Η εφαρμογή των εξαρτημάτων Quartz σε εξοπλισμό ημιαγωγών

Προϊόντα χαλαζίαχρησιμοποιούνται ευρέως στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών λόγω της υψηλής καθαρότητας, της αντοχής υψηλής θερμοκρασίας και της ισχυρής χημικής σταθερότητας.

1.quartz Crucible

Εφαρμογή - Χρησιμοποιείται για την κατάρτιση μονοκρυσταλλικών ράβδων πυριτίου και είναι ένας πυρήνας που αναλύεται στην κατασκευή πλακιδίων πυριτίου.

Quartz Cruciblesείναι κατασκευασμένα από άμμο χαλαζία υψηλής καθαρότητας (4n8 και άνω) για να μειωθεί η μόλυνση από μεταλλικές ακαθαρσίες. Θα πρέπει να έχει σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας (σημείο τήξης> 1700 ° C) και χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής. Τα χωνευτήρια χαλαζία στο πεδίο ημιαγωγών χρησιμοποιούνται κυρίως για την κατασκευή μονών κρυστάλλων πυριτίου. Είναι αναλώσιμα δοχεία χαλαζία για τη φόρτωση των πρώτων υλών από πολυκρυσταλλικές πυριτίνες και μπορούν να χωριστούν σε τετράγωνα και στρογγυλούς τύπους. Τα τετράγωνα χρησιμοποιούνται για τη χύτευση πολυκρυσταλλικών πλινθώσεων πυριτίου, ενώ οι στρογγυλές χρησιμοποιούνται για το σχέδιο μονοκρυσταλλικών ράβδων πυριτίου. Μπορεί να αντέξει τις υψηλές θερμοκρασίες και να διατηρήσει τη χημική σταθερότητα, εξασφαλίζοντας την καθαρότητα και την ποιότητα των μεμονωμένων κρυστάλλων πυριτίου.

2. Σωλήνες φούρνου χαλαζία

Σωλήνες χαλαζίαχρησιμοποιούνται ευρέως στη βιομηχανία ημιαγωγών λόγω των χαρακτηριστικών τους, όπως η αντίσταση υψηλής θερμοκρασίας (η μακροπρόθεσμη θερμοκρασία λειτουργίας μπορεί να φτάσει πάνω από 1100 ° C), η χημική ανθεκτικότητα στη διάβρωση (ιδιαίτερα η ισοπέδωση, εκτός από μερικά αντιδραστήρια όπως το υδροφθορικό οξύ), η υψηλή καθαρότητα (περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες μπορεί να είναι τόσο χαμηλή όσο το PPM ή ακόμα και το PPB επίπεδο) και η εξαιρετική μετάδοση φωτός (ειδικά έναντι της υπολειπόμενης ακτίνας). Τα βασικά σενάρια συγκεντρώνονται σε πολλαπλές βασικές συνδέσεις διαδικασίας της κατασκευής πλακιδίων.

Κύριοι σύνδεσμοι εφαρμογών:διάχυση, οξείδωση, CVD (απόθεση χημικών ατμών)

Σκοπός:

• Σωλήνας διάχυσης: Χρησιμοποιείται σε διεργασίες διάχυσης υψηλής θερμοκρασίας, μεταφέρει πλακίδια πυριτίου για ντόπινγκ.
• Σωλήνας κλιβάνου: Υποστηρίζει σκάφη χαλαζία στον φούρνο οξείδωσης για θεραπεία οξείδωσης υψηλής θερμοκρασίας.

Χαρακτηριστικά:

Πρέπει να πληροί τις απαιτήσεις της υψηλής καθαρότητας (μεταλλικό ιόν ≤1ppm) και αντίστασης παραμόρφωσης υψηλής θερμοκρασίας (πάνω από 1200 ° C).

3. Κρυσταλλικό σκάφος χαλαζία

Ανάλογα με τον διαφορετικό εξοπλισμό, χωρίζεται σε κατακόρυφους και οριζόντιους τύπους. Ανάλογα με διαφορετικές γραμμές παραγωγής FAB, το εύρος μεγέθους είναι 4 έως 12 ίντσες. Στην κατασκευή του ημιαγωγού ICS,Κρυσταλλικά σκάφη χαλαζίαχρησιμοποιούνται κυρίως στις διαδικασίες μεταφοράς, καθαρισμού και επεξεργασίας. Ως ανθεκτικοί σταθμοί ανθεκτικών σε υψηλής καθαρότητας και υψηλής θερμοκρασίας, διαδραματίζουν έναν απαραίτητο ρόλο. Στη διαδικασία διάχυσης ή οξείδωσης του σωλήνα του κλιβάνου, πολλαπλά πλακίδια τοποθετούνται σε κρυστάλλινα σκάφη χαλαζία και στη συνέχεια ωθούνται στον σωλήνα του κλιβάνου για την κατασκευή παρτίδων.

Οι εγχυτήρες σε ημιαγωγούς χρησιμοποιούνται κυρίως για τη μεταφορά αερίου ή υγρών υλικών και εφαρμόζονται σε πολλαπλούς βασικούς δεσμούς διεργασιών όπως η εναπόθεση λεπτού φιλμ, η χάραξη και το ντόπινγκ.

Στη διαδικασία καθαρισμού της παραγωγής τρανζίστορ πυριτίου και ολοκληρωμένου κυκλώματος, χρησιμοποιείται για τη μεταφορά πλακών πυριτίου και πρέπει να είναι ανθεκτική στην οξύ και αλκαλικά για να εξασφαλιστεί ότι οι πλακές πυριτίου δεν μολύνονται κατά τη διάρκεια της διαδικασίας καθαρισμού.

