Συνταγή εναπόθεσης ατομικού στρώματος ALD

Χωρικός ALD, απομονωμένη χωρικά απομονωμένη εναπόθεση στρώματος. Το δίσκο μετακινείται μεταξύ διαφορετικών θέσεων και εκτίθεται σε διαφορετικούς πρόδρομους σε κάθε θέση. Το παρακάτω σχήμα είναι μια σύγκριση μεταξύ της παραδοσιακής ALD και του χωρικά απομονωμένου ALD.

Κροταφικός ALD,προσωρινά απομονωμένη εναπόθεση ατομικού στρώματος. Το δίσκο είναι σταθερό και οι πρόδρομοι εισάγονται εναλλάξ και αφαιρούνται στο θάλαμο. Αυτή η μέθοδος μπορεί να επεξεργαστεί το δίσκο σε ένα πιο ισορροπημένο περιβάλλον, βελτιώνοντας έτσι τα αποτελέσματα, όπως ο καλύτερος έλεγχος του εύρους των κρίσιμων διαστάσεων. Το παρακάτω σχήμα είναι ένα σχηματικό διάγραμμα της χρονικής ALD.

Βαλβίδα διακοπής, κλείσιμο βαλβίδας. Χρησιμοποιείται συνήθως σε，συνταγές, που χρησιμοποιούνται για το κλείσιμο της βαλβίδας στην αντλία κενού ή για το άνοιγμα της βαλβίδας διακοπής στην αντλία κενού.

Πρόδρομος, πρόδρομος. Δύο ή περισσότερα, το καθένα από τα οποία περιέχει τα στοιχεία του επιθυμητού εναποτιθέμενου φιλμ, απορροφώνται εναλλάξ στην επιφάνεια του υποστρώματος, με μόνο έναν πρόδρομο κάθε φορά, ανεξάρτητα το ένα από το άλλο. Κάθε πρόδρομος κορεσμός της επιφάνειας του υποστρώματος σχηματίζει μια μονοστοιβάδα. Ο πρόδρομος μπορεί να φανεί στο παρακάτω σχήμα.

Κάθαρση, γνωστή και ως κάθαρση. Κοινό αέριο καθαρισμού, αέριο καθαρισμού.Εναπόθεση ατομικού στρώματοςείναι μια μέθοδος εναπόθεσης λεπτών μεμβρανών σε ατομικά στρώματα τοποθετώντας διαδοχικά δύο ή περισσότερα αντιδραστήρια σε ένα θάλαμο αντίδρασης για τη διαμόρφωση ενός λεπτού φιλμ μέσω της αποσύνθεσης και της προσρόφησης κάθε αντιδραστηρίου. Δηλαδή, το πρώτο αέριο αντίδρασης τροφοδοτείται με παλμικό τρόπο για να κατατεθεί χημικά μέσα στο θάλαμο και το φυσικά συνδεδεμένο υπολειμματικό αέριο αντίδρασης απομακρύνεται από τον καθαρισμό. Στη συνέχεια, το δεύτερο αέριο αντίδρασης σχηματίζει επίσης χημικό δεσμό με το πρώτο αέριο αντίδρασης εν μέρει μέσω της διαδικασίας παλμού και καθαρισμού, καταθέτοντας έτσι την επιθυμητή μεμβράνη στο υπόστρωμα. Ο καθαρισμός μπορεί να φανεί στο παρακάτω σχήμα.

Κύκλος. Στη διαδικασία εναπόθεσης ατομικού στρώματος, ο χρόνος για κάθε αέριο αντίδρασης να είναι παλμικό και καθαρισμένο κάποτε ονομάζεται κύκλος.

Ατομική επιταξία.Ένας άλλος όρος για την εναπόθεση ατομικού στρώματος.

Trimethylaluminium, συντομογραφία TMA, trimethylaluminium. Στην εναπόθεση ατομικού στρώματος, το TMA χρησιμοποιείται συχνά ως πρόδρομος για το σχηματισμό του Al2O3. Κανονικά, το TMA και το H2O σχηματίζουν Al2O3. Επιπλέον, το TMA και το O3 σχηματίζουν το Al2O3. Το παρακάτω σχήμα είναι ένα σχηματικό διάγραμμα της εναπόθεσης ατομικού στρώματος Al2O3, χρησιμοποιώντας TMA και H2O ως πρόδρομες ουσίες.

3-αμινοπροπυλτριεθοξυσιλανικό, που αναφέρεται ως APTES, 3-αμινοοπροπυλτραμεθοξυσίνιο. Σεατομική εναπόθεση στρώματος, Το APTES χρησιμοποιείται συχνά ως πρόδρομος για να σχηματίσει SiO2. Κανονικά, τα Aptes, O3 και H2O σχηματίζουν SiO2. Το παρακάτω σχήμα είναι ένα σχηματικό διάγραμμα των Aptes.