Μεταφορέας πλακιδίων επικαλυμμένου με SIC για χάραξη

Βασική εφαρμογή του μεταφορέα με επικάλυψη SIC για τη διαδικασία χάραξης

1. Gan Film Growth and Ettching in LED Manufacturing

Οι μεταφορείς επικαλυμμένων με SIC (όπως ο φορέας PSS χάραξης) χρησιμοποιούνται για την υποστήριξη υποστρωμάτων ζαφείρι (υποστρώμα ζαφείρι, PSS) στην παραγωγή LED και εκτελούν χημικές εναπόθεσης ατμών (MOCVD) μεμβρανών νιτρίδιο γαλλίου (GAN) σε υψηλές θερμοκρασίες. Ο φορέας στη συνέχεια αφαιρείται με μια διαδικασία υγρής χάραξης για να σχηματίσει μια μικροδομή επιφάνειας για τη βελτίωση της αποτελεσματικότητας της εκχύλισης φωτός.

Βασικός ρόλος: Ο φορέας πλακιδίων πρέπει να αντέξει τις θερμοκρασίες μέχρι τους 1600 ° C και τη χημική διάβρωση στο περιβάλλον χάραξης στο πλάσμα. Η υψηλή καθαρότητα (99,99995%) και η πυκνότητα της επίστρωσης SIC αποτρέπουν τη μόλυνση των μετάλλων και εξασφαλίζουν την ομοιομορφία της μεμβράνης GAN.

2.

ΣεICP (επαγωγικά συζευγμένο πλάσμα) χάραξη, Οι μεταφορείς επικαλυμμένης με SIC επιτυγχάνουν ομοιόμορφη κατανομή θερμότητας μέσω βελτιστοποιημένου σχεδιασμού ροής αέρα (όπως η στρωμική λειτουργία ροής), αποφεύγουν τη διάχυση των ακαθαρσιών και βελτιώνουν την ακρίβεια της χάραξης. Για παράδειγμα, ο φορέας χάραξης ICP που έχει επικαλυφθεί με το SIC της Veteksemicon μπορεί να αντέξει σε θερμοκρασία εξάχνωσης 2700 ° C και είναι κατάλληλη για περιβάλλοντα πλάσματος υψηλής ενέργειας.

3.

Οι μεταφορείς SIC αποδίδουν καλά σε διάχυση υψηλής θερμοκρασίας και χάραξη πλακιδίων πυριτίου στο φωτοβολταϊκό πεδίο. Ο χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής (4,5 × 10⁻⁶/k) μειώνει την παραμόρφωση που προκαλείται από το θερμικό στρες και επεκτείνει τη διάρκεια ζωής.

Φυσικές ιδιότητες και πλεονεκτήματα του φορέα πλακιδίων με επικάλυψη SIC για χάραξη

1. Ανοχή σε ακραία περιβάλλοντα:

Σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας:Επικάλυψη CVD SICμπορεί να λειτουργήσει σε περιβάλλον κενού 1600 ° C ή 2200 ° C, το οποίο είναι πολύ υψηλότερο από τους παραδοσιακούς φορείς χαλαζία ή γραφίτη.

Αντίσταση διάβρωσης: Το SIC έχει εξαιρετική αντίσταση σε οξέα, αλκαλικά, άλατα και οργανικούς διαλύτες και είναι κατάλληλη για γραμμές παραγωγής ημιαγωγών με συχνό χημικό καθαρισμό.

2. Θερμικές και μηχανικές ιδιότητες:

Υψηλή θερμική αγωγιμότητα (300 W/MK): Η ταχεία διάχυση της θερμότητας μειώνει τις θερμικές κλίσεις, εξασφαλίζει την ομοιομορφία της θερμοκρασίας των πλακών και αποφεύγει την απόκλιση του πάχους του φιλμ.

Υψηλή μηχανική αντοχή: Η αντοχή στην κάμψη φτάνει τα 415 MPa (θερμοκρασία δωματίου) και εξακολουθεί να διατηρεί πάνω από 90% αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία, αποφεύγοντας τη ρωγμή ή την αποκόλληση του φορέα.

Φινίρισμα επιφάνειας: Το SSIC (καρβίδιο με πυροσυσσωρευμένο πυρίτιο) έχει χαμηλή τραχύτητα της επιφάνειας (<0,1μm), μειώνοντας τη μόλυνση των σωματιδίων και βελτιώνοντας την απόδοση του δίσκου.

3. Βελτιστοποίηση αντιστοίχισης υλικού:

Χαμηλή διαφορά θερμικής διαστολής μεταξύ του υποστρώματος γραφίτη και της επικάλυψης SIC: ρυθμίζοντας τη διαδικασία επικάλυψης (όπως η εναπόθεση κλίσης), η τάση της διασύνδεσης μειώνεται και η επικάλυψη εμποδίζεται από το ξεφλούδισμα.

Υψηλή καθαρότητα και χαμηλή ελαττώματα: Η διαδικασία CVD εξασφαλίζει την καθαρότητα επίστρωσης> 99,9999%, αποφεύγοντας τη μόλυνση των μεταλλικών ιόντων των ευαίσθητων διεργασιών (όπως η κατασκευή συσκευών SIC).

ΤότεC Φυσικές ιδιότητες της επίστρωσης CVD

CVD SIC COSTATIO

Vet Sexemicon καταστήματα