δείτε περισσότερα >> Αποστολή Ερώτησης >>

Σκάφος δισκίου κεραμικής SIC

Το Vetek Semiconductor είναι ένας κορυφαίος προμηθευτής σκάφους SIC Ceramics, κατασκευαστής και εργοστάσιο στην Κίνα. Το σκάφος SIC Ceramics Wafer είναι ένα ζωτικό συστατικό στις προηγμένες διαδικασίες χειρισμού των πλακιδίων, που τροφοδοτεί τις βιομηχανίες φωτοβολταϊκών, ηλεκτρονικών και ημιαγωγών. Ανυπομονώ για τη διαβούλευση σας.

Δείτε περισσότερα >> Αποστολή Ερώτησης >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Ως επαγγελματίας κατασκευαστής και προμηθευτής στην Κίνα, έχουμε το δικό μας εργοστάσιο. Είτε χρειάζεστε προσαρμοσμένες υπηρεσίες για να καλύψετε τις συγκεκριμένες ανάγκες της περιοχής σας είτε θέλετε να αγοράσετε προηγμένες και ανθεκτικές Φούρνος οξείδωσης και διάχυσης που έγιναν στην Κίνα, μπορείτε να μας αφήσετε ένα μήνυμα.

Κωδικός QR

Σχετικά με εμάς

Προϊόντα

Επικοινωνήστε μαζί μας

Τηλέφωνο
+86-18069220752
Φαξ
+86-579-87223657
ΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗ ΔΙΕΥΘΥΝΣΗ
anny@veteksemi.com
Διεύθυνση
Wangda Road, οδός Ziyang, κομητεία Wuyi, πόλη Jinhua, επαρχία Zhejiang, Κίνα

Μενού Ιστού

Αναζήτηση προϊόντων

Γλώσσα

Έξοδος από το μενού

Φούρνος οξείδωσης και διάχυσης

Τα πλεονεκτήματα των συστατικών καρβιδίου Silicon Silicon Vetek:

Συλλογικός βραχίονας ρομπότ καρβιδίου

Σκάφος καρυδιού πυριτίου sic

SIC PLANSVER

Μεμβράνη κεραμικής SIC

Πορώδη κεραμική πλάκα

Σκάφος δισκίου κεραμικής SIC

Αποστολή Ερώτησης

Κωδικός QR

Σχετικά με εμάς

Προϊόντα

Επικοινωνήστε μαζί μας

Τηλέφωνο

Φαξ

ΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗ ΔΙΕΥΘΥΝΣΗ

Διεύθυνση