Πόσο γνωρίζετε για το cvd sic; - Vetek Semiconductor

Cvd sic(Καρβίδιο πυριτίου από εναπόθεση χημικών ατμών) είναι ένα υλικό καρβιδίου πυριτίου υψηλής καθαρότητας που κατασκευάζεται με εναπόθεση χημικών ατμών. Χρησιμοποιείται κυρίως για διάφορα εξαρτήματα και επικαλύψεις στον εξοπλισμό επεξεργασίας ημιαγωγών. CVDΥλικό SICέχει εξαιρετική θερμική σταθερότητα, υψηλή σκληρότητα, χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής και εξαιρετική αντοχή χημικής διάβρωσης, καθιστώντας το ιδανικό υλικό για χρήση υπό ακραίες συνθήκες διεργασίας.

Το υλικό CVD SIC χρησιμοποιείται ευρέως σε εξαρτήματα που περιλαμβάνουν υψηλή θερμοκρασία, εξαιρετικά διαβρωτικό περιβάλλον και υψηλή μηχανική καταπόνηση στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών.

Cvd sicΣυστατικάπεριλαμβάνει κυρίως τα ακόλουθα προϊόντα

● Επικάλυψη CVD SIC

Χρησιμοποιείται ως προστατευτικό στρώμα για εξοπλισμό επεξεργασίας ημιαγωγών για να αποτρέψει το υπόστρωμα να υποστεί βλάβη από υψηλή θερμοκρασία, χημική διάβρωση και μηχανική φθορά.

● Σκάφος Sic Wafer

Χρησιμοποιείται για τη μεταφορά και τη μεταφορά πλακιδίων σε διαδικασίες υψηλής θερμοκρασίας (όπως η διάχυση και η επιταξιακή ανάπτυξη) για να εξασφαλιστεί η σταθερότητα των πλακών και η ομοιομορφία των διεργασιών.

● Σωλήνας διεργασίας SIC

Οι σωλήνες διεργασίας SIC χρησιμοποιούνται κυρίως σε κλιβάνους διάχυσης και κλιβάνους οξείδωσης για την παροχή ενός ελεγχόμενου περιβάλλοντος αντίδρασης για τα πλακίδια πυριτίου, εξασφαλίζοντας την ακριβή εναπόθεση υλικού και την ομοιόμορφη κατανομή του ντόπινγκ.

● Κουπί

Το Paddle SIC χρησιμοποιείται κυρίως για τη μεταφορά ή τη στήριξη πλακών πυριτίου σε φούρνους διάχυσης και κλιβάνους οξείδωσης, παίζοντας ρόλο ρουλεμάν. Ειδικά σε διεργασίες υψηλής θερμοκρασίας όπως η διάχυση, η οξείδωση, η ανόπτηση κλπ., Εξασφαλίζει τη σταθερότητα και την ομοιόμορφη θεραπεία των πλακών πυριτίου σε ακραία περιβάλλοντα.

● CVDSIC Shower Head

Χρησιμοποιείται ως συστατικό κατανομής αερίου στον εξοπλισμό χάραξης πλάσματος, με εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση και θερμική σταθερότητα για να εξασφαλιστεί η ομοιόμορφη κατανομή αερίου και η επίδραση χάραξης.

● Οροφή με επικάλυψη SIC

Τα εξαρτήματα στον θάλαμο αντίδρασης του εξοπλισμού, που χρησιμοποιούνται για την προστασία του εξοπλισμού από ζημιές από υψηλή θερμοκρασία και διαβρωτικά αέρια, και επεκτείνουν τη διάρκεια ζωής του εξοπλισμού.

● Επιθετικοί επιταξείες

Οι μεταφορείς πλακιδίων που χρησιμοποιούνται σε διεργασίες ανάπτυξης επιταξιακών πυριτίων για την εξασφάλιση ομοιόμορφης θέρμανσης και εναπόθεσης ποιότητας των πλακιδίων.

Το καρβίδιο πυριτίου που έχει κατατεθεί χημικός ατμός (CVD SIC) έχει ένα ευρύ φάσμα εφαρμογών στην επεξεργασία ημιαγωγών, που χρησιμοποιείται κυρίως για την κατασκευή συσκευών και εξαρτημάτων που είναι ανθεκτικά σε υψηλές θερμοκρασίες, διάβρωση και υψηλή σκληρότητα. 

