Στερεό καρβίδιο του πυριτίου

Το VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide είναι ένα σημαντικό κεραμικό συστατικό στον εξοπλισμό χάραξης πλάσματος, στερεό καρβίδιο πυριτίου (Καρβίδιο του πυριτίου CVD) τα μέρη στον εξοπλισμό χάραξης περιλαμβάνουνδαχτυλίδια εστίασης, κεφαλή ντους αερίου, δίσκος, δακτύλιοι ακμών κ.λπ. Λόγω της χαμηλής αντιδραστικότητας και αγωγιμότητας του στερεού καρβιδίου του πυριτίου (CVD καρβίδιο του πυριτίου) σε αέρια χάραξης που περιέχουν χλώριο και φθόριο, είναι ιδανικό υλικό για δακτυλίους εστίασης εξοπλισμού χάραξης πλάσματος και άλλα εξαρτήματα.

Για παράδειγμα, ο δακτύλιος εστίασης είναι ένα σημαντικό μέρος που τοποθετείται έξω από τη γκοφρέτα και σε άμεση επαφή με τη γκοφρέτα, εφαρμόζοντας τάση στον δακτύλιο για να εστιάσει το πλάσμα που διέρχεται από τον δακτύλιο, εστιάζοντας έτσι το πλάσμα στη γκοφρέτα για να βελτιώσει την ομοιομορφία του επεξεργασία. Ο παραδοσιακός δακτύλιος εστίασης είναι κατασκευασμένος από πυρίτιο ήχαλαζίας, αγώγιμο πυρίτιο ως κοινό υλικό δακτυλίου εστίασης, είναι σχεδόν κοντά στην αγωγιμότητα των πλακών πυριτίου, αλλά η έλλειψη είναι κακή αντίσταση χάραξης σε πλάσμα που περιέχει φθόριο, υλικά εξαρτημάτων μηχανής χάραξης που χρησιμοποιούνται συχνά για ένα χρονικό διάστημα, θα υπάρξουν σοβαρές φαινόμενο διάβρωσης, μειώνοντας σοβαρά την παραγωγική του απόδοση.

Sπαλιό δαχτυλίδι εστίασης SiCΑρχή Εργασίας：

Σύγκριση του δακτυλίου εστίασης με βάση το Si και του δακτυλίου εστίασης CVD SiC: