Porous Tantalum Carbide: Μια νέα γενιά υλικών για την ανάπτυξη κρυστάλλων SIC

Με τη σταδιακή μαζική παραγωγή αγώγιμων υποστρωμάτων SIC, τοποθετούνται υψηλότερες απαιτήσεις στη σταθερότητα και την επαναληψιμότητα της διαδικασίας. Συγκεκριμένα, ο έλεγχος των ελαττωμάτων, οι ελαφρές ρυθμίσεις ή οι μετακινήσεις στο θερμικό πεδίο του κλιβάνου θα οδηγήσουν σε αλλαγές στον κρύσταλλο ή σε αύξηση των ελαττωμάτων.

Στο μεταγενέστερο στάδιο, θα αντιμετωπίσουμε την πρόκληση του «να μεγαλώσουμε πιο γρήγορα, πιο χοντρά και πιο μακριά». Εκτός από τη βελτίωση της θεωρίας και της μηχανικής, χρειάζονται πιο προηγμένα υλικά θερμικού πεδίου ως υποστήριξη. Χρησιμοποιήστε προηγμένα υλικά για την ανάπτυξη προηγμένων κρυστάλλων.

Η ακατάλληλη χρήση υλικών όπως ο γραφίτης, ο πορώδης γραφίτης και η σκόνη καρβιδίου του ταντάλου στο χωνευτήριο στο θερμικό πεδίο θα οδηγήσουν σε ελαττώματα όπως αυξημένα εγκλείσματα άνθρακα. Επιπλέον, σε ορισμένες εφαρμογές, η διαπερατότητα του πορώδους γραφίτη δεν είναι αρκετή και πρέπει να ανοίξουν πρόσθετες τρύπες για να αυξηθεί η διαπερατότητα. Ο πορώδης γραφίτης με υψηλή διαπερατότητα αντιμετωπίζει προκλήσεις όπως η επεξεργασία, η απώλεια σκόνης και η χάραξη.

Πρόσφατα, ο Vetek Semiconductor ξεκίνησε μια νέα γενιά υλικών θερμικής πεδίου ανάπτυξης κρυστάλλων SIC,πορώδες καρβίδιο τανταλίου, για πρώτη φορά στον κόσμο.

Το καρβίδιο του τανταλίου έχει υψηλή αντοχή και σκληρότητα και είναι ακόμη πιο δύσκολο να γίνει πορώδες. Είναι ακόμη πιο δύσκολο να φτιάξετε πορώδες καρβίδιο τανταλίου με μεγάλο πορώδες και υψηλή καθαρότητα. Η VeTek Semiconductor κυκλοφόρησε ένα πρωτοποριακό πορώδες καρβίδιο τανταλίου με μεγάλο πορώδες,με μέγιστο πορώδες 75%, φθάνοντας στο διεθνές ηγετικό επίπεδο.

Επιπλέον, μπορεί να χρησιμοποιηθεί για φιλτράρισμα συστατικών αέριας φάσης, ρύθμιση τοπικών κλίσεων θερμοκρασίας, καθοδήγηση κατεύθυνσης ροής υλικού, έλεγχο διαρροής κ.λπ. μπορεί να συνδυαστεί με άλλη επίστρωση στερεού καρβιδίου τανταλίου (πυκνό) ή καρβιδίου του τανταλίου της VeTek Semiconductor για να σχηματίσει εξαρτήματα με διαφορετικές αγωγιμότητες τοπικής ροής. ορισμένα εξαρτήματα μπορούν να επαναχρησιμοποιηθούν.

Τεχνικές παραμέτρους

Πορώδες ≤75% διεθνής οδηγώντας

Σχήμα: Φιλοκατασκευή, κυλινδρική διεθνή κορυφή

Ομοιόμορφο πορώδες

Το Vetek Semiconductor Porous Tantalum Carbide (TAC) έχει τα ακόλουθα χαρακτηριστικά προϊόντος

●   Porosity για ευέλικτες εφαρμογές

Η πορώδης δομή του TAC παρέχει πολυλειτουργικότητα, επιτρέποντας τη χρήση της σε εξειδικευμένα σενάρια όπως:

Διάχυση αερίου: Διευκολύνει τον ακριβή έλεγχο ροής αερίου σε διαδικασίες ημιαγωγών.

Διήθηση: Ιδανικό για περιβάλλοντα που απαιτούν διαχωρισμό σωματιδίων υψηλής απόδοσης.

Ελεγχόμενη διάχυση θερμότητας: Αποτελεσματικά διαχειρίζεται τη θερμότητα σε συστήματα υψηλής θερμοκρασίας, ενισχύοντας τη συνολική θερμική ρύθμιση.

● Ακραία αντίσταση υψηλής θερμοκρασίας

Με σημείο τήξης περίπου 3.880°C, το καρβίδιο του τανταλίου υπερέχει σε εφαρμογές σε εξαιρετικά υψηλές θερμοκρασίες. Αυτή η εξαιρετική αντοχή στη θερμότητα εξασφαλίζει σταθερή απόδοση σε συνθήκες όπου τα περισσότερα υλικά αποτυγχάνουν.

● Ανώτερη σκληρότητα και ανθεκτικότητα

Κατάταξη 9-10 στην κλίμακα σκληρότητας Mohs, παρόμοια με το διαμάντι, το πορώδες TAC επιδεικνύει απαράμιλλη αντίσταση στη μηχανική φθορά, ακόμη και κάτω από ακραία πίεση. Αυτή η ανθεκτικότητα το καθιστά ιδανικό για εφαρμογές που εκτίθενται σε λειαντικά περιβάλλοντα.

● Εξαιρετική θερμική σταθερότητα

Το καρβίδιο του ταντάλου διατηρεί τη δομική ακεραιότητα και την απόδοση του σε ακραία θερμότητα. Η αξιοσημείωτη θερμική σταθερότητα της εξασφαλίζει αξιόπιστη λειτουργία σε βιομηχανίες που απαιτούν συνοχή υψηλής θερμοκρασίας, όπως η παραγωγή ημιαγωγών και η αεροδιαστημική.

●   Εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα

Παρά την πορώδη φύση του, το Porous TaC διατηρεί αποτελεσματική μεταφορά θερμότητας, επιτρέποντας τη χρήση του σε συστήματα όπου η ταχεία απαγωγή θερμότητας είναι κρίσιμη. Αυτό το χαρακτηριστικό ενισχύει τη δυνατότητα εφαρμογής του υλικού σε διαδικασίες έντασης θερμότητας.

● Χαμηλή θερμική διαστολή για σταθερότητα διαστάσεων

Με χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής, το καρβίδιο του τανταλίου αντιστέκεται στις αλλαγές διαστάσεων που προκαλούνται από τις διακυμάνσεις της θερμοκρασίας. Αυτή η ιδιότητα ελαχιστοποιεί τη θερμική καταπόνηση, παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής των εξαρτημάτων και διατηρώντας την ακρίβεια σε κρίσιμα συστήματα.

Στην κατασκευή ημιαγωγών, το πορώδες καρβίδιο τανταλίου (TaC) παίζει τους ακόλουθους συγκεκριμένους βασικούς ρόλους

● Σε διεργασίες υψηλής θερμοκρασίας όπως η χάραξη στο πλάσμα και η CVD, το πορώδες καρβίδιο Tantalum του Vetek χρησιμοποιείται συχνά ως προστατευτική επικάλυψη για εξοπλισμό επεξεργασίας. Αυτό οφείλεται στην ισχυρή αντοχή στη διάβρωση της επικάλυψης TAC και της σταθερότητας υψηλής θερμοκρασίας. Αυτές οι ιδιότητες διασφαλίζουν ότι προστατεύει αποτελεσματικά τις επιφάνειες που εκτίθενται σε αντιδραστικά αέρια ή ακραίες θερμοκρασίες, εξασφαλίζοντας έτσι την κανονική αντίδραση των διεργασιών υψηλής θερμοκρασίας.

● Σε διεργασίες διάχυσης, το πορώδες καρβίδιο του ταντάλου μπορεί να χρησιμεύσει ως αποτελεσματικό φράγμα διάχυσης για την πρόληψη της ανάμειξης των υλικών σε διεργασίες υψηλής θερμοκρασίας. Αυτό το χαρακτηριστικό χρησιμοποιείται συχνά για τον έλεγχο της διάχυσης των προσωμάτων σε διεργασίες όπως η εμφύτευση ιόντων και ο έλεγχος της καθαρότητας των πλακιδίων ημιαγωγών.

●  Η πορώδης δομή του καρβιδίου πορώδους τανταλίου ημιαγωγού VeTek είναι πολύ κατάλληλη για περιβάλλοντα επεξεργασίας ημιαγωγών που απαιτούν ακριβή έλεγχο ροής αερίου ή διήθηση. Σε αυτή τη διαδικασία, το Porous TaC παίζει κυρίως το ρόλο της διήθησης και διανομής αερίου. Η χημική του αδράνεια διασφαλίζει ότι δεν εισάγονται ρύποι κατά τη διαδικασία διήθησης. Αυτό εγγυάται αποτελεσματικά την καθαρότητα του επεξεργασμένου προϊόντος.

Σχετικά με την αποζημίωση ημιαγωγού

Ως επαγγελματίας στην Κίνα κατασκευαστής καρβιδίου πορώδους τανταλίου, προμηθευτής, εργοστάσιο, έχουμε το δικό μας εργοστάσιο. Είτε χρειάζεστε προσαρμοσμένες υπηρεσίες για να καλύψετε τις συγκεκριμένες ανάγκες της περιοχής σας είτε θέλετε να αγοράσετε προηγμένο και ανθεκτικό πορώδες καρβίδιο τανταλίου κατασκευασμένο στην Κίνα, μπορείτε να μας αφήσετε ένα μήνυμα.

Εάν έχετε οποιεσδήποτε ερωτήσεις ή χρειάζεστε επιπλέον λεπτομέρειες σχετικά μεΠορώδες καρβίδιο τανταλίου、Πορώδες γραφίτη επικαλυμμένο με καρβίδιοκαι άλλαΣυστατικά επικαλυμμένα με καρβίδιο τανταλίου, μη διστάσετε να επικοινωνήσετε μαζί μας.

☏☏☏Mob/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

☏☏☏Email: anny@veteksemi.com