Επικάλυψη καρβιδίου πυριτίου

Αυτό το AMAT 0200-03201 Wafer Lift Pin από την VeTek ξεκινά με γραφίτη υψηλής καθαρότητας και στη συνέχεια προσθέτουμε μια πυκνή επίστρωση CVD SiC από πάνω. Είναι κατασκευασμένο για συστήματα επιταξίας 300 mm και αντιδραστήρες EPI Applied Materials. Γιατί γραφίτης και SiC; Ο γραφίτης χειρίζεται τη θερμότητα πολύ καλά. Το στρώμα SiC προσλαμβάνει διαβρωτικά αέρια και δεν φθείρεται γρήγορα. Το σχέδιο λεπτού τοίχου; Αυτό είναι για καθαρότερη ανύψωση και τοποθέτηση γκοφρέτας, λιγότερα σωματίδια και μεγαλύτερη διάρκεια ζωής σε υψηλές θερμοκρασίες. Κατασκευάζουμε επίσης παρόμοια εξαρτήματα γραφίτη με επίστρωση SiC για συστήματα ASM, Aixtron και LPE. Ανυπομονώ για την ερώτησή σας.

Η Vetek Semiconductor κατασκευάζει δοχεία γκοφρέτας για συστήματα VEECO MOCVD, κατασκευασμένα ειδικά για εργασίες επιταξίας LED όπως GaN LED, μπλε-πράσινα LED και ανάπτυξη LED βαθιάς UV. Αυτοί οι φορείς ξεκινούν με γραφίτη υψηλής καθαρότητας και έχουν μια πυκνή επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου CVD (SiC). Αυτός ο συνδυασμός κρατάει καλά στις υψηλές θερμοκρασίες που βλέπετε στο MOCVD – καλή θερμική σταθερότητα, αντοχή στη διάβρωση και η επίστρωση διαρκεί.

Το Halfmoon είναι ένα εξάρτημα γραφίτη που χρησιμοποιείται μέσα σε αντιδραστήρες LPE SiC, που είναι εγκατεστημένοι κυρίως γύρω από την θερμή ζώνη του θαλάμου. Παρόλο που δεν έρχεται σε άμεση επαφή με τη γκοφρέτα, εξακολουθεί να παίζει ρόλο στη σταθερότητα της ροής αερίου και στη λειτουργία του αντιδραστήρα κατά την επιταξιακή ανάπτυξη. Για να χειριστείτε συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας και αντιδραστικής διεργασίας, το εξάρτημα συνήθως προστατεύεται με επίστρωση CVD SiC, ενώ η επίστρωση TaC είναι επίσης διαθέσιμη για ορισμένες εφαρμογές. Η VETEK προμηθεύει επίσης μόνωση από τσόχα γραφίτη και άλλα επικαλυμμένα εξαρτήματα γραφίτη για συστήματα επιτάξεως SiC.

Ο κορυφαίος δακτύλιος SiC epi 8 ιντσών είναι ένα εξάρτημα υλικού για αντιδραστήρες ημιαγωγών. Λειτουργεί μέσα σε συστήματα επιτάξεως Si/SiC και MOCVD/CVD. Αυτός ο δακτύλιος σταθεροποιεί τη θερμότητα στο εσωτερικό του θαλάμου. Ελέγχει επίσης τη ροή των αερίων. Το υλικό είναι καρβίδιο του πυριτίου CVD υψηλής καθαρότητας. Δεν έχει τα θέματα εξάτμισης του γραφίτη. Μειώνει επίσης τη μόλυνση από σωματίδια κατά την παραγωγή. Χαιρετίζουμε τα ερωτήματά σας.

Το VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor είναι μια λύση φέροντος σχεδιασμένη με ακρίβεια, ειδικά σχεδιασμένη για επιταξιακή ανάπτυξη LED και σύνθετων ημιαγωγών. Επιδεικνύει εξαιρετική θερμική ομοιομορφία και χημική αδράνεια σε πολύπλοκα περιβάλλοντα MOCVD. Αξιοποιώντας την αυστηρή διαδικασία εναπόθεσης CVD της VETEK, δεσμευόμαστε να ενισχύσουμε τη συνέπεια ανάπτυξης πλακιδίων και να επεκτείνουμε τη διάρκεια ζωής των βασικών εξαρτημάτων, παρέχοντας σταθερή και αξιόπιστη διασφάλιση απόδοσης για κάθε παρτίδα της παραγωγής ημιαγωγών σας.

Ο δακτύλιος εστίασης Veteksemicon Solid Carbide Silicon (SiC) είναι ένα κρίσιμο αναλώσιμο συστατικό που χρησιμοποιείται σε προηγμένες διεργασίες επιταξίας ημιαγωγών και χάραξης πλάσματος, όπου είναι απαραίτητος ο ακριβής έλεγχος της κατανομής του πλάσματος, η θερμική ομοιομορφία και τα αποτελέσματα της ακμής του πλάσματος. Κατασκευασμένος από στερεό καρβίδιο του πυριτίου υψηλής καθαρότητας, αυτός ο δακτύλιος εστίασης παρουσιάζει εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση του πλάσματος, σταθερότητα σε υψηλή θερμοκρασία και χημική αδράνεια, επιτρέποντας αξιόπιστη απόδοση κάτω από επιθετικές συνθήκες διεργασίας. Ανυπομονούμε για την ερώτησή σας.