CVD SiC επικαλυμμένο γραφίτη Susceptor για Wafer Carrier

1. Πλεονεκτήματα προϊόντος

• Υλικό υψηλής καθαρότητας:Το υλικό γραφίτη ποιότητας ημιαγωγού και η πυκνή δομή επίστρωσης SiC ελαχιστοποιούν τους κινδύνους μόλυνσης και βελτιώνουν την αξιοπιστία του επικαλυμμένου με CVD SiC επιδέσμου γραφίτη.
• Άριστη θερμική ομοιομορφία:Η βελτιστοποιημένη δομή γραφίτη και η επίστρωση SiC παρέχουν σταθερή μεταφορά θερμότητας και ομοιόμορφο έλεγχο θερμοκρασίας πλακιδίων.
• Ανώτερη χημική αντοχή:Η πυκνή επίστρωση SiC προσφέρει ισχυρή αντοχή στα αέρια διεργασίας και στα διαβρωτικά περιβάλλοντα.
• Μεγάλη διάρκεια ζωής:Η υψηλή σκληρότητα και η αντοχή στη φθορά βελτιώνουν την αντοχή σε συνθήκες επιτάξεως υψηλής θερμοκρασίας.
• Χαμηλή παραγωγή σωματιδίων:Η πυκνή επιφάνεια CVD SiC μειώνει την απελευθέρωση σωματιδίων και βελτιώνει την αξιοπιστία της διεργασίας πλακιδίων.
• Προσαρμοσμένη ικανότητα σχεδίασης:Διατίθεται σε διαφορετικά μεγέθη, δομές και διαμορφώσεις σύμφωνα με τις απαιτήσεις εξοπλισμού.

2. Τεχνικές Προδιαγραφές

3. Εφαρμογές

• Διαδικασία Επιτάξεως SiC:Ο υποδοχέας γραφίτη χρησιμοποιείται ως φορέας γκοφρέτας σε εξοπλισμό επιτάξεως SiC, υποστηρίζοντας υποστρώματα SiC κατά την επιταξιακή ανάπτυξη σε υψηλή θερμοκρασία.
• Διαδικασία επιτάξεως πυριτίου:Εφαρμόζεται σε επιταξιακούς αντιδραστήρες πυριτίου για υποστήριξη πλακών και διατήρηση σταθερών θερμικών συνθηκών.
• MOCVD Epitaxy:Οι υποδοχείς γραφίτη VETEK είναι κατάλληλοι για MOCVD, επιταξία LED, επιταξία GaN, επιταξία πυριτίου και άλλες διαδικασίες παραγωγής ημιαγωγών που απαιτούν εξαιρετική θερμική ομοιομορφία και χημική σταθερότητα.
• Εξοπλισμός κατασκευής ημιαγωγών:Συμβατό με διάφορες πλατφόρμες επιταξίας, συμπεριλαμβανομένων οριζόντιων κλιβάνων LPE, Aixtron, NuFlare και σχετικού εξοπλισμού ημιαγωγών.

4. Γιατί να επιλέξετε το VETEK;

Η VETEK παρέχει εξατομικευμένες λύσεις υποδοχέα γραφίτη με επικάλυψη CVD SiC που ενσωματώνουν καθαρισμό γραφίτη, μηχανική κατεργασία ακριβείας, επίστρωση CVD και δυνατότητες επιθεώρησης. Τα προϊόντα υποδοχέα γραφίτη ποιότητας ημιαγωγών διαθέτουν υψηλή καθαρότητα, ομοιόμορφο πάχος επίστρωσης, εξαιρετική θερμική απόδοση και μεγάλη διάρκεια ζωής για απαιτητικές εφαρμογές μεταφοράς γκοφρέτας.