Προϊόντα

Το πορώδες κεραμικό τσοκ από το Veteksemicon είναι μια πλατφόρμα κενού που έχει σχεδιαστεί με ακρίβεια, σχεδιασμένη για ασφαλή και χωρίς σωματίδια χειρισμού πλακιδίων σε προηγμένες διεργασίες ημιαγωγών, όπως χάραξη, εμφύτευση ιόντων, CMP και επιθεώρηση. Κατασκευασμένο από καρβίδιο πορώδους πυριτίου υψηλής καθαρότητας, προσφέρει εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα, χημική αντοχή και μηχανική αντοχή. Με προσαρμόσιμα μεγέθη πόρων και διαστάσεις, το Veteksemicon προσφέρει προσαρμοσμένες λύσεις για να ανταποκριθεί στις αυστηρές απαιτήσεις των περιβαλλόντων επεξεργασίας πλακιδίων καθαρισμού.

Τα σκάφη με χαλαζία μας είναι διαλύματα φορέα υψηλής καθαρότητας προσαρμοσμένο σε διαδικασίες παραγωγής ημιαγωγών, λυχνιών, ηλιακών κυττάρων και μπαταριών. Σχεδιασμένο για να υπομείνει υψηλές θερμοκρασίες και χημικά επιθετικά περιβάλλοντα, αυτό το σκάφος χαλαζία διαθέτει χαμηλή θερμική επέκταση, εξαιρετική ηλεκτρική μόνωση και μακροχρόνια σταθερότητα διαστάσεων. Ιδανικό για διαδικασίες διάχυσης, οξείδωσης και LPCVD, υποστηρίζει ακριβή ευθυγράμμιση των πλακιδίων και διατίθεται σε διάφορα μεγέθη για να ικανοποιήσει διαφορετικές απαιτήσεις εξοπλισμού.

Τα κιβώτια Veteksemicon SIC προβλήματος είναι βραχίονες υποστήριξης καρβιδίου πυριτίου υψηλής καθαρότητας που έχουν σχεδιαστεί για χειρισμό πλακιδίων σε οριζόντιους φούρνους διάχυσης και επιταξιακούς αντιδραστήρες. Με εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα, αντίσταση στη διάβρωση και μηχανική αντοχή, αυτά τα κουτάλια εξασφαλίζουν σταθερότητα και καθαριότητα σε απαιτητικά περιβάλλοντα ημιαγωγών. Διατίθεται σε προσαρμοσμένα μεγέθη και βελτιστοποιήθηκε για μεγάλη διάρκεια ζωής.

Το μπλοκ SIC του Veteksemicon έχει σχεδιαστεί για λείανση υψηλής απόδοσης και αραίωση των πλακιδίων πυριτίου και ζαφείρι. Με εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα (≥120 W/M · K), υψηλή αντοχή σε θερμικό σοκ και ανώτερη αντοχή στη φθορά (MOHS ≥9), τα μπλοκ μας βελτιώνουν τη σταθερότητα της διαδικασίας και μειώνουν τη συχνότητα αλλαγής εργαλείων. Διατίθεται σε μεγέθη από 120mm έως 480mm, με προσαρμοσμένες επιλογές και γρήγορη παράδοση για την κάλυψη διαφορετικών αναγκών παραγωγής.

Ο κάτοχος πλακιδίων του καρβιδίου πυριτίου από το Veteksemicon έχει σχεδιαστεί για ακρίβεια και απόδοση σε προηγμένες διεργασίες ημιαγωγών όπως MOCVD, LPCVD και ανόπτηση υψηλής θερμοκρασίας. Με μια ομοιόμορφη επίστρωση CVD, αυτή η κάτοχος δίσκων εξασφαλίζει εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα, χημική αδράνεια και μηχανική αντοχή-απαραίτητη για την επεξεργασία χωρίς μόλυνση, υψηλής απόδοσης.

Veteksemicon δακτύλιοι υψηλής ποιότητας SIC, ειδικά σχεδιασμένοι για εξοπλισμό χάραξης ημιαγωγών, διαθέτουν εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση και θερμική σταθερότητα, ενισχύοντας σημαντικά την απόδοση του πλακιδίου