Προϊόντα

Κεραμικά καρβιδίου πυριτίου

Η VeTek Semiconductor είναι ο καινοτόμος συνεργάτης σας στον τομέα της επεξεργασίας ημιαγωγών. Με το εκτεταμένο μας χαρτοφυλάκιο συνδυασμών υλικών πυριτίου καρβιδίου κεραμικής ποιότητας ημιαγωγών, τις δυνατότητες κατασκευής εξαρτημάτων και τις υπηρεσίες μηχανικής εφαρμογών, μπορούμε να σας βοηθήσουμε να ξεπεράσετε σημαντικές προκλήσεις. Τα τεχνικά τεχνικά κεραμικά καρβιδίου πυριτίου εφαρμόζονται ευρέως στη βιομηχανία ημιαγωγών λόγω της εξαιρετικής απόδοσης υλικού τους. Τα εξαιρετικά καθαρά κεραμικά καρβιδίου του πυριτίου της VeTek Semiconductor χρησιμοποιούνται συχνά σε ολόκληρο τον κύκλο κατασκευής και επεξεργασίας ημιαγωγών.


ΕΠΕΞΕΡΓΑΣΙΑ ΔΙΑΧΥΣΗΣ & LPCVD

Το VeTek Semiconductor παρέχει κατασκευασμένα κεραμικά εξαρτήματα ειδικά σχεδιασμένα για τη διάχυση παρτίδας και τις απαιτήσεις LPCVD, όπως:

• Διαφράγματα & βάσεις
• Μπεκ
• Επενδύσεις & σωλήνες επεξεργασίας
• Κουπιά Cantilever Carbide Silicon
• Γκοφρέτες και βάθρα


Silicon Carbide Cantilever Paddle SiC Cantilever Paddle SiC Process Tube Σωλήνες διεργασίας SiC SiC Diffusion Furnace Tube Σωλήνας διεργασίας καρβιδίου πυριτίου Silicon Carbide wafer Carrier Κάθετη βάρκα γκοφρέτας SiC High purity SiC wafer boat carrier Οριζόντια βάρκα γκοφρέτας SiC SiC Wafer Boat SiC οριζόντια τετράγωνο βάρκα γκοφρέτα SiC Wafer Boat Βάρκα γκοφρέτας SiC LPCVD Silicon Carbide Wafer Boat for Horizontal Furnace Βάρκα οριζόντιας πλάκας SiC SiC Ceramic Seal Ring Κεραμικό δακτύλιο στεγανοποίησης SiC


ΣΤΟΙΧΕΙΑ ΔΙΑΔΙΚΑΣΙΑΣ ETCH

Ελαχιστοποιήστε τη μόλυνση και την απρογραμμάτιστη συντήρηση με εξαρτήματα υψηλής καθαρότητας που έχουν σχεδιαστεί για τις ακαμψίες της επεξεργασίας χάραξης πλάσματος, συμπεριλαμβανομένων:

Δακτύλιοι εστίασης

Ακροφύσια

Ασπίδες

Κεφαλές ντους

Παράθυρα / Καπάκια

Άλλα προσαρμοσμένα εξαρτήματα


ΣΤΟΙΧΕΙΑ ΤΑΧΕΙΑΣ ΘΕΡΜΙΚΗΣ ΕΠΕΞΕΡΓΑΣΙΑΣ & ΕΠΙΤΑΞΙΟΥ ΔΙΑΔΙΚΑΣΙΑΣ

Το VeTek Semiconductor παρέχει προηγμένα υλικά εξαρτήματα προσαρμοσμένα για εφαρμογές θερμικής επεξεργασίας υψηλής θερμοκρασίας στη βιομηχανία ημιαγωγών. Αυτές οι εφαρμογές περιλαμβάνουν RTP, διεργασίες Epi, διάχυση, οξείδωση και ανόπτηση. Τα τεχνικά κεραμικά μας έχουν σχεδιαστεί για να αντέχουν θερμικά σοκ, παρέχοντας αξιόπιστη και σταθερή απόδοση. Με τα εξαρτήματα της VeTek Semiconductor, οι κατασκευαστές ημιαγωγών μπορούν να επιτύχουν αποτελεσματική και υψηλής ποιότητας θερμική επεξεργασία, συμβάλλοντας στη συνολική επιτυχία της παραγωγής ημιαγωγών.

• Διαχυτές

• Μονωτήρες

• Υποδοχείς

• Άλλα προσαρμοσμένα θερμικά εξαρτήματα


Φυσικές ιδιότητες του ανακρυσταλλωμένου καρβιδίου του πυριτίου
Ιδιοκτησία Τυπική τιμή
Θερμοκρασία λειτουργίας (°C) 1600°C (με οξυγόνο), 1700°C (μειωτικό περιβάλλον)
Περιεχόμενο SiC / SiC > 99,96%
Si / Δωρεάν περιεχόμενο Si < 0,1%
Χύδην πυκνότητα 2,60-2,70 g/cm3
Φαινόμενο πορώδες < 16%
Αντοχή συμπίεσης > 600 MPa
Αντοχή σε ψυχρή κάμψη 80-90 MPa (20°C)
Δύναμη καυτής κάμψης 90-100 MPa (1400°C)
Θερμική διαστολή @1500°C 4,70 10-6/°C
Θερμική αγωγιμότητα @1200°C 23  W/m•K
Συντελεστής ελαστικότητας 240 GPa
Αντοχή σε θερμικό σοκ Εξαιρετικά καλό


View as  
 
Κλίβανος κενού θερμής πρέσας για συγκόλληση κρυστάλλων καρβιδίου πυριτίου

Κλίβανος κενού θερμής πρέσας για συγκόλληση κρυστάλλων καρβιδίου πυριτίου

Η τεχνολογία συγκόλλησης σπόρων SiC είναι μία από τις βασικές διαδικασίες που επηρεάζουν την ανάπτυξη των κρυστάλλων. Η VETEK έχει αναπτύξει έναν εξειδικευμένο κλίβανο θερμής πίεσης κενού για τη συγκόλληση σπόρων με βάση τα χαρακτηριστικά αυτής της διαδικασίας. Ο κλίβανος μπορεί να μειώσει αποτελεσματικά διάφορα ελαττώματα που δημιουργούνται κατά τη διαδικασία συγκόλλησης σπόρων, βελτιώνοντας έτσι την απόδοση και την τελική ποιότητα του κρυσταλλικού πλινθώματος.
Σκάφος κασέτας πυριτίου

Σκάφος κασέτας πυριτίου

Το Silicon Cassette Boat από την Veteksemicon είναι ένας φορέας γκοφρέτας σχεδιασμένος με ακρίβεια και αναπτύχθηκε ειδικά για εφαρμογές κλιβάνων ημιαγωγών υψηλής θερμοκρασίας, συμπεριλαμβανομένης της οξείδωσης, της διάχυσης, της εισαγωγής και της ανόπτησης. Κατασκευασμένο από πυρίτιο εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας και φινιρισμένο σε προηγμένα πρότυπα ελέγχου μόλυνσης, παρέχει μια θερμικά σταθερή, χημικά αδρανής πλατφόρμα που ταιριάζει απόλυτα με τις ιδιότητες των ίδιων των πλακών πυριτίου. Αυτή η ευθυγράμμιση ελαχιστοποιεί τη θερμική καταπόνηση, μειώνει το σχηματισμό ολίσθησης και ελαττωμάτων και εξασφαλίζει εξαιρετικά ομοιόμορφη κατανομή θερμότητας σε όλη την παρτίδα
Καρβίδιο του πυριτίου Cantilever Paddle για Επεξεργασία Γκοφρέτας

Καρβίδιο του πυριτίου Cantilever Paddle για Επεξεργασία Γκοφρέτας

Το καρβίδιο πυριτίου Cantilever Paddle από την Veteksemicon έχει σχεδιαστεί για προηγμένη επεξεργασία γκοφρέτας στην κατασκευή ημιαγωγών. Κατασκευασμένο από SiC υψηλής καθαρότητας, προσφέρει εξαιρετική θερμική σταθερότητα, ανώτερη μηχανική αντοχή και εξαιρετική αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες και διαβρωτικά περιβάλλοντα. Αυτά τα χαρακτηριστικά εξασφαλίζουν ακριβή χειρισμό πλακιδίων, εκτεταμένη διάρκεια ζωής και αξιόπιστη απόδοση σε διαδικασίες όπως το MOCVD, η επιταξία και η διάχυση. Καλώς ήρθατε να συμβουλευτείτε.
Συλλογικός βραχίονας ρομπότ καρβιδίου

