Η VeTek Semiconductor είναι ο καινοτόμος συνεργάτης σας στον τομέα της επεξεργασίας ημιαγωγών. Με το εκτεταμένο μας χαρτοφυλάκιο συνδυασμών υλικών πυριτίου καρβιδίου κεραμικής ποιότητας ημιαγωγών, τις δυνατότητες κατασκευής εξαρτημάτων και τις υπηρεσίες μηχανικής εφαρμογών, μπορούμε να σας βοηθήσουμε να ξεπεράσετε σημαντικές προκλήσεις. Τα τεχνικά μηχανικά κεραμικά καρβιδίου πυριτίου εφαρμόζονται ευρέως στη βιομηχανία ημιαγωγών λόγω της εξαιρετικής απόδοσης υλικών τους. Τα εξαιρετικά καθαρά κεραμικά καρβιδίου του πυριτίου της VeTek Semiconductor χρησιμοποιούνται συχνά σε ολόκληρο τον κύκλο κατασκευής και επεξεργασίας ημιαγωγών.
ΕΠΕΞΕΡΓΑΣΙΑ ΔΙΑΧΥΣΗΣ & LPCVD
Το VeTek Semiconductor παρέχει κατασκευασμένα κεραμικά εξαρτήματα ειδικά σχεδιασμένα για τη διάχυση παρτίδας και τις απαιτήσεις LPCVD, όπως:
● Διαφράγματα & βάσεις
● Μπεκ
● Επενδύσεις & σωλήνες επεξεργασίας
● Κουπιά προβόλου από καρβίδιο πυριτίου
● Βάρκες με γκοφρέτες και βάθρα
ΣΤΟΙΧΕΙΑ ΔΙΑΔΙΚΑΣΙΑΣ ETCH
Ελαχιστοποιήστε τη μόλυνση και την απρογραμμάτιστη συντήρηση με εξαρτήματα υψηλής καθαρότητας σχεδιασμένα για τις ακαμψίες της επεξεργασίας χάραξης πλάσματος, συμπεριλαμβανομένων:
● Δακτύλιοι εστίασης
● Ακροφύσια
● Ασπίδες
● Κεφαλές ντους
● Παράθυρα / Καπάκια
● Άλλα προσαρμοσμένα εξαρτήματα
ΣΤΟΙΧΕΙΑ ΤΑΧΕΙΑΣ ΘΕΡΜΙΚΗΣ ΕΠΕΞΕΡΓΑΣΙΑΣ & ΕΠΙΤΑΞΙΑΣ
Το VeTek Semiconductor παρέχει προηγμένα υλικά εξαρτήματα προσαρμοσμένα για εφαρμογές θερμικής επεξεργασίας υψηλής θερμοκρασίας στη βιομηχανία ημιαγωγών. Αυτές οι εφαρμογές περιλαμβάνουν RTP, διεργασίες Epi, διάχυση, οξείδωση και ανόπτηση. Τα τεχνικά κεραμικά μας έχουν σχεδιαστεί για να αντέχουν θερμικά σοκ, παρέχοντας αξιόπιστη και σταθερή απόδοση. Με τα εξαρτήματα της VeTek Semiconductor, οι κατασκευαστές ημιαγωγών μπορούν να επιτύχουν αποτελεσματική και υψηλής ποιότητας θερμική επεξεργασία, συμβάλλοντας στη συνολική επιτυχία της παραγωγής ημιαγωγών.
● Διαχυτές
● Μονωτήρες
● Υποδοχείς
● Άλλα προσαρμοσμένα θερμικά εξαρτήματα
Βασικά Χαρακτηριστικά
● Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα: Περιεκτικότητα σε SiC >99,96%, ελεύθερο πυρίτιο <0,1%, ελαχιστοποίηση της μόλυνσης μετάλλων.
● Εξαιρετική απόδοση σε υψηλή θερμοκρασία: θερμοκρασία εργασίας έως 1600°C (οξειδωτική) / 1700°C (μείωση).
● Ανώτερη αντίσταση θερμικών κραδασμών και χαμηλή θερμική διαστολή για αξιόπιστη απόδοση σε γρήγορους θερμικούς κύκλους.
● Υψηλή μηχανική αντοχή (συμπίεση >600 MPa) και χημική αδράνεια έναντι αερίων διεργασίας και πλάσματος.
● Ολοκληρωμένη γκάμα προϊόντων για διεργασίες διάχυσης/LPCVD, etch, RTP και epi — από βάρκες γκοφρέτας έως δαχτυλίδια εστίασης και προσαρμοσμένα εξαρτήματα.
● Μεγάλη διάρκεια ζωής και μειωμένη παραγωγή σωματιδίων, συμβάλλοντας στη μείωση της συχνότητας συντήρησης και στη βελτίωση της απόδοσης.
Προδιαγραφές προϊόντος
Φυσικές ιδιότητες του ανακρυσταλλωμένου καρβιδίου του πυριτίου
| Ιδιοκτησία |
Τυπική τιμή |
| Θερμοκρασία λειτουργίας (°C) |
1600°C (με οξυγόνο), 1700°C (μειωτικό περιβάλλον) |
| Περιεχόμενο SiC / SiC |
> 99,96% |
| Si / Δωρεάν περιεχόμενο Si |
< 0,1% |
| Χύδην πυκνότητα |
2,60-2,70 g/cm³ |
| Φαινόμενο πορώδες |
< 16% |
| Αντοχή συμπίεσης |
> 600 MPa |
| Αντοχή σε ψυχρή κάμψη |
80-90 MPa (20°C) |
| Δύναμη καυτής κάμψης |
90-100 MPa (1400°C) |
| Θερμική διαστολή @1500°C |
4,70 × 10-6/°C |
| Θερμική αγωγιμότητα @1200°C |
23 W/m·K |
| Συντελεστής ελαστικότητας |
240 GPa |
| Αντοχή σε θερμικό σοκ |
Εξαιρετικά καλό |
Εφαρμογές
Για να καλύψει τις διαφορετικές ανάγκες των διεργασιών ημιαγωγών, η VeTek προσφέρει στοχευμένα προϊόντα κεραμικής καρβιδίου πυριτίου. Ο παρακάτω πίνακας τα ταξινομεί κατά κύριους τομείς εφαρμογής:
| Πεδίο εφαρμογής |
Τυπικά προϊόντα |
Περιγραφή Εφαρμογής |
| Διάχυση & LPCVD |
βάρκες γκοφρέτας SiC, κουπιά προβόλου, σωλήνες επεξεργασίας, επενδύσεις, μπεκ,διαφράγματα & θήκες
|
Συστατικά SiC υψηλής καθαρότητας για κλιβάνους διάχυσης παρτίδας και LPCVD. εξαιρετική θερμική σταθερότητα και χημική αντοχή έως 1600–1700°C, χαμηλή μόλυνση. |
| Διαδικασία Etch Plasma |
Δακτύλιοι εστίασης, ακροφύσια, ασπίδες, κεφαλές ντους, παράθυρα/καπάκια, προσαρμοσμένα εξαρτήματα χάραξης |
Ανταλλακτικά SiC υψηλής καθαρότητας κατασκευασμένα για περιβάλλοντα χαρακτικής πλάσματος. ελαχιστοποιήστε τη δημιουργία σωματιδίων και την απρογραμμάτιστη συντήρηση, ανώτερη αντίσταση πλάσματος. |
| RTP / Επιταξιακή / Θερμική Επεξεργασία |
υποδοχείς, διαχυτές, μονωτές, προσαρμοσμένα θερμικά εξαρτήματα |
Συστατικά για RTP, epi, διάχυση, οξείδωση και ανόπτηση. έχει σχεδιαστεί για να αντέχει τους θερμικούς κραδασμούς και να παρέχει σταθερή απόδοση σε υψηλές θερμοκρασίες. |
| SiC Crystal Growth (PVT) |
Υψηλής καθαρότητας σκόνη SiC,Πρώτη ύλη 7Ν CVD SiC, εξαρτήματα που σχετίζονται με τη συγκόλληση σπόρων |
Εξαιρετικά καθαρά υλικά πηγής SiC και εξαρτήματα υποστήριξης για ανάπτυξη μονοκρυστάλλου PVT SiC, βελτιώνοντας την απόδοση και την ποιότητα των κρυστάλλων. |
| Χειρισμός & Μεταφορείς Γκοφρέτας |
Κάθετα/οριζόντια βάρκες γκοφρέτας SiC, βάρκες με κασέτες πυριτίου, βάθρα, στεγανοποιητικά δαχτυλίδια
|
Φορείς ακριβείας και εξαρτήματα σφράγισης που παρέχουν θερμική ομοιομορφία, μηχανική σταθερότητα και ελάχιστη μόλυνση κατά την επεξεργασία σε υψηλή θερμοκρασία. |
Για πιο λεπτομερείς λύσεις αντιστοίχισης διεργασιών, ανατρέξτε στοΚλίβανος Οξείδωσης και Διάχυσηςσχετικές σελίδες.
Ως επαγγελματίας κατασκευαστής και προμηθευτής κεραμικών καρβιδίου πυριτίου στην Κίνα, έχουμε το δικό μας εργοστάσιο. Είτε χρειάζεστε προσαρμοσμένες υπηρεσίες για να καλύψετε τις συγκεκριμένες ανάγκες της περιοχής σας είτε θέλετε να αγοράσετε προηγμένα και ανθεκτικά κεραμικά καρβιδίου πυριτίου κατασκευασμένα στην Κίνα, μπορείτεαφήστε μας ένα μήνυμα.
