CVD SIC επικαλυμμένο με γραφίτη ντους κεφαλής

Veteksemicon CVD SIC επικαλυμμένη με γραφίτη κεφαλή ντους, η επιφάνεια της με ακρίβεια εξασφαλίζει την ομοιόμορφη κατανομή αερίου, η οποία είναι κρίσιμη για την επίτευξη συνεπής εναπόθεση μεμβράνης σε πλακίδια. ΟΕπικάλυψηΌχι μόνο ενισχύει την αντίσταση της φθοράς και την αντοχή στην οξείδωση, αλλά επίσης επεκτείνει τη διάρκεια ζωής κάτω από σκληρές συνθήκες διεργασίας.

Εφαρμόζεται ευρέως σε κατασκευή, επιταξία και εναπόθεση λεπτών υδατογράφων, η κεφαλή ντους γραφίτη με επικάλυψη CVD είναι μια ιδανική επιλογή για τους κατασκευαστές που αναζητούν αξιόπιστη, υψηλή φόρτωση και μακροχρόνια στοιχεία διεργασίας που ανταποκρίνονται στις απαιτήσεις της παραγωγής ημιαγωγών επόμενης γενιάς.

Το Veteksemi CVD Silicon Carbide Showerhead κατασκευάζεται από καρβίδιο πυριτίου χημικών ατμών υψηλής καθαρότητας και βελτιστοποιείται για διαδικασίες CVD και MOCVD στον τομέα των ημιαγωγών, LED και Advanced Electronics Industries. Η εξαιρετική θερμική σταθερότητα, η αντοχή στη διάβρωση και η ομοιόμορφη κατανομή αερίου εξασφαλίζουν μακροπρόθεσμη σταθερή λειτουργία σε υψηλής θερμοκρασίας, εξαιρετικά διαβρωτικά περιβάλλοντα, βελτιώνοντας σημαντικά την επαναληψιμότητα και την απόδοση της διαδικασίας.

Veteksemicon CVD SIC Coated Graphite ντους κεφαλής πυρήνα Πλεονεκτήματα

● Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα και πυκνότητα

Η κεφαλή ντους γραφίτη με επικάλυψη CVD κατασκευάζεται χρησιμοποιώντας μια διαδικασία CVD υψηλής καθαρότητας, εξασφαλίζοντας μια υλική καθαρότητα ≥99,9995%, εξαλείφοντας τυχόν μεταλλικές ακαθαρσίες. Η μη πορώδη δομή του εμποδίζει αποτελεσματικά τη διάμεση αερίου και την απόρριψη σωματιδίων, καθιστώντας το ιδανικό για επιταξίες ημιαγωγών και προηγμένες διαδικασίες συσκευασίας που απαιτούν εξαιρετικά υψηλή καθαριότητα. Σε σύγκριση με τα παραδοσιακά συστατικά SINtered SIC ή γραφίτη, το προϊόν μας διατηρεί σταθερή απόδοση ακόμη και μετά από παρατεταμένη λειτουργία υψηλής θερμοκρασίας, μειώνοντας τη συχνότητα συντήρησης και το κόστος παραγωγής.

● Εξαιρετική θερμική σταθερότητα

Σε διαδικασίες CVD και MOCVD υψηλής θερμοκρασίας, τα συμβατικά υλικά είναι ευαίσθητα σε παραμόρφωση ή ρωγμές λόγω θερμικής πίεσης. Το CVD SIC showerhead αντέχει σε θερμοκρασίες μέχρι 1600 ° C και διαθέτει εξαιρετικά χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής, εξασφαλίζοντας τη δομική σταθερότητα κατά τη διάρκεια της ταχείας θερμοκρασίας αυξάνεται και μειώνεται. Η ομοιόμορφη θερμική αγωγιμότητά του βελτιστοποιεί περαιτέρω την κατανομή της θερμοκρασίας στο θάλαμο αντίδρασης, ελαχιστοποιώντας τις διαφορές εναπόθεσης μεταξύ της άκρης και του κέντρου και τη βελτίωση της ομοιομορφίας του φιλμ.

● Διάβρωση κατά του πλάσματος

Κατά τη διάρκεια της χάραξης ή της εναπόθεσης, εξαιρετικά διαβρωτικά αέρια (όπως CF₄, CL₂, και HBR) ταχέως διαβρώθηκαν συμβατικά συστατικά χαλαζία ή γραφίτη. Το υλικό SIC CVD παρουσιάζει εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση σε περιβάλλοντα πλάσματος, με διάρκεια ζωής 3-5 φορές εκείνη των συμβατικών υλικών. Οι πραγματικές δοκιμές πελατών έδειξαν ότι ακόμη και μετά από 2000 ώρες συνεχούς λειτουργίας, η μεταβολή μεγέθους πόρων παραμένει εντός ± 1%, εξασφαλίζοντας τη μακροχρόνια σταθερή κατανομή ροής αερίου.

● Μεγάλη διάρκεια ζωής και χαμηλό κόστος συντήρησης

Ενώ τα παραδοσιακά εξαρτήματα γραφίτη απαιτούν συχνή αντικατάσταση, η κεφαλή ντους CVD με επικαλυμμένη με SIC διατηρεί σταθερή απόδοση ακόμη και σε σκληρά περιβάλλοντα. Αυτό μειώνει το συνολικό κόστος κατά περισσότερο από 40%. Επιπλέον, η υψηλή μηχανική αντοχή του υλικού εμποδίζει την τυχαία βλάβη κατά τη διάρκεια του χειρισμού ή της εγκατάστασης.

● Έγκριση επαλήθευσης της οικολογικής αλυσίδας

Το Veteksemicon CVD Silicon Carbide Drusthead 'Ecological Chain Η επαλήθευση καλύπτει τις πρώτες ύλες στην παραγωγή, έχει περάσει διεθνή πιστοποίηση και έχει μια σειρά από κατοχυρωμένες με δίπλωμα ευρεσιτεχνίας τεχνολογίες για να εξασφαλίσει την αξιοπιστία και τη βιωσιμότητά της στους ημιαγωγούς και στους νέους ενεργειακούς τομείς.

Τεχνικές παραμέτρους

Σχέδιο	Παράμετρος
Υλικό	CVD SIC (διαθέσιμες επιλογές επικάλυψης)
Διάμετρος	100mm-450mm (προσαρμόσιμο)
Ανοχή σε πάχος	± 0,05mm
Τραχύτητα	≤0,2 μm
Εφαρμόσιμη διαδικασία	CVD/MOCVD/PECVD/Etching/Epitaxy

Κύρια πεδία εφαρμογών

Κατεύθυνση εφαρμογής	Τυπικό σενάριο
Κατασκευή ημιαγωγών	Επιταξία πυριτίου, συσκευές GAN/GAAS
Ηλεκτρονική ισχύος	Παραγωγή επιταξιακής πλακιδίων
Οδοντοστοιχία	Κατάθεση υποστρώματος Sapphire MOCVD
Εξοπλισμός επιστημονικής έρευνας	Σύστημα εναπόθεσης λεπτού φιλμ υψηλής ακρίβειας

Έγκριση επαλήθευσης της οικολογικής αλυσίδας

Το Veteksemicon CVD Silicon Carbide Drusthead 'Ecological Chain Η επαλήθευση καλύπτει τις πρώτες ύλες στην παραγωγή, έχει περάσει διεθνή πιστοποίηση και έχει μια σειρά από κατοχυρωμένες με δίπλωμα ευρεσιτεχνίας τεχνολογίες για να εξασφαλίσει την αξιοπιστία και τη βιωσιμότητά της στους ημιαγωγούς και στους νέους ενεργειακούς τομείς.

Για λεπτομερείς τεχνικές προδιαγραφές, λευκές εργασίες ή ρυθμίσεις δοκιμών δείγματος, παρακαλώΕπικοινωνήστε με την ομάδα τεχνικής υποστήριξηςΓια να διερευνήσετε τον τρόπο με τον οποίο το Veteksemicon μπορεί να ενισχύσει την αποτελεσματικότητα της διαδικασίας σας.