Μεταφορέας πλακιδίων επικάλυψης

Η Vetek Semiconductor ειδικεύεται στην κατασκευή και την παροχή φορέων υψηλής απόδοσης SIC επικάλυψης και δεσμεύεται να παρέχει προηγμένες λύσεις τεχνολογίας και προϊόντων στη βιομηχανία ημιαγωγών.

Στην κατασκευή ημιαγωγών, ο φορέας πλακιδίων SIC του Semiconductor του Vetek είναι ένα βασικό συστατικό στον εξοπλισμό χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD), ειδικά στον εξοπλισμό μεταλλικών οργανικών χημικών ατμών (MOCVD). Το κύριο καθήκον του είναι να υποστηρίξει και να θερμαίνει το ενιαίο κρύσταλλο υπόστρωμα έτσι ώστε το επιταξιακό στρώμα να μπορεί να αναπτυχθεί ομοιόμορφα. Αυτό είναι απαραίτητο για την κατασκευή συσκευών ημιαγωγών υψηλής ποιότητας.

Η αντοχή στη διάβρωση της επικάλυψης SIC είναι πολύ καλή, η οποία μπορεί να προστατεύσει αποτελεσματικά τη βάση γραφίτη από διαβρωτικά αέρια. Αυτό είναι ιδιαίτερα σημαντικό σε υψηλής θερμοκρασίας και διαβρωτικά περιβάλλοντα. Επιπλέον, η θερμική αγωγιμότητα του υλικού SIC είναι επίσης πολύ εξαιρετική, η οποία μπορεί να διεξάγει ομοιόμορφα τη θερμότητα και να εξασφαλίσει ομοιόμορφη κατανομή θερμοκρασίας, βελτιώνοντας έτσι την ποιότητα ανάπτυξης των επιταξιακών υλικών.

Η επίστρωση SIC διατηρεί χημική σταθερότητα σε υψηλή θερμοκρασία και διαβρωτική ατμόσφαιρα, αποφεύγοντας το πρόβλημα της αποτυχίας επικάλυψης. Το πιο σημαντικό είναι ότι ο συντελεστής θερμικής επέκτασης του SIC είναι παρόμοιος με αυτόν του γραφίτη, ο οποίος μπορεί να αποφύγει το πρόβλημα της απόρριψης επικάλυψης λόγω θερμικής επέκτασης και συστολής και εξασφαλίζει τη μακροπρόθεσμη σταθερότητα και αξιοπιστία της επικάλυψης.

Βασικές φυσικές ιδιότητες τουΜεταφορέας πλακιδίων επικάλυψης:

Κατάστημα παραγωγής:

Επισκόπηση της αλυσίδας βιομηχανίας επιταξίας Chip Epitaxy Semiconductor: