Πλάκα υποστήριξης βάθρου επίστρωσης TAC

Το Vetek Semiconductor είναι ο κατασκευαστής και προμηθευτής της Κίνας, ο οποίος παράγει κυρίως επικάλυψη CVD TAC επικάλυψης, δακτύλιος εισόδου, δισκίο δίσκου, κάτοχος επίστρωσης TAC, πλάκα υποστήριξης βάθρου TAC με πολυετή εμπειρία. Ελπίζω να οικοδομήσουμε επιχειρηματικές σχέσεις μαζί σας.

Τα κεραμικά TAC έχουν σημείο τήξης μέχρι 3880 ℃, υψηλή σκληρότητα (σκληρότητα Mohs 9 ~ 10), μεγάλη θερμική αγωγιμότητα (22W · m^-1· Κ^-1), μεγάλη αντοχή κάμψης (340 ~ 400MPa) και μικρό συντελεστή θερμικής διαστολής (6.6 × 10^-6K^-1) και να δείξει εξαιρετική θερμοχημική σταθερότητα και εξαιρετικές φυσικές ιδιότητες. Έχει καλή χημική και μηχανική συμβατότητα με σύνθετα υλικά γραφίτη και C/C, οπότε η επίστρωση TAC χρησιμοποιείται ευρέως στην αεροδιαστημική θερμική προστασία, στην ανάπτυξη ενός κρυστάλλου και στους επιταξιακούς αντιδραστήρες όπως το Aixtron, το LPE EPI αντιδραστήρα στη βιομηχανία ημιαγωγών. 

Ο γραφίτης με επικάλυψη TAC έχει καλύτερη χημική αντοχή στη διάβρωση από το γυμνό μελάνι ή το γραφίτη με επικαλυμμένο με SIC, μπορεί να χρησιμοποιηθεί σταθερά σε υψηλή θερμοκρασία 2200 °, δεν αντιδρά με πολλά μεταλλικά στοιχεία, είναι η τρίτη γενιά της επικάλυψης ημιαγωγών, Πλακάδες. Είναι ιδιαίτερα κατάλληλο για την καλλιέργεια του ενιαίου κρυστάλλου GaN ή ALN στον εξοπλισμό MOCVD και του SIC Single Crystal σε εξοπλισμό PVT και η ποιότητα του ενιαίου κρυστάλλου αναπτύσσεται προφανώς.