Ποια είναι η συγκεκριμένη εφαρμογή των επικαλυμμένων με TAC τμήματα στο πεδίο ημιαγωγών;

Φυσικές ιδιότητες της επικάλυψης καρβιδίου Tantalum (TAC)

Η εφαρμογή της επικάλυψης καρβιδίου Tantalum (TAC) στο πεδίο ημιαγωγών

1.

Η επικάλυψη TAC χρησιμοποιείται ευρέως σε συστατικά αντιδραστήρα εναπόθεσης χημικών ατμών (CVD) του επιταξιακού καρβιδίου του γάλλου (GAN) και του καρβιδίου του πυριτίου (SIC), συμπεριλαμβανομένωνμεταφορείς, δορυφορικά πιάτα, ακροφύσια και αισθητήρες. Αυτά τα εξαρτήματα απαιτούν εξαιρετικά υψηλή ανθεκτικότητα και σταθερότητα σε υψηλή θερμοκρασία και διαβρωτικό περιβάλλον. Η επικάλυψη TAC μπορεί να επεκτείνει αποτελεσματικά τη διάρκεια ζωής τους και να βελτιώσει την απόδοση.

2.

Στη διαδικασία ανάπτυξης των κυττάρων των υλικά όπως το νιτρίδιο SIC, GAN και αλουμινίου (AIN),Επίστρωση TACεφαρμόζεται σε βασικά εξαρτήματα όπως τα χωνευτήρια, οι κάτοχοι κρυστάλλων σπόρων, οι δακτύλιοι καθοδήγησης και τα φίλτρα. Τα υλικά γραφίτη με επικάλυψη TAC μπορούν να μειώσουν τη μετανάστευση ακαθαρσιών, να βελτιώσουν την ποιότητα των κρυστάλλων και να μειώσουν την πυκνότητα των ελαττωμάτων.

3. Βιομηχανικά εξαρτήματα υψηλής θερμοκρασίας

Η επίστρωση TAC μπορεί να χρησιμοποιηθεί σε βιομηχανικές εφαρμογές υψηλής θερμοκρασίας, όπως στοιχεία θέρμανσης αντίστασης, ακροφύσια έγχυσης, δακτυλίους θωράκισης και συγκολλήσεις. Αυτά τα εξαρτήματα πρέπει να διατηρούν καλές επιδόσεις σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και η αντίσταση στη θερμότητα και η αντοχή στη διάβρωση την καθιστούν την ιδανική επιλογή.

4. Θερμαντήρες σε συστήματα MOCVD

Οι θερμαντήρες γραφίτη επικαλυμμένων με TAC έχουν εισαχθεί με επιτυχία σε συστήματα μεταλλικών οργανικών χημικών ατμών (MOCVD). Σε σύγκριση με τους παραδοσιακούς θερμαντήρες με επικάλυψη PBN, οι θερμαντήρες TAC μπορούν να παρέχουν καλύτερη απόδοση και ομοιομορφία, να μειώσουν την κατανάλωση ενέργειας και να μειώσουν την εκπομπή της επιφάνειας, βελτιώνοντας έτσι την ακεραιότητα.

5.

Οι μεταφορείς με επικάλυψη TAC διαδραματίζουν σημαντικό ρόλο στην παρασκευή υλικών ημιαγωγών τρίτης γενιάς όπως SIC, AIN και GAN. Μελέτες έχουν δείξει ότι ο ρυθμός διάβρωσηςΕπικαλύψεις TACΣε περιβάλλοντα αμμωνίας και υδρογόνου υψηλής θερμοκρασίας είναι πολύ χαμηλότερο από αυτό τουΕπιχρίσματα, που το καθιστά καλύτερη σταθερότητα και ανθεκτικότητα σε μακροπρόθεσμη χρήση.