Τι είναι η επίστρωση TAC; - Vetek Semiconductor

Επικάλυψη TAC (Επίστρωση καρβιδίου του ταντάλου) είναι ένα υλικό επικάλυψης υψηλής απόδοσης που παράγεται από τη διαδικασία χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD). Λόγω των εξαιρετικών ιδιοτήτων της επικάλυψης TAC υπό ακραίες συνθήκες, χρησιμοποιείται ευρέως στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, ειδικά σε εξοπλισμό και εξαρτήματα που απαιτούν υψηλή θερμοκρασία και ισχυρό διαβρωτικό περιβάλλον. Η επίστρωση TAC χρησιμοποιείται συνήθως για την προστασία των υποστρωμάτων (όπως γραφίτη ή κεραμικά) από βλάβη από υψηλή θερμοκρασία, διαβρωτικά αέρια και μηχανική φθορά.

Φυσικές ιδιότητες της επίστρωσης TAC

Χαρακτηριστικά προϊόντος και πλεονεκτήματα

● Εξαιρετικά υψηλή θερμική σταθερότητα:

Περιγραφή χαρακτηριστικών: Η επίστρωση TAC έχει σημείο τήξης άνω των 3880 ° C και μπορεί να διατηρήσει τη σταθερότητα χωρίς αποσύνθεση ή παραμόρφωση σε περιβάλλον εξαιρετικά υψηλής θερμοκρασίας.

Πλεονέκτημα: Αυτό το καθιστά ένα απαραίτητο υλικό σε εξοπλισμό ημιαγωγών υψηλής θερμοκρασίας, όπως επικάλυψη CVD TAC και επικαλυμμένη με TAC, ειδικά για εφαρμογές σε αντιδραστήρες MOCVD, όπως εξοπλισμός Aixtron G5.

● Εξαιρετική αντίσταση στη διάβρωση:

Περιγραφή χαρακτηριστικών: Το TAC έχει εξαιρετικά ισχυρή χημική αδράνεια και μπορεί να αντισταθεί αποτελεσματικά στη διάβρωση των διαβρωτικών αερίων όπως τα χλωρίδια και τα φθορίδια.

Πλεονεκτήματα: Σε διεργασίες ημιαγωγών που περιλαμβάνουν εξαιρετικά διαβρωτικές χημικές ουσίες, η επίστρωση TAC προστατεύει τα συστατικά εξοπλισμού από χημική επίθεση, παρατείνει τη διάρκεια ζωής και βελτιώνει τη σταθερότητα της διαδικασίας, ειδικά στην εφαρμογή του σκάφους πλακιδίων καρβιδίου πυριτίου και άλλων βασικών εξαρτημάτων.

● Εξαιρετική μηχανική σκληρότητα:

Περιγραφή χαρακτηριστικών: Η σκληρότητα της επίστρωσης TAC είναι τόσο υψηλή όσο 9-10 MOHS, γεγονός που το καθιστά ανθεκτικό στη μηχανική φθορά και την τάση υψηλής θερμοκρασίας.

Πλεονέκτημα: Η ιδιότητα υψηλής σκληρότητας καθιστά την επίστρωση TAC ιδιαίτερα κατάλληλη για χρήση σε περιβάλλοντα υψηλής φθοράς και υψηλής πίεσης, εξασφαλίζοντας τη μακροπρόθεσμη σταθερότητα και την αξιοπιστία του εξοπλισμού υπό σκληρές συνθήκες.

● Χημική χημική αντιδραστικότητα:

Περιγραφή χαρακτηριστικών: Λόγω της χημικής αδράνειας της, η επίστρωση TAC μπορεί να διατηρήσει χαμηλή αντιδραστικότητα σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και να αποφύγει περιττές χημικές αντιδράσεις με αντιδραστικά αέρια.

Πλεονέκτημα: Αυτό είναι ιδιαίτερα σημαντικό στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, επειδή εξασφαλίζει την καθαρότητα του περιβάλλοντος διεργασίας και την εναπόθεση υψηλής ποιότητας των υλικών.

Ο ρόλος της επίστρωσης TAC στην επεξεργασία ημιαγωγών

● Προστασία βασικών εξαρτημάτων εξοπλισμού:

Περιγραφή λειτουργίας: Η επικάλυψη TAC χρησιμοποιείται ευρέως σε βασικά συστατικά του εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών, όπως το TAC επικαλυμμένο με το Sensceptor, τα οποία πρέπει να εργάζονται υπό ακραίες συνθήκες. Με επικάλυψη με TAC, αυτά τα εξαρτήματα μπορούν να λειτουργούν για μεγάλες χρονικές περιόδους σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και διαβρωτικού αερίου χωρίς να υποστούν βλάβη.

● Επέκταση της ζωής του εξοπλισμού:

Περιγραφή λειτουργίας: Στον εξοπλισμό MOCVD, όπως το Aixtron G5, η επίστρωση TAC μπορεί να βελτιώσει σημαντικά την ανθεκτικότητα των εξαρτημάτων του εξοπλισμού και να μειώσει την ανάγκη συντήρησης και αντικατάστασης εξοπλισμού λόγω διάβρωσης και φθοράς.

● Βελτιώστε τη σταθερότητα της διαδικασίας:

Περιγραφή λειτουργίας: Στην κατασκευή ημιαγωγών, η επίστρωση TAC εξασφαλίζει την ομοιομορφία και τη συνοχή της διαδικασίας εναπόθεσης παρέχοντας ένα σταθερό υψηλής θερμοκρασίας και χημικό περιβάλλον. Αυτό είναι ιδιαίτερα σημαντικό σε επιταξιακές διαδικασίες ανάπτυξης όπως η επιταξία πυριτίου και το νιτρίδιο του γαλλίου (GAN).

● Βελτίωση της αποτελεσματικότητας της διαδικασίας:

Περιγραφή λειτουργίας: Με τη βελτιστοποίηση της επικάλυψης στην επιφάνεια του εξοπλισμού, η επίστρωση TAC μπορεί να βελτιώσει τη συνολική αποτελεσματικότητα της διαδικασίας, να μειώσει τον ρυθμό ελαττωμάτων και να αυξήσει την απόδοση του προϊόντος. Αυτό είναι κρίσιμο για την κατασκευή υλικών ημιαγωγών υψηλής ακρίβειας.

Η υψηλή θερμική σταθερότητα, η εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση, η μηχανική σκληρότητα και η χαμηλή χημική αντιδραστικότητα που παρουσιάζονται από την επικάλυψη TAC κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας ημιαγωγών καθιστούν την ιδανική επιλογή για την προστασία των εξαρτημάτων εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών. Καθώς η ζήτηση της βιομηχανίας ημιαγωγών για υψηλή θερμοκρασία, η υψηλή καθαρότητα και οι αποτελεσματικές διαδικασίες παραγωγής συνεχίζει να αυξάνεται, η επίστρωση TAC έχει ευρείες προοπτικές εφαρμογής, ειδικά σε εξοπλισμό και διαδικασίες που περιλαμβάνουν επικάλυψη CVD TAC, TAC επικαλυμμένη με την ευαισθησία και το Aixtron G5.

Η Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd είναι κορυφαίος πάροχος προηγμένων υλικών επικάλυψης για τη βιομηχανία ημιαγωγών. Η εταιρεία μας επικεντρώνεται στην ανάπτυξη λύσεων αιχμής για τη βιομηχανία.

Οι κύριες προσφορές προϊόντων μας περιλαμβάνουνCVD Silicon Carbide (SIC) Επικαλύψεις, επικαλύψεις καρβιδίου tantalum (TAC), οι σκόνες SIC, οι σκόνες SIC και τα υλικά SIC υψηλής καθαρότητας, ο SIC επικαλυμμένος από γραφίτη, τα δακτυλίους προθέρμανσης, ο δακτύλιος εκτροπής με επικάλυψη TAC, τα μέρη του μισού κ.λπ.

Η Vetek Semiconductor επικεντρώνεται στην ανάπτυξη τεχνολογικών τεχνολογιών και λύσεων ανάπτυξης προϊόντων για τη βιομηχανία ημιαγωγών.Ελπίζουμε ειλικρινά να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.