Επικάλυψη καρβιδίου πυριτίου

Η κεφαλή ντους γραφίτη CVD SIC από το Veteksemicon είναι ένα στοιχείο υψηλής απόδοσης ειδικά σχεδιασμένο για διαδικασίες εναπόθεσης χημικών ατμών ημιαγωγών (CVD). Κατασκευάζεται από γραφίτη υψηλής καθαρότητας και προστατεύεται με επίστρωση καρβιδίου πυριτίου (SIC) χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD), αυτή η κεφαλή ντους προσφέρει εξαιρετική ανθεκτικότητα, θερμική σταθερότητα και αντίσταση στα διαβρωτικά αέρια. Ανυπομονώ για την περαιτέρω διαβουλεύσεις σας.

Ο κάτοχος πλακιδίων του καρβιδίου πυριτίου από το Veteksemicon έχει σχεδιαστεί για ακρίβεια και απόδοση σε προηγμένες διεργασίες ημιαγωγών όπως MOCVD, LPCVD και ανόπτηση υψηλής θερμοκρασίας. Με μια ομοιόμορφη επίστρωση CVD, αυτή η κάτοχος δίσκων εξασφαλίζει εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα, χημική αδράνεια και μηχανική αντοχή-απαραίτητη για την επεξεργασία χωρίς μόλυνση, υψηλής απόδοσης.

Veteksemicon δακτύλιοι υψηλής ποιότητας SIC, ειδικά σχεδιασμένοι για εξοπλισμό χάραξης ημιαγωγών, διαθέτουν εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση και θερμική σταθερότητα, ενισχύοντας σημαντικά την απόδοση του πλακιδίου

Ως κορυφαίος κινεζικός κατασκευαστής και προμηθευτής προϊόντων επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου, ο φορέας πλακιδίων της Veteksemicon για τη χάραξη διαδραματίζει έναν αναντικατάστατο βασικό ρόλο στη διαδικασία χάραξης με την εξαιρετική σταθερότητα της υψηλής θερμοκρασίας, την εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση και την υψηλή θερμική αγωγιμότητα.

Το CVD SIC Cofer Sensceptor του Veteksemicon είναι μια λύση αιχμής για επιταξιακές διεργασίες ημιαγωγών, προσφέροντας εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα (≤100ppb, πιστοποιημένη ICP-E10) και εξαιρετική θερμική/χημική σταθερότητα για ανθεκτική στη μολυσματική ανάπτυξη των GAN, SIC και πυριτίου Epi-layers. Με την τεχνολογία CVD ακριβείας, υποστηρίζει τα πλακίδια 6 "/8"/12 ", εξασφαλίζει ελάχιστη θερμική καταπόνηση και αντέχει σε ακραίες θερμοκρασίες μέχρι 1600 ° C.

Ο πλανητικός αντιγοκύνθλος μας SIC είναι ένα βασικό συστατικό στη διαδικασία υψηλής θερμοκρασίας της παραγωγής ημιαγωγών. Ο σχεδιασμός του συνδυάζει το υπόστρωμα γραφίτη με επικάλυψη καρβιδίου πυριτίου για την επίτευξη ολοκληρωμένης βελτιστοποίησης της απόδοσης της θερμικής διαχείρισης, της χημικής σταθερότητας και της μηχανικής αντοχής.