Στερεό δαχτυλίδι εστίασης SiC

6.Κύρια πεδία εφαρμογής

7. Βασικά πλεονεκτήματα του δακτυλίου εστίασης Veteksemi στερεού SiC

Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση του πλάσματος

Υπό παρατεταμένη έκθεση σε εξαιρετικά διαβρωτικά πλάσματα υψηλής πυκνότητας όπως CF4, O2 και Cl2, τα συμβατικά υλικά είναι ευαίσθητα σε ταχεία φθορά και μόλυνση από σωματίδια. Ο συμπαγής δακτύλιος εστίασης SiC μας παρουσιάζει εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση, με ρυθμό διάβρωσης πολύ χαμηλότερο από αυτόν των υλικών όπως ο χαλαζίας ή η αλουμίνα. Αυτό σημαίνει ότι διατηρεί μια λεία επιφάνεια με την πάροδο του χρόνου, μειώνοντας σημαντικά τον κίνδυνο ελαττωμάτων του πλακιδίου που προκαλούνται από τη φθορά των εξαρτημάτων, εξασφαλίζοντας συνεχή και σταθερή μαζική παραγωγή.

Εξαιρετική σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας και απόδοση θερμικής διαχείρισης

Η διαδικασία χάραξης ημιαγωγών παράγει σημαντική θερμότητα, προκαλώντας δραματικές διακυμάνσεις της θερμοκρασίας στα εξαρτήματα του θαλάμου. Οι δακτύλιοι εστίασής μας έχουν εξαιρετικά χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής, ικανοί να αντέχουν σε παροδικές θερμοκρασίες έως και 1600°C χωρίς ρωγμές ή παραμόρφωση. Επιπλέον, η εγγενής υψηλή θερμική αγωγιμότητά τους βοηθά στην ομοιόμορφη και γρήγορη διασπορά της θερμότητας, βελτιώνοντας αποτελεσματικά την κατανομή της θερμοκρασίας στην άκρη της γκοφρέτας, βελτιώνοντας έτσιΗ ομοιομορφία χάραξης και η συνέπεια των κρίσιμων διαστάσεων σε ολόκληρο το πλακίδιο.

Εξαιρετική καθαρότητα υλικού και δομική πυκνότητα

Ελέγχουμε αυστηρά την καθαρότητα των πρώτων υλών καρβιδίου του πυριτίου (≥99,999%) και εξαλείφουμε τη μόλυνση μετάλλων κατά τη διάρκεια της διαδικασίας πυροσυσσωμάτωσης για να ανταποκριθούμε στις αυστηρές απαιτήσεις των προηγμένων διαδικασιών παραγωγής για τον έλεγχο των ιχνών ακαθαρσιών. Η πυκνή δομή που σχηματίζεται μέσω της πυροσυσσωμάτωσης σε υψηλή θερμοκρασία έχει εξαιρετικά χαμηλό πορώδες, εμποδίζοντας σχεδόν πλήρως τη διείσδυση των αερίων διεργασίας και των παραπροϊόντων. Αυτό αποτρέπει την υποβάθμιση της απόδοσης και την ανάπτυξη σωματιδίων που προκαλείται από την εσωτερική υποβάθμιση του υλικού, διασφαλίζοντας ένα καθαρό περιβάλλον θαλάμου διεργασίας.

Μακράς διάρκειας μηχανική ζωή και ολοκληρωμένη οικονομική απόδοση

Σε σύγκριση με τα συμβατικά αναλώσιμα που απαιτούν συχνή αντικατάσταση, οι στερεοί δακτύλιοι εστίασης Veteksemi SiC προσφέρουν εξαιρετική αντοχή. Διατηρούν σταθερή απόδοση σε όλη τη διάρκεια ζωής τους, επεκτείνοντας τους κύκλους αντικατάστασης αρκετές φορές. Αυτό όχι μόνο μειώνει άμεσα το κόστος προμήθειας ανταλλακτικών αλλά βελτιώνει επίσης σημαντικά τη χρήση του μηχανήματος μειώνοντας το χρόνο διακοπής λειτουργίας του εξοπλισμού για συντήρηση, με αποτέλεσμα σημαντικά πλεονεκτήματα γενικού κόστους για τους πελάτες.

Ακριβής έλεγχος μεγέθους και ευέλικτες υπηρεσίες προσαρμογής

Κατανοούμε τις ακριβείς απαιτήσεις διαφορετικών μηχανών και διαδικασιών για αναλώσιμα. Κάθε δακτύλιος εστίασης υποβάλλεται σε κατεργασία ακριβείας και αυστηρές δοκιμές για την εξασφάλιση κρίσιμων διαστάσεων ανοχές εντός ±0,05 mm. Προσφέρουμε επίσης προσαρμοσμένες υπηρεσίες, συμπεριλαμβανομένων προσαρμοσμένων μεγεθών, φινιρίσματος επιφανειών (γυάλισμα σε Ra ≤ 0,2μm) και προσαρμογές αγωγιμότητας για να ταιριάζουν απόλυτα στις συγκεκριμένες απαιτήσεις διαδικασίας και σενάρια εφαρμογής.

Για λεπτομερείς τεχνικές προδιαγραφές, λευκές βίβλους ή ρυθμίσεις δειγμάτων δοκιμών, επικοινωνήστε με την Ομάδα Τεχνικής Υποστήριξης για να διερευνήσετε πώς μπορεί η Veteksemi να βελτιώσει την αποτελεσματικότητα της διαδικασίας σας.