SIC Coated Graphite Sensceptor για MOCVD

Το SIC-Coated Graphite Sensceptor για το MOCVD του SIC, είναι ένας φορέας γραφίτη υψηλής καθαρότητας, ειδικά σχεδιασμένο για την αύξηση του επιταξιακού στρώματος σε τσιπς πλακιδίων. Ως κεντρικό συστατικό στην επεξεργασία MOCVD, τυπικά διαμορφωμένη ως γρανάζι ή δακτύλιος, διαθέτει εξαιρετική αντοχή στη θερμότητα και αντοχή στη διάβρωση, εξασφαλίζοντας σταθερότητα σε ακραία περιβάλλοντα.

Βασικά χαρακτηριστικά του MOCVD Υποδοχέας γραφίτη με επικάλυψη SiC:

●   Επίστρωση ανθεκτική σε νιφάδες: Εξασφαλίζει την ομοιόμορφη κάλυψη επικάλυψης SIC σε όλες τις επιφάνειες, μειώνοντας τον κίνδυνο απόσπασης σωματιδίων

●   Εξαιρετική αντοχή στην οξείδωση σε υψηλές θερμοκρασίεςce: Παραμένει σταθερή σε θερμοκρασίες έως 1600 ° C

● Υψηλή καθαρότητα: Κατασκευάζεται μέσω εναπόθεσης χημικών ατμών CVD, κατάλληλο για συνθήκες χλωρίωσης σε υψηλή θερμοκρασία

●   Ανώτερη αντίσταση στη διάβρωση: Εξαιρετικά ανθεκτικά σε οξέα, αλκαλικά, άλατα και οργανικά αντιδραστήρια

●   Βελτιστοποιημένο μοτίβο στρωτής ροής αέρα: Ενισχύει την ομοιομορφία της δυναμικής ροής αέρα

● Ομοιόμορφη θερμική κατανομή: Εξασφαλίζει σταθερή κατανομή θερμότητας κατά τη διάρκεια διαδικασιών υψηλής θερμοκρασίας

●   Πρόληψη μόλυνσης: Αποτρέπει τη διάχυση ρύπων ή ακαθαρσιών, διασφαλίζοντας την καθαριότητα της γκοφρέτας

Στο Vetek Semiconductor, τηρούμε αυστηρά πρότυπα ποιότητας, παρέχοντας αξιόπιστα προϊόντα και υπηρεσίες στους πελάτες μας. Επιλέγουμε μόνο υλικά premium, προσπαθώντας να ανταποκριθούμε και να υπερβούμε τις απαιτήσεις απόδοσης της βιομηχανίας. Ο SICEDER SECEPTOR του SIC για το MOCVD αποτελεί παράδειγμα αυτής της δέσμευσης για την ποιότητα. Επικοινωνήστε μαζί μας για να μάθετε περισσότερα σχετικά με τον τρόπο με τον οποίο μπορούμε να υποστηρίξουμε τις ανάγκες επεξεργασίας των ημιαγωγών.

ΚΡΥΣΤΑΛΙΚΗ ΔΟΜΗ CVD SIC FILM:

Βασικές φυσικές ιδιότητες της επικάλυψης CVD:

Είναι ημιαγωγός MOCVD Υποδοχέας γραφίτη με επικάλυψη SiC: