Δακτύλιος άκρων

Στον τομέα της κατασκευής ημιαγωγών, οι δακτύλιοι ακμής SIC, ως βασικά συστατικά του εξοπλισμού επεξεργασίας πλακιδίων, επαναφέρουν το βιομηχανικό τοπίο με τις υλικές τους ιδιότητες. Η αξία αυτού του συστατικού ακριβείας που αποτελείται από μονό κρυστάλλους καρβιδίου πυριτίου δεν έγκειται μόνο στην περιεκτικότητα σε υψηλής τεχνολογίας, αλλά και στη σημαντική βελτίωση της απόδοσης και στη βελτιστοποίηση του λειτουργικού κόστους που μπορεί να φέρει στους κατασκευαστές τσιπ.

Δομικά χαρακτηριστικά δακτυλίου δακτυλίου Sic

Οι δακτύλιοι ακραίων καρβιδίου πυριτίου είναι βασικά αναλώσιμα συστατικά στον εξοπλισμό χάραξης ημιαγωγών και είναι κατασκευασμένα από υλικά καρβιδίου πυριτίου υψηλής καθαρότητας που παρασκευάζονται με τη μέθοδο χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD). Η διάμετρος της δακτυλιοειδούς δομής της είναι συνήθως 200-450mm και το πάχος ελέγχεται εντός 5-15mm, με τα ακόλουθα χαρακτηριστικά:

1. ΑΝΤΙΠΡΟΣΩΠΕΥΤΙΚΗ ΑΝΤΙΣΤΡΟΦΗ: Μπορεί να αντέξει ένα περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας 1500 ℃

2. Σταθερότητα στο πλάσμα: Διευθυντική σταθερά 9.7, τάση διάσπασης 3MV/cm

3. Γεωμετρική ακρίβεια: Σφάλμα στρογγυλότητας ≤0,05mm, τραχύτητα επιφάνειας RA <0,2 μm

Επανάσταση στη διαδικασία κατασκευής

Η σύγχρονη διαδικασία προετοιμασίας υιοθετεί μια μέθοδο τριών σταδίων:

1. Σχηματισμός μήτρας: Η διαμόρφωση ισοστατικής πίεσης εξασφαλίζει ομοιόμορφη πυκνότητα

2. Υψηλής θερμοκρασίας: θεραπεία πυκνοποίησης σε αδρανή ατμόσφαιρα στα 2100 ℃

3. Τροποποίηση επιφάνειας: Τα προστατευτικά στρώματα νανοκλίμακας σχηματίζονται μέσω της χάραξης αντιδραστικών ιόντων (RIE). Οι τελευταίες έρευνες δείχνουν ότι η διάρκεια ζωής των δακτυλίων ακραίων καρβιδίου πυριτίου με βόριο 3% αυξάνεται κατά 40% και ο ρυθμός μόλυνσης των δισκίων μειώνεται στο επίπεδο 0,01ppm

Σενάρια εφαρμογής

Δείχνει αναντικατάστατη δυνατότητα σε διαδικασίες κάτω από 5nm:

2. Χαρακτηριστική ομοιομορφία: Μπορεί να διατηρήσει μια απόκλιση ρυθμού χάραξης ± 1,5% στην άκρη του δίσκου

3. Έλεγχος ρύπανσης: Μειώνει τη ρύπανση μετάλλων κατά 92% σε σύγκριση με τα παραδοσιακά υλικά χαλαζία

4. Κύκλος συντήρησης: Μπορεί να λειτουργεί συνεχώς για 1500 ώρες στο πλάσμα CF4/O2

Το Veteksemicon έχει επιτύχει μια σημαντική ανακάλυψη στην εγχώρια παραγωγή δακτυλίων SIC Edge, οι οποίες μπορούν να εξοικονομήσουν πολλές δαπάνες κόστους. Καλώς ήλθατε να επικοινωνήσετε μαζί μας ανά πάσα στιγμή!