6. Φλάντζες χαλαζία, δαχτυλίδια χαλαζία, δακτύλιοι εστίασης κ.λπ.

Χρησιμοποιείται σε διαδικασίες χάραξης ημιαγωγών, σε συνδυασμό με άλλα προϊόντα χαλαζία για να επιτευχθεί σφραγισμένη προστασία της κοιλότητας, που περιβάλλει στενά το δίσκο, εμποδίζοντας διάφορους τύπους μόλυνσης κατά τη διάρκεια της διαδικασίας παραγωγής χάραξης και παίζοντας προστατευτικό ρόλο.

Βάζα χαλαζία κουδούνιείναι βασικά συστατικά που χρησιμοποιούνται συνήθως στη βιομηχανία ημιαγωγών, που διαθέτει αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία, αντοχή στη διάβρωση και κάλυμμα φούρνου με μείωση του φούρνου: Το κάλυμμα Bell Quartz χρησιμοποιείται κυρίως ως κάλυμμα φούρνου για το polysilicon. Στην παραγωγή πολυσυριτίνα, το τριχλωροσίνιο υψηλής καθαρότητας αναμιγνύεται με υδρογόνο σε ένα ορισμένο ποσοστό και στη συνέχεια εισάγεται στον κλίβανο μείωσης εξοπλισμένου με κάλυμμα κουδουνιού χαλαζία, όπου εμφανίζεται μια αντίδραση μείωσης στον αγώγιμο πυρήνα πυριτίου για την κατάθεση και τη μορφή πολυπυριτίου.

8. Δεξαμενή υγρού καθαρισμού χαλαζία

Στάδιο εφαρμογής: υγρό καθαρισμό των θαλάσσιων θαλάσσιων πλακών

Χρήση: Χρησιμοποιείται για πλύση οξέος (HF, H₂so₄, κλπ.) Και υπερηχητικός καθαρισμός.

Χαρακτηριστικά: Ισχυρή χημική σταθερότητα και αντίσταση στην ισχυρή διάβρωση οξέος.

9.

Το μπουκάλι συλλογής υγρών χρησιμοποιείται κυρίως για τη συλλογή υγρών αποβλήτων ή υπολειμματικού υγρού στη διαδικασία υγρού καθαρισμού

Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας υγρού καθαρισμού των πλακιδίων (όπως ο καθαρισμός RCA, ο καθαρισμός SC1/SC2), απαιτούνται μεγάλη ποσότητα εξαιρετικά νερού ή αντιδραστηρίων για να ξεπλύνετε τα πλακίδια και μετά από ξεπλύματα, υπολειμματικά υγρά που περιέχουν ιχνοστοιχεία. Μετά από ορισμένες διεργασίες επικάλυψης (όπως επικάλυψη φωτοαντισκόπησης), θα υπάρχουν επίσης περίσσεια υγρών (όπως υγρό απόβλητα φωτοαντιστάσεων) που πρέπει να συλλεχθούν.

Λειτουργία Τα μπουκάλια συλλογής υγρών χρησιμοποιούνται για τη στενή συλλογή αυτών των υπολειμματικών ή αποβλήτων υγρών, ειδικά στο "στάδιο καθαρισμού υψηλής ακρίβειας" (όπως το στάδιο προεπεξεργασίας της επιφάνειας του δίσκου), όπου το υπολειμματικό υγρό μπορεί να περιέχει μια μικρή ποσότητα αντιδραστηρίων υψηλής αξίας ή ακαθαρσίες που χρειάζονται επακόλουθη ανάλυση. Η χαμηλή μόλυνση των φιαλών χαλαζία μπορεί να εμποδίσει το υπολειμματικό υγρό να επαναπροσδιοριστεί, διευκολύνοντας την επακόλουθη ανάκτηση (όπως ο καθαρισμός του αντιδραστηρίου) ή την ακριβή ανίχνευση (όπως ανάλυση περιεχομένου ακαθαρσιών στο υπολειμματικό υγρό).

Επιπλέον, οι μάσκες χαλαζία που κατασκευάζονται από συνθετικά υλικά χαλαζία εφαρμόζονται στη φωτολιθογραφία ως "αρνητικά" μηχανήματα φωτοβολιτογραφίας για μεταφορά προτύπων. Και οι ταλαντωτές κρυστάλλων χαλαζία που χρησιμοποιούνται σε εναπόθεση λεπτού φιλμ (PVD, CVD, ALD) για την παρακολούθηση του πάχους της λεπτής μεμβράνης και εξασφαλίζουν την ομοιομορφία της εναπόθεσης, μεταξύ πολλών άλλων πτυχών, δεν επεξεργάζονται σε αυτό το άρθρο.

Συμπερασματικά, τα προϊόντα χαλαζία είναι σχεδόν παρόντα σε όλη τη διαδικασία της παραγωγής ημιαγωγών, από την ανάπτυξη μονοκρυσταλλικών πυριτίων (χαλαζία σταυροειδών) έως τις εξαιρετικές και χημικές τους ιδιότητες. Με την εξέλιξη των διεργασιών ημιαγωγών, οι απαιτήσεις για την καθαρότητα, την αντίσταση στη θερμοκρασία και την ακρίβεια διαστάσεων των υλικών χαλαζία θα ενισχυθούν περαιτέρω.