Συλλογικός βραχίονας ρομπότ καρβιδίου

Το ρομποτικό βραχίονα του καρβιδίου του πυριτίου (sic) έχει σχεδιαστεί για χειρισμό υψηλής απόδοσης πλακιδίων στην προχωρημένη παραγωγή ημιαγωγών. Κατασκευασμένο από καρβίδιο πυριτίου υψηλής καθαρότητας, αυτό το ρομποτικό βραχίονα προσφέρει εξαιρετική αντίσταση σε υψηλές θερμοκρασίες, διάβρωση στο πλάσμα και χημική επίθεση, εξασφαλίζοντας αξιόπιστη λειτουργία σε απαιτητικά περιβάλλοντα καθαρού χώρου. Η εξαιρετική μηχανική αντοχή και η σταθερότητα των διαστάσεων επιτρέπουν την ακριβή χειρισμό των πλακιδίων, ελαχιστοποιώντας τους κινδύνους μόλυνσης, καθιστώντας την ιδανική επιλογή για MOCVD, επιταξία, εμφύτευση ιόντων και άλλες κρίσιμες εφαρμογές χειρισμού πλακιδίων. Χαιρετίζουμε τα ερωτήματά σας.
Σκάφος καρυδιού πυριτίου sic

Σκάφος καρυδιού πυριτίου sic

Τα σκάφη Veteksemicon SIC Wafer χρησιμοποιούνται ευρέως σε κρίσιμες διεργασίες υψηλής θερμοκρασίας στην κατασκευή ημιαγωγών, που χρησιμεύουν ως αξιόπιστοι φορείς για τις διαδικασίες οξείδωσης, διάχυσης και ανόπτησης για ολοκληρωμένα κυκλώματα που βασίζονται σε πυρίτιο. Επίσης, υπερέχουν στον τομέα των ημιαγωγών τρίτης γενιάς, ιδανικά για απαιτητικές διαδικασίες όπως η επιταξιακή ανάπτυξη (EPI) και η εναπόθεση χημικών ατμών μετάλλων (MOCVD) για συσκευές SIC και GAN Power. Υποστηρίζουν επίσης την κατασκευή υψηλής θερμοκρασίας ηλιακών κυττάρων υψηλής απόδοσης στη φωτοβολταϊκή βιομηχανία. Ανυπομονώ για την περαιτέρω διαβουλεύσεις σας.
SIC PLANSVER

SIC PLANSVER

Τα κιβώτια Veteksemicon SIC προβλήματος είναι βραχίονες υποστήριξης καρβιδίου πυριτίου υψηλής καθαρότητας που έχουν σχεδιαστεί για χειρισμό πλακιδίων σε οριζόντιους φούρνους διάχυσης και επιταξιακούς αντιδραστήρες. Με εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα, αντίσταση στη διάβρωση και μηχανική αντοχή, αυτά τα κουτάλια εξασφαλίζουν σταθερότητα και καθαριότητα σε απαιτητικά περιβάλλοντα ημιαγωγών. Διατίθεται σε προσαρμοσμένα μεγέθη και βελτιστοποιήθηκε για μεγάλη διάρκεια ζωής.
Ως επαγγελματίας κατασκευαστής και προμηθευτής στην Κίνα, έχουμε το δικό μας εργοστάσιο. Είτε χρειάζεστε προσαρμοσμένες υπηρεσίες για να καλύψετε τις συγκεκριμένες ανάγκες της περιοχής σας είτε θέλετε να αγοράσετε προηγμένες και ανθεκτικές Κεραμικά καρβιδίου πυριτίου που έγιναν στην Κίνα, μπορείτε να μας αφήσετε ένα μήνυμα.
X
Χρησιμοποιούμε cookies για να σας προσφέρουμε καλύτερη εμπειρία περιήγησης, να αναλύσουμε την επισκεψιμότητα του ιστότοπου και να εξατομικεύσουμε το περιεχόμενο. Χρησιμοποιώντας αυτόν τον ιστότοπο, συμφωνείτε με τη χρήση των cookies από εμάς. Πολιτική Απορρήτου
Απορρίπτω Αποδέχομαι