Δακτύλιος γραφίτη με επικάλυψη CVD TaC

Γενικές πληροφορίες προϊόντος

Όροι επιχείρησης προϊόντος

Εφαρμογή: Το Veteksemicon CVD TaC Coated Ring είναι ειδικά σχεδιασμένο γιαΔιεργασίες ανάπτυξης κρυστάλλων SiC. Ως βασικό φέρον συστατικό στον θάλαμο αντίδρασης υψηλής θερμοκρασίας, η μοναδική του επίστρωση TaC απομονώνει αποτελεσματικά τη διάβρωση ατμών πυριτίου, αποτρέπει τη μόλυνση από ακαθαρσίες και εξασφαλίζει δομική σταθερότητα σε μακροπρόθεσμα περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας, παρέχοντας αξιόπιστη εγγύηση για την απόκτηση κρυστάλλων υψηλής ποιότητας.

Υπηρεσίες που μπορούν να παρέχονται: ανάλυση σεναρίου εφαρμογής πελατών, αντιστοίχιση υλικών, επίλυση τεχνικών προβλημάτων.

Εταιρικό προφίλe：Το Veteksemicon διαθέτει 2 εργαστήρια, μια ομάδα ειδικών με 20ετή εμπειρία υλικών, με δυνατότητες Ε&Α και παραγωγής, δοκιμών και επαλήθευσης.

Το Veteksemicon CVD TaC Coated Ring είναι ένα αναλώσιμο πυρήνα σχεδιασμένο για εναπόθεση χημικών ατμών σε υψηλή θερμοκρασία και ανάπτυξη κρυστάλλων προηγμένων υλικών ημιαγωγών, ιδιαίτερα καρβιδίου του πυριτίου. Χρησιμοποιούμε μια μοναδική, βελτιστοποιημένη τεχνολογία εναπόθεσης χημικών ατμών για να εναποθέσουμε ένα πυκνό, ομοιόμορφοεπίστρωση καρβιδίου τανταλίουσε υπόστρωμα γραφίτη υψηλής καθαρότητας. Με εξαιρετική αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση και εξαιρετικά μεγάλη διάρκεια ζωής, αυτό το προϊόν προστατεύει αποτελεσματικά την ποιότητα των κρυστάλλων και μειώνει σημαντικά το συνολικό κόστος παραγωγής σας, καθιστώντας το μια βασική επιλογή για διαδικασίες που απαιτούν σταθερότητα διαδικασίας και υψηλότερη απόδοση.

Τεχνικές Παράμετροι:

Πλεονεκτήματα πυρήνα του Veteksemicon CVD TaC Coated Ring

Απαράμιλλη αγνότητα και σταθερότητα

Στο ακραίο περιβάλλον ανάπτυξης κρυστάλλων SiC, όπου οι θερμοκρασίες υπερβαίνουν τους 2000°C, ακόμη και ίχνη ακαθαρσιών μπορούν να καταστρέψουν τις ηλεκτρικές ιδιότητες ολόκληρου του κρυστάλλου. ΜαςΕπικάλυψη CVD TaC, με την εξαιρετική του καθαρότητα, εξαλείφει θεμελιωδώς τη μόλυνση από το δαχτυλίδι. Επιπλέον, η εξαιρετική του σταθερότητα σε υψηλή θερμοκρασία διασφαλίζει ότι η επίστρωση δεν θα αποσυντεθεί, δεν θα εξατμιστεί ή δεν θα αντιδράσει με αέρια διεργασίας κατά τη διάρκεια παρατεταμένης υψηλής θερμοκρασίας και θερμικού κύκλου, παρέχοντας ένα καθαρό και σταθερό περιβάλλον φάσης ατμού για ανάπτυξη κρυστάλλων.

