Ανταλλακτικό επικάλυψης TAC

Είναι ημιαγωγόςΠλάκα επίστρωσης TACείναι ένα ειδικό υλικό που χρησιμοποιείται ευρέως στοημιαγωγόςδιαδικασία κατασκευής. Σε συνδυασμό με την υψηλή σκληρότητα και την αντοχή της φθοράς, την αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία, την αντοχή στη διάβρωση, τον συντελεστή χαμηλού τριβής και την καλή θερμική αγωγιμότητα, η πλάκα επίστρωσης TAC παίζει έναν αναντικατάστατο ρόλο σε πολλούς δεσμούς επεξεργασίας ημιαγωγών.

Γενικά, οι εφαρμογές τουΠλακίδια επικαλυμμένα με TACΣτην επεξεργασία ημιαγωγών έχει ως εξής:

● Υπόστρωμα ανάπτυξης CVD/ALD: Η αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία, η χημική σταθερότητα και ο χαμηλός συντελεστής τριβής των πλακών επικαλυμμένης με TAC τους καθιστούν ιδανικά υποστρώματα ανάπτυξης CVD/ALD. Μπορεί να προσφέρει ένα σταθερό περιβάλλον ανάπτυξης για να εξασφαλίσει την ομοιομορφία και την πυκνότητα της μεμβράνης.

●  Πλάκα μάσκας χάραξης: Η υψηλή σκληρότητα και η αντοχή στη διάβρωση των επικαλυμμένων με TAC πλάκες τους επιτρέπουν να αντέχουν σε διεργασίες υψηλής ενέργειας όπως η χάραξη πλάσματος, όπως οι πλάκες μάσκας χάραξης, προστατεύοντας την υποκείμενη μεμβράνη.

●  CMP γυάλινη μαξιλάρι: Η αντοχή στη φθορά και ο συντελεστής χαμηλού συντελεστή τριβής των πλακών επικαλυμμένων με TAC τους καθιστούν ιδανικά υλικά για τα μαξιλάρια στίλβας CMP, τα οποία μπορούν να απομακρύνουν αποτελεσματικά τα σωματίδια και τα ελαττώματα στην επιφάνεια της μεμβράνης.

●  Σωλήνας υψηλής θερμοκρασίας: Η αντίσταση υψηλής θερμοκρασίας και η αντοχή στη διάβρωση των πλακών επικαλυμμένης με TAC τους επιτρέπουν να χρησιμοποιηθούν ως σωλήνες κλιβάνου σε καβουρδισμούς υψηλής θερμοκρασίας για ανόπτηση υψηλής θερμοκρασίας, διάχυση και άλλες διεργασίες.

Τεχνικές παραμέτρους επίστρωσης CVD TAC：

Vetek Semiconductor TAC Επικοινωνία Τα καταστήματα προϊόντων ανταλλακτικών：