Προϊόντα

Σχεδιασμένος για να περιβάλλει τη ζώνη παρακολούθησης πλακιδίων, το Solid SiC Focus Ring εξασφαλίζει γραμμική κατανομή πλάσματος και ακριβή προφίλ χάραξης από άκρη σε κέντρο. Αυτά τα premium εξαρτήματα β-SiC κατασκευάζονται από την Vetek Semiconductor (Wuyi Tianyao New Material Technology Co., LTD) χρησιμοποιώντας αποκλειστική τεχνολογία Chemical Vapor Deposition (CVD). Με την εξάτμιση των πρώτων υλών σε μια πυκνή, χωρίς συνδετική μήτρα, η Vetek εξαλείφει τα πορώδη μικροκενά που είναι κοινά σε παλαιότερα υλικά. Σε σύγκριση με την τυπική θωράκιση από χαλαζία ή πυρίτιο, τα εξαρτήματά μας CVD SiC αντέχουν πολύ καλύτερα σε διαβρωτικά αέρια αλογόνου, προστατεύοντας τη γκοφρέτα με λογική βαθιάς κάτω των 7 nm και πυκνή κατασκευή τσιπ μνήμης. Ανυπομονούμε για περαιτέρω ερώτησή σας.

Αυτό το AMAT 0200-03201 Wafer Lift Pin από την VeTek ξεκινά με γραφίτη υψηλής καθαρότητας και στη συνέχεια προσθέτουμε μια πυκνή επίστρωση CVD SiC από πάνω. Είναι κατασκευασμένο για συστήματα επιταξίας 300 mm και αντιδραστήρες EPI Applied Materials. Γιατί γραφίτης και SiC; Ο γραφίτης χειρίζεται τη θερμότητα πολύ καλά. Το στρώμα SiC προσλαμβάνει διαβρωτικά αέρια και δεν φθείρεται γρήγορα. Το σχέδιο λεπτού τοίχου; Αυτό είναι για καθαρότερη ανύψωση και τοποθέτηση γκοφρέτας, λιγότερα σωματίδια και μεγαλύτερη διάρκεια ζωής σε υψηλές θερμοκρασίες. Κατασκευάζουμε επίσης παρόμοια εξαρτήματα γραφίτη με επίστρωση SiC για συστήματα ASM, Aixtron και LPE. Ανυπομονώ για την ερώτησή σας.

Η Vetek Semiconductor κατασκευάζει δοχεία γκοφρέτας για συστήματα VEECO MOCVD, κατασκευασμένα ειδικά για εργασίες επιταξίας LED όπως GaN LED, μπλε-πράσινα LED και ανάπτυξη LED βαθιάς UV. Αυτοί οι φορείς ξεκινούν με γραφίτη υψηλής καθαρότητας και έχουν μια πυκνή επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου CVD (SiC). Αυτός ο συνδυασμός κρατάει καλά στις υψηλές θερμοκρασίες που βλέπετε στο MOCVD – καλή θερμική σταθερότητα, αντοχή στη διάβρωση και η επίστρωση διαρκεί.

Το Halfmoon είναι ένα εξάρτημα γραφίτη που χρησιμοποιείται μέσα σε αντιδραστήρες LPE SiC, που είναι εγκατεστημένοι κυρίως γύρω από την θερμή ζώνη του θαλάμου. Παρόλο που δεν έρχεται σε άμεση επαφή με τη γκοφρέτα, εξακολουθεί να παίζει ρόλο στη σταθερότητα της ροής αερίου και στη λειτουργία του αντιδραστήρα κατά την επιταξιακή ανάπτυξη. Για να χειριστείτε συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας και αντιδραστικής διεργασίας, το εξάρτημα συνήθως προστατεύεται με επίστρωση CVD SiC, ενώ η επίστρωση TaC είναι επίσης διαθέσιμη για ορισμένες εφαρμογές. Η VETEK προμηθεύει επίσης μόνωση από τσόχα γραφίτη και άλλα επικαλυμμένα εξαρτήματα γραφίτη για συστήματα επιτάξεως SiC.

Ο κορυφαίος δακτύλιος SiC epi 8 ιντσών είναι ένα εξάρτημα υλικού για αντιδραστήρες ημιαγωγών. Λειτουργεί μέσα σε συστήματα επιτάξεως Si/SiC και MOCVD/CVD. Αυτός ο δακτύλιος σταθεροποιεί τη θερμότητα στο εσωτερικό του θαλάμου. Ελέγχει επίσης τη ροή των αερίων. Το υλικό είναι καρβίδιο του πυριτίου CVD υψηλής καθαρότητας. Δεν έχει τα θέματα εξάτμισης του γραφίτη. Μειώνει επίσης τη μόλυνση από σωματίδια κατά την παραγωγή. Χαιρετίζουμε τα ερωτήματά σας.

Η VETEK έχει αναπτύξει τη μαλακή τσόχα μας από ανθρακονήματα χρησιμοποιώντας έναν συνδυασμό λαναρίσματος ακριβείας και τεχνολογίας πίδακα αέρα. μπορούμε να εγγυηθούμε μια εξαιρετικά ομοιόμορφη δομή ινών σε όλο το υλικό. Είναι κατασκευασμένο για να αντέχει την έντονη θερμότητα των βιομηχανικών κλιβάνων ενώ παραμένει απίστευτα ελαφρύ. Με τόσο χαμηλή θερμική μάζα και εύκαμπτη υφή, είναι εύκολο να εγκατασταθεί και να ταιριάζει άνετα στις γωνίες του κλιβάνου, συμβάλλοντας στη μεγιστοποίηση της ενεργειακής απόδοσης σε κάθε κύκλο.