Εξαιρετική διάβρωση καιαντοχή στη διάβρωση

Η διάβρωση του γραφίτη από ατμούς πυριτίου είναι η κύρια αιτία αστοχίας και μόλυνσης από σωματίδια στους παραδοσιακούς δακτυλίους γραφίτη. Η επίστρωση TaC μας, με την εξαιρετικά χαμηλή χημική αντιδραστικότητα με το πυρίτιο, εμποδίζει αποτελεσματικά τους ατμούς πυριτίου, προστατεύοντας το υποκείμενο υπόστρωμα γραφίτη από τη διάβρωση. Αυτό όχι μόνο επεκτείνει σημαντικά τη διάρκεια ζωής του ίδιου του δακτυλίου, αλλά, το πιο σημαντικό, μειώνει σημαντικά τα σωματίδια που δημιουργούνται από τη διάβρωση και το ξεφλούδισμα του υποστρώματος, βελτιώνοντας άμεσα την απόδοση ανάπτυξης κρυστάλλων και την εσωτερική ποιότητα.

Εξαιρετική μηχανική απόδοση και διάρκεια ζωής

Η επίστρωση TaC που σχηματίζεται από τη διαδικασία CVD έχει εξαιρετικά υψηλή πυκνότητα και σκληρότητα Vickers, καθιστώντας την εξαιρετικά ανθεκτική στη φθορά και τη φυσική κρούση. Σε πρακτικές εφαρμογές, τα προϊόντα μας μπορούν να παρατείνουν τη διάρκεια ζωής κατά 3 έως 8 φορές σε σύγκριση με τους παραδοσιακούς δακτυλίους γραφίτη ή τους δακτυλίους με επίστρωση πυρολυτικού άνθρακα/καρβιδίου του πυριτίου. Αυτό σημαίνει λιγότερο χρόνο διακοπής για αντικατάσταση και υψηλότερη χρήση εξοπλισμού, μειώνοντας σημαντικά το συνολικό κόστος της παραγωγής μονοκρυστάλλων.

Άριστη ποιότητα επίστρωσης

Η απόδοση μιας επίστρωσης εξαρτάται σε μεγάλο βαθμό από την ομοιομορφία και την αντοχή συγκόλλησης. Η βελτιστοποιημένη διαδικασία CVD μας δίνει τη δυνατότητα να επιτύχουμε εξαιρετικά ομοιόμορφο πάχος επίστρωσης ακόμη και στις πιο σύνθετες γεωμετρίες δακτυλίου. Το πιο σημαντικό, η επίστρωση σχηματίζει έναν ισχυρό μεταλλουργικό δεσμό με το υπόστρωμα γραφίτη υψηλής καθαρότητας, αποτρέποντας αποτελεσματικά το ξεφλούδισμα, το ράγισμα ή το ξεφλούδισμα που προκαλείται από διαφορές στους συντελεστές θερμικής διαστολής κατά τους γρήγορους κύκλους θέρμανσης και ψύξης, διασφαλίζοντας συνεχή αξιόπιστη απόδοση σε όλο τον κύκλο ζωής του προϊόντος.

Έγκριση επαλήθευσης οικολογικής αλυσίδας

Η επαλήθευση της οικολογικής αλυσίδας του Veteksemicon CVD TaC Coated Ring καλύπτει τις πρώτες ύλες για την παραγωγή, έχει περάσει πιστοποίηση διεθνών προτύπων και διαθέτει μια σειρά κατοχυρωμένων τεχνολογιών για να διασφαλίσει την αξιοπιστία και τη βιωσιμότητά του στους τομείς ημιαγωγών και νέων ενεργειακών πόρων.

Για λεπτομερείς τεχνικές προδιαγραφές, λευκές βίβλους ή ρυθμίσεις δειγμάτων δοκιμών, παρακαλούμεεπικοινωνήστε με την ομάδα τεχνικής υποστήριξηςγια να εξερευνήσετε πώς το Veteksemicon μπορεί να βελτιώσει την αποτελεσματικότητα της διαδικασίας σας.