Δακτύλιος γραφίτη με επικάλυψη πυρολυτικού άνθρακα (PyC).

Στις ρυθμίσεις ανάπτυξης κρυστάλλων SiC PVT, τα μέρη γραφίτη λειτουργούν σε πολύ υψηλές θερμοκρασίες για μεγάλες περιόδους. Ο δακτύλιος γραφίτη με επίστρωση PyC της VeTek είναι κατασκευασμένος για αυτό το είδος εργασίας. Ένα στρώμα πυρολυτικού άνθρακα εναποτίθεται σε γραφίτη υψηλής καθαρότητας μέσω CVD. Αυτό δίνει στο εξάρτημα καλύτερη σταθερότητα στην επιφάνεια και λιγότερα σωματίδια που αποκολλώνται κατά τη λειτουργία. Συνήθως το βάζετε στην περιοχή του θερμικού πεδίου για να βοηθήσετε στη διαχείριση της ροής των ατμών και του τρόπου με τον οποίο η θερμότητα διαχέεται μέσα στον κλίβανο. Η επίστρωση επιβραδύνει επίσης την εξάχνωση του γραφίτη όταν τα πράγματα ξεπερνούν τους 2200°C, γεγονός που κάνει ολόκληρο το εξάρτημα να διαρκεί περισσότερο.