Cvd sicΟ βασικός ρόλος αντικατοπτρίζεται στις ακόλουθες πτυχές

✔ Προστατευτικές επικαλύψεις σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας

Λειτουργία: Το CVD SIC χρησιμοποιείται συχνά για επιφανειακές επικαλύψεις βασικών εξαρτημάτων σε εξοπλισμό ημιαγωγών (όπως suceptors, επενδύσεις του θαλάμου αντίδρασης κ.λπ.). Αυτά τα συστατικά πρέπει να εργάζονται σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και οι επικαλύψεις CVD μπορούν να παρέχουν εξαιρετική θερμική σταθερότητα για να προστατεύσουν το υπόστρωμα από βλάβη υψηλής θερμοκρασίας.

Φόντα: Το υψηλό σημείο τήξης και η εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα της CVD εξασφαλίζουν ότι τα εξαρτήματα μπορούν να λειτουργούν σταθερά για μεγάλο χρονικό διάστημα υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, επεκτείνοντας τη διάρκεια ζωής του εξοπλισμού.

✔ Εφαρμογές κατά της διάσημης

Λειτουργία: Στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, η επικάλυψη CVD μπορεί να αντισταθεί αποτελεσματικά στη διάβρωση των διαβρωτικών αερίων και των χημικών ουσιών και να προστατεύσει την ακεραιότητα του εξοπλισμού και των συσκευών. Αυτό είναι ιδιαίτερα σημαντικό για το χειρισμό εξαιρετικά διαβρωτικών αερίων όπως τα φθορίδια και τα χλωρίδια.

Φόντα: Η εναπόθεση επικάλυψης CVD στην επιφάνεια του συστατικού, το κόστος βλάβης και συντήρησης του εξοπλισμού που προκαλείται από τη διάβρωση μπορεί να μειωθεί σημαντικά και η αποτελεσματικότητα της παραγωγής μπορεί να βελτιωθεί.

✔ Εφαρμογές υψηλής αντοχής και ανθεκτικών στη φθορά

Λειτουργία: Το υλικό CVD SIC είναι γνωστό για την υψηλή σκληρότητα και την υψηλή μηχανική αντοχή του. Χρησιμοποιείται ευρέως σε εξαρτήματα ημιαγωγών που απαιτούν αντίσταση φθοράς και υψηλή ακρίβεια, όπως μηχανικές σφραγίδες, εξαρτήματα φορτίου κλπ. Αυτά τα εξαρτήματα υποβάλλονται σε ισχυρή μηχανική τάση και τριβή κατά τη διάρκεια της λειτουργίας. Το CVD SIC μπορεί να αντισταθεί αποτελεσματικά σε αυτές τις τάσεις και να εξασφαλίσει τη μακρά διάρκεια ζωής και τη σταθερή απόδοση της συσκευής.

Φόντα: Τα εξαρτήματα που κατασκευάζονται από CVD δεν μπορούν μόνο να αντέξουν τη μηχανική τάση σε ακραία περιβάλλοντα, αλλά και να διατηρήσουν τη σταθερότητα των διαστάσεων και την επιφάνεια μετά από μακροχρόνια χρήση.

Ταυτόχρονα, το CVD SIC διαδραματίζει ζωτικό ρόλο στοΟδήγησε επιταξιακή ανάπτυξη, εξουσιοδοτημένοι ημιαγωγοί και άλλα πεδία. Στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών χρησιμοποιούνται συνήθως ως υποστρώματα CVD SICEpi suffeptors. Η εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα και η χημική σταθερότητα τους καθιστούν τα αναπτυσσόμενα επιταξιακά στρώματα να έχουν υψηλότερη ποιότητα και συνέπεια. Επιπλέον, το CVD SIC χρησιμοποιείται επίσης ευρέως στοΜεταφορείς χάραξης PSS, Μεταφορείς RTP Wafer, ICP Getching αερομεταφορείς, κλπ., Παρέχοντας σταθερή και αξιόπιστη υποστήριξη κατά τη διάρκεια της χάραξης ημιαγωγών για να εξασφαλιστεί η απόδοση της συσκευής.

Η Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd είναι κορυφαίος πάροχος προηγμένων υλικών επικάλυψης για τη βιομηχανία ημιαγωγών. Η εταιρεία μας επικεντρώνεται στην ανάπτυξη λύσεων για τη βιομηχανία.

Οι κύριες προσφορές προϊόντων μας περιλαμβάνουν επικαλύψεις καρβιδίου πυριτίου CVD (SIC), επικαλύψεις καρβιδίου Tantalum (TAC), χύδην SIC, σκόνες SIC και περιουσιακές υλικά για τους πελάτες.

Η Vetek Semiconductor επικεντρώνεται στην ανάπτυξη τεχνολογικών τεχνολογιών και λύσεων ανάπτυξης προϊόντων για τη βιομηχανία ημιαγωγών.Ελπίζουμε ειλικρινά να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.