Επικάλυψη καρβιδίου πυριτίου

Ο δακτύλιος σφράγισης με επικάλυψη SIC για επιταξία είναι ένα συστατικό σφράγισης υψηλής απόδοσης που βασίζεται σε σύνθετα γραφίτη ή άνθρακα-άνθρακα που επικαλύπτεται με καρβίδιο πυριτίου υψηλής καθαρότητας (SIC) με χημική εναπόθεση ατμών (CVD), η οποία συνδυάζει τη θερμική σταθερότητα του γραφίτη με την ακραία περιβαλλοντική αντοχή του SIC και έχει σχεδιαστεί για εξοπλισμό ημιαγωγών (E. Mocvd, Mbe).

Το Veteksemicon Single Wafer EPI Graphite Sensceptor έχει σχεδιαστεί για το καρβίδιο του πυριτίου υψηλής απόδοσης (SIC), το νιτρίδιο του γαλλίου (GAN) και τη διαδικασία ημιαγωγικής διαδικασίας της τρίτης γενιάς και είναι το συστατικό του βασικού εδράνου του επιταξιακού φύλλου υψηλής ακρίβειας στην παραγωγή μάζας.

Ένα σημαντικό συστατικό που χρησιμοποιείται στη διαδικασία χάραξης κατασκευής πλακιδίων είναι ο δακτύλιος εστίασης της χάραξης πλάσματος, του οποίου η λειτουργία είναι η συγκράτηση του δίσκου για να διατηρηθεί η πυκνότητα του πλάσματος και να αποτρέψει τη μόλυνση των πλευρών του δισκίου.

Το Vetek Semiconductor είναι ένας κορυφαίος κατασκευαστής και προμηθευτής των E-Chucks με επικάλυψη SIC στην Κίνα. Το SIC Coated E-Chuck είναι ειδικά σχεδιασμένο για τη διαδικασία χάραξης Gan Wafer, με εξαιρετική απόδοση και μακρά διάρκεια ζωής, για να παρέχει πλήρη υποστήριξη για την κατασκευή ημιαγωγών. Η ισχυρή μας ικανότητα επεξεργασίας μας δίνει τη δυνατότητα να σας παρέχουμε το SIC Ceramic Sensceptor που θέλετε. Ανυπομονώ για το ερώτημά σας.

Το Veteksemicon παρέχει πλάκες χάραξης ICP υψηλής απόδοσης, σχεδιασμένες για εφαρμογές χάραξης ICP στη βιομηχανία ημιαγωγών. Οι μοναδικές ιδιότητες υλικού του επιτρέπουν να αποδίδει καλά σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας, υψηλής πίεσης και χημικής διάβρωσης, εξασφαλίζοντας εξαιρετική απόδοση και μακροχρόνια σταθερότητα σε διάφορες διαδικασίες χάραξης.

Η μονάδα θέρμανσης γραφίτη Vetek Semiconductor είναι ένα διάλυμα βιομηχανικής θέρμανσης υψηλής απόδοσης από υλικό γραφίτη υψηλής καθαρότητας, το οποίο μπορεί να προσφέρει ακριβή και αποτελεσματική επίδραση θέρμανσης. Η μονάδα θέρμανσης γραφίτη χρησιμοποιείται ευρέως σε ημιαγωγούς, ηλεκτρονικά, κεραμικά και άλλα πεδία. Καλωσορίστε την περαιτέρω ερώτησή σας.