Πώς η επίστρωση TaC βελτιώνει τη διάρκεια ζωής των εξαρτημάτων γραφίτη; - VeTek Semiconductor

Επίστρωση καρβιδίου τανταλίου CVDπαράγεται με εναπόθεση ατμών του καρβιδίου Tantalum (TAC) στην επιφάνεια του υποστρώματος γραφίτη υψηλής καθαρότητας χρησιμοποιώντας τη διαδικασία εναπόθεσης χημικών ατμών (CVD) του Vetek Semiconductor.

Οι επικαλύψεις καρβιδίου τανταλίου (TaC) βελτιώνουν σημαντικά τη διάρκεια ζωής τουμέρη γραφίτηΜέσω πολλών μηχανισμών, ειδικά σε υψηλής θερμοκρασίας, εξαιρετικά διαβρωτικά περιβάλλοντα, όπως η παραγωγή ημιαγωγών και η ανάπτυξη κρυστάλλων. 

Εδώ είναι οι συγκεκριμένοι λόγοιΕπικαλύψεις TACΒελτιώστε την ανθεκτικότητα των τμημάτων γραφίτη:

●  Βελτιωμένη αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες

Εξαιρετικά υψηλή θερμική σταθερότητα: Οι επικαλύψεις TAC είναι σε θέση να παραμείνουν σταθερές σε εξαιρετικά υψηλές θερμοκρασίες που υπερβαίνουν τους 2000 ° C και μπορούν ακόμη και να λειτουργήσουν αποτελεσματικά στους 2200C. Αυτή η ανοχή υψηλής θερμοκρασίας επιτρέπει στην επικάλυψη να αντέχει τη διάβρωση των τετηγμένων μετάλλων και των χημικών αερίων κατά τη διάρκεια της παραγωγής ημιαγωγών, επεκτείνοντας έτσι τη διάρκεια ζωής των τμημάτων γραφίτη.

●  Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση

Η ανθεκτικότητα στη διάβρωση της χημικής διάβρωσης: Οι επικαλύψεις TAC έχουν έντονη αντίσταση σε διαβρωτικά αέρια όπως υδρογόνο, αμμωνία και ατμούς πυριτίου, τα οποία μπορούν να εμποδίσουν αποτελεσματικά αυτά τα αέρια να διαβρώσουν το υπόστρωμα γραφίτη και να μειώσουν τον κίνδυνο βλάβης των τμημάτων γραφίτη σε σκληρά περιβάλλοντα. Αυτό σημαίνει ότι κατά τη διάρκεια της διαδικασίας ανάπτυξης κρυστάλλων, η επικάλυψη μπορεί να εμποδίσει τη μετανάστευση ακαθαρσιών και να βελτιώσει την ποιότητα και την απόδοση των κρυστάλλων.

●  Βελτιωμένες μηχανικές ιδιότητες

Καλή πρόσφυση και αντοχή σε θερμικό σοκ: Οι επικαλύψεις TaC έχουν ισχυρή πρόσφυση στο υπόστρωμα γραφίτη, διασφαλίζοντας ότι η επίστρωση δεν θα ξεφλουδίσει ή θα αποκολληθεί κατά τη διάρκεια εργασιών σε υψηλή θερμοκρασία. Επιπλέον, η εξαιρετική του αντοχή στο θερμικό σοκ μπορεί να αντέξει τις γρήγορες αλλαγές θερμοκρασίας χωρίς ρωγμές ή ξεφλούδισμα, επεκτείνοντας περαιτέρω τη διάρκεια ζωής των εξαρτημάτων γραφίτη.

●  Μειώστε τη μόλυνση από ακαθαρσίες

Εξαιρετική καθαρότητα: Οι επικαλύψεις TAC έχουν εξαιρετικά χαμηλή περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες, γεγονός που συμβάλλει στη μείωση των προβλημάτων μόλυνσης που μπορεί να εμφανιστούν υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας. Με την πρόληψη των ανεπιθύμητων ακαθαρσιών από τη μετανάστευση στο επιταξιακό στρώμα, οι επικαλύψεις TAC βελτιώνουν σημαντικά την καθαρότητα και την ποιότητα της διαδικασίας ανάπτυξης κρυστάλλων.

●  Βελτιστοποιήστε τη θερμική διαχείριση

Βελτίωση θερμικής αγωγιμότητας και ειδικής αντίστασης: Οι επικαλύψεις TaC έχουν σχετικά χαμηλή θερμική αγωγιμότητα και ειδική αντίσταση, γεγονός που επιτρέπει την εφαρμογή τους σε θερμαντήρες και άλλα εξαρτήματα θερμικής διαχείρισης για τη βελτίωση της ενεργειακής απόδοσης και τη μείωση της απώλειας ενέργειας. Αυτό το χαρακτηριστικό όχι μόνο βελτιώνει την απόδοση λειτουργίας, αλλά μειώνει επίσης την κόπωση του υλικού και τη ζημιά που προκαλείται από την υπερθέρμανση.