Τι είναι ένα ηλεκτροστατικό τσοκ (ESC);

Το ηλεκτροστατικό τσοκ (ESC), γνωστό και ως ηλεκτροστατικό τσοκ (ESC, E-Chuck), είναι ένα εξάρτημα που χρησιμοποιεί την αρχή της ηλεκτροστατικής προσρόφησης για να συγκρατήσει και να διορθώσει το προσροφημένο υλικό. Είναι κατάλληλο για περιβάλλοντα κενού και πλάσματος. Η κύρια λειτουργία του είναι η προσρόφηση εξαιρετικάΚαθαρίστε τα λεπτά φύλλα (όπως τα πλακίδια πυριτίου) και διατηρήστε το προσροφημένο υλικό σε καλή επιπεδότητα, το οποίο μπορεί επίσης να εμποδίσει την παραμόρφωση του προσροφημένου υλικού κατά τη διάρκεια της διαδικασίας και μπορεί να ρυθμίσει τη θερμοκρασία του προσροφητικού.

Ένα ηλεκτροστατικό Chuck (ESC) είναι ένας ειδικός τύπος τσοκ που χρησιμοποιεί ηλεκτροστατική δύναμη για να κρατήσει, να πιέσει και να παραλάβει αντικείμενα (τεμάχια εργασίας). Οποιοδήποτε υλικό φέρει θετικές και αρνητικές χρεώσεις που είναι αόρατες στο γυμνό μάτι. Όταν το υλικό τοποθετείται στο ESC και εφαρμόζεται μια διπολική τάση στα εσωτερικά ηλεκτρόδια του ESC, τα θετικά και αρνητικά φορτία θα κινούνται μέσα στο υλικό για να ταιριάζουν με την πολικότητα των εσωτερικών ηλεκτροδίων του ESC. Αυτή η έλξη μεταξύ ESC και του υλικού ονομάζεται ηλεκτροστατική δύναμη και είναι επίσης η θεμελιώδης αρχή πίσω από τα τσοκ.

Πλεονεκτήματα προϊόντων

Έχει ένα ευρύ φάσμα θερμοκρασίας λειτουργίας (-50 έως 700 ℃)

Αυτά τα ηλεκτροστατικά κύπελλα αναρρόφησης διαθέτουν εξαιρετική αντοχή, θερμική αγωγιμότητα και αντοχή σε θερμικό σοκ και μπορούν να προσαρμοστούν σε ένα ευρύ φάσμα θερμοκρασιών μέσω του ιδιόκτητου ελέγχου της Ceramic Volume Control.

Υψηλή αντοχή στη διάβρωση

Αυτά τα ηλεκτροστατικά κύπελλα αναρρόφησης έχουν εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση στα αέρια αλογόνου.

Επεξεργασία χαμηλών σωματιδίων

Η επεξεργασία χαμηλών σωματιδίων μπορεί να επιτευχθεί μέσω επιφανειακής επεξεργασίας και ειδικού καθαρισμού

Υψηλή καθαρότητα

Τα προϊόντα με καθαρότητα 99,9% ή υψηλότερα είναι επίσης διαθέσιμα.

Λειτουργία θέρμανσης

Η τεχνολογία ενσωμάτωσης θέρμανσης υψηλής ακρίβειας μπορεί να ενσωματωθεί στη λειτουργία του θερμαντήρα και η θερμοκρασία της δίσκου μπορεί να ελεγχθεί εντός ± 1%.

Λειτουργία ψύξης

Αυτά τα ηλεκτροστατικά κύπελλα αναρρόφησης έχουν εξαιρετικά υψηλή απόδοση ψύξης με τη συγκόλληση κεραμικών πλακών με υψηλή θερμική αγωγιμότητα και πλάκες ψύξης.

Ηλεκτρόδιο ραδιοσυχνοτήτων

Τα μεταλλικά ηλεκτρόδια χύδην μπορούν ταυτόχρονα να παρέχουν σταθερή δημιουργία πλάσματος και παραγωγής πλάσματος ραδιοσυχνοτήτων.

Pαραμέμετρο

1.Στον τομέα της ημιαγωγού και της ηλεκτρονικής κατασκευής: Κατά τη διάρκεια των ημιαγωγών και των ηλεκτρονικών διαδικασιών παραγωγής, τα ηλεκτροστατικά κύπελλα αναρρόφησης χρησιμοποιούνται για την καθιέρωση και τη χειρισμό λεπτών και εύθραυστων θαλάσσιων θαλάσσιων θαλάσσιων πλακών, των δισκίων κλπ.

2. Βιομηχανία γυαλιού και κεραμικής: Κατά τη διάρκεια των διαδικασιών κοπής, λείανσης και χειρισμού γυαλιού και κεραμικών, τα ηλεκτροστατικά κύπελλα αναρρόφησης μπορούν να εκτελούν μη καταστρεπτικές λειτουργίες σε εύθραυστα υλικά, μειώνοντας τον ρυθμό θραύσης του προϊόντος.

3. Κατασκευή μηχανημάτων ακριβείας και οπτικών εξαρτημάτων: Για μηχανήματα ακριβείας και οπτικά εξαρτήματα, τα ηλεκτροστατικά κύπελλα αναρρόφησης μπορούν να παρέχουν σταθερή δύναμη προσρόφησης, αποτρέποντας την παραμόρφωση ή τις γρατζουνιές κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας.

4. Αυτοματοποιημένες γραμμές παραγωγής: Σε αυτοματοποιημένες γραμμές παραγωγής, τα ηλεκτροστατικά κύπελλα αναρρόφησης χρησιμοποιούνται ευρέως στη θέση, το χειρισμό και τη συναρμολόγηση των τμημάτων κ.λπ., ενισχύοντας τον βαθμό αυτοματισμού και αποτελεσματικότητας της γραμμής παραγωγής.