Επικάλυψη καρβιδίου πυριτίου

Ως κορυφαίος κινεζικός κατασκευαστής και προμηθευτής προϊόντων επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου, ο φορέας πλακιδίων της Veteksemicon για τη χάραξη διαδραματίζει έναν αναντικατάστατο βασικό ρόλο στη διαδικασία χάραξης με την εξαιρετική σταθερότητα της υψηλής θερμοκρασίας, την εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση και την υψηλή θερμική αγωγιμότητα.

Το CVD SIC Cofer Sensceptor του Veteksemicon είναι μια λύση αιχμής για επιταξιακές διεργασίες ημιαγωγών, προσφέροντας εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα (≤100ppb, πιστοποιημένη ICP-E10) και εξαιρετική θερμική/χημική σταθερότητα για ανθεκτική στη μολυσματική ανάπτυξη των GAN, SIC και πυριτίου Epi-layers. Με την τεχνολογία CVD ακριβείας, υποστηρίζει τα πλακίδια 6 "/8"/12 ", εξασφαλίζει ελάχιστη θερμική καταπόνηση και αντέχει σε ακραίες θερμοκρασίες μέχρι 1600 ° C.

Ο πλανητικός αντιγοκύνθλος μας SIC είναι ένα βασικό συστατικό στη διαδικασία υψηλής θερμοκρασίας της παραγωγής ημιαγωγών. Ο σχεδιασμός του συνδυάζει το υπόστρωμα γραφίτη με επικάλυψη καρβιδίου πυριτίου για την επίτευξη ολοκληρωμένης βελτιστοποίησης της απόδοσης της θερμικής διαχείρισης, της χημικής σταθερότητας και της μηχανικής αντοχής.

Ο δακτύλιος σφράγισης με επικάλυψη SIC για επιταξία είναι ένα συστατικό σφράγισης υψηλής απόδοσης που βασίζεται σε σύνθετα γραφίτη ή άνθρακα-άνθρακα που επικαλύπτεται με καρβίδιο πυριτίου υψηλής καθαρότητας (SIC) με χημική εναπόθεση ατμών (CVD), η οποία συνδυάζει τη θερμική σταθερότητα του γραφίτη με την ακραία περιβαλλοντική αντοχή του SIC και έχει σχεδιαστεί για εξοπλισμό ημιαγωγών (E. Mocvd, Mbe).

Το Veteksemicon Single Wafer EPI Graphite Sensceptor έχει σχεδιαστεί για το καρβίδιο του πυριτίου υψηλής απόδοσης (SIC), το νιτρίδιο του γαλλίου (GAN) και τη διαδικασία ημιαγωγικής διαδικασίας της τρίτης γενιάς και είναι το συστατικό του βασικού εδράνου του επιταξιακού φύλλου υψηλής ακρίβειας στην παραγωγή μάζας.

Ένα σημαντικό συστατικό που χρησιμοποιείται στη διαδικασία χάραξης κατασκευής πλακιδίων είναι ο δακτύλιος εστίασης της χάραξης πλάσματος, του οποίου η λειτουργία είναι η συγκράτηση του δίσκου για να διατηρηθεί η πυκνότητα του πλάσματος και να αποτρέψει τη μόλυνση των πλευρών του δισκίου.