Εξαρτήματα δέκτη EPI

Γενικές πληροφορίες προϊόντος

Όροι επιχείρησης προϊόντος

✔ Εφαρμογή: Στην επιδίωξη της απόλυτης απόδοσης και απόδοσης στις επιταξιακές διεργασίες SiC, το Veteksemicon EPI Susceptor παρέχει εξαιρετική θερμική σταθερότητα και ομοιομορφία, αποτελώντας βασικό στήριγμα για τη βελτίωση της απόδοσης των συσκευών ισχύος και ραδιοσυχνοτήτων και τη μείωση του συνολικού κόστους.

✔ Υπηρεσίες που μπορούν να παρέχονται: ανάλυση σεναρίου εφαρμογής πελατών, αντιστοίχιση υλικών, επίλυση τεχνικών προβλημάτων. 

✔ Εταιρικό προφίλ：Το Veteksemicon διαθέτει 2 εργαστήρια, μια ομάδα ειδικών με 20ετή εμπειρία υλικών, με δυνατότητες Ε&Α και παραγωγής, δοκιμών και επαλήθευσης.

Βασικά πλεονεκτήματα του Veteksemicon EPI Contractor Part

1. Εξασφαλίστε την απόλυτη ομοιομορφία

Στις επιταξιακές διεργασίες καρβιδίου του πυριτίου, ακόμη και οι διακυμάνσεις του πάχους σε επίπεδο μικρομέτρων και οι ανομοιογένειες του ντόπινγκ επηρεάζουν άμεσα την απόδοση και την απόδοση της τελικής συσκευής. Το Veteksemicon EPI Susceptor επιτυγχάνει βέλτιστη κατανομή θερμικού πεδίου εντός του θαλάμου αντίδρασης μέσω ακριβούς θερμοδυναμικής προσομοίωσης και δομικού σχεδιασμού. Η επιλογή υποστρώματος υψηλής θερμικής αγωγιμότητας, σε συνδυασμό με μια μοναδική διαδικασία επεξεργασίας επιφάνειας, διασφαλίζει ότι οι διαφορές θερμοκρασίας σε οποιοδήποτε σημείο της επιφάνειας της γκοφρέτας ελέγχονται σε εξαιρετικά μικρό εύρος, ακόμη και σε περιβάλλοντα υψηλής ταχύτητας περιστροφής και υψηλής θερμοκρασίας. Η άμεση αξία που φέρνει είναι ένα εξαιρετικά αναπαραγώγιμο επιταξιακό στρώμα από παρτίδα σε παρτίδα με εξαιρετική ομοιομορφία, που θέτει μια γερή βάση για την κατασκευή τσιπ υψηλής απόδοσης, υψηλής συνέπειας.

2. Αντίσταση στην πρόκληση των υψηλών θερμοκρασιών

Οι επιταξιακές διεργασίες SiC απαιτούν συνήθως παρατεταμένη λειτουργία σε θερμοκρασίες άνω των 1500°C, θέτοντας μια σοβαρή πρόκληση για οποιοδήποτε υλικό. Το Veteksemicon Susceptor χρησιμοποιεί ειδικά επεξεργασμένο ισοστατικά συμπιεσμένο γραφίτη, του οποίου η αντοχή στην κάμψη και η αντοχή σε ερπυσμό σε υψηλή θερμοκρασία ξεπερνούν κατά πολύ αυτές του συνηθισμένου γραφίτη. Ακόμη και μετά από εκατοντάδες ώρες συνεχούς θερμικού κύκλου υψηλής θερμοκρασίας, το προϊόν μας διατηρεί την αρχική του γεωμετρία και τη μηχανική του αντοχή, αποτρέποντας αποτελεσματικά τους κινδύνους παραμόρφωσης, ολίσθησης ή μόλυνσης της κοιλότητας διεργασιών που προκαλούνται από την παραμόρφωση του δίσκου, διασφαλίζοντας ουσιαστικά τη συνέχεια και την ασφάλεια των παραγωγικών δραστηριοτήτων.

3. Μεγιστοποιήστε τη σταθερότητα της διαδικασίας

Οι διακοπές παραγωγής και η απρογραμμάτιστη συντήρηση είναι οι σημαντικότεροι εξοντωτικοί παράγοντες κόστους στην κατασκευή γκοφρέτας. Το Veteksemicon θεωρεί τη σταθερότητα της διαδικασίας βασικό μετρικό για το Susceptor. Η πατενταρισμένη μας επίστρωση CVD SiC είναι πυκνή, μη πορώδης και έχει λεία επιφάνεια που μοιάζει με καθρέφτη. Αυτό όχι μόνο μειώνει σημαντικά την αποβολή σωματιδίων υπό ροή αέρα υψηλής θερμοκρασίας, αλλά επίσης επιβραδύνει σημαντικά την προσκόλληση των υποπροϊόντων της αντίδρασης (όπως το πολυκρυσταλλικό SiC) στην επιφάνεια του δίσκου. Αυτό σημαίνει ότι ο θάλαμος αντίδρασης μπορεί να παραμείνει καθαρός για μεγαλύτερα χρονικά διαστήματα, επεκτείνοντας τα διαστήματα μεταξύ τακτικού καθαρισμού και συντήρησης, βελτιώνοντας έτσι τη συνολική χρήση και απόδοση του εξοπλισμού.

4. Παρατείνετε τη διάρκεια ζωής

Ως αναλώσιμο συστατικό, η συχνότητα αντικατάστασης των υποδοχέων επηρεάζει άμεσα το λειτουργικό κόστος παραγωγής. Το Veteksemicon επεκτείνει τη διάρκεια ζωής του προϊόντος μέσω μιας διπλής τεχνολογικής προσέγγισης: "βελτιστοποίηση υποστρώματος" και "βελτίωση επίστρωσης". Ένα υπόστρωμα γραφίτη υψηλής πυκνότητας και χαμηλού πορώδους επιβραδύνει αποτελεσματικά τη διείσδυση και τη διάβρωση του υποστρώματος από τα αέρια διεργασίας. Ταυτόχρονα, η παχιά και ομοιόμορφη επίστρωση SiC λειτουργεί ως στιβαρό φράγμα, καταστέλλοντας σημαντικά την εξάχνωση σε υψηλές θερμοκρασίες. Οι πραγματικές δοκιμές δείχνουν ότι, υπό τις ίδιες συνθήκες διεργασίας, οι υποδοχείς Veteksemicon παρουσιάζουν πιο αργό ρυθμό υποβάθμισης της απόδοσης και μεγαλύτερη αποτελεσματική διάρκεια ζωής, με αποτέλεσμα χαμηλότερο λειτουργικό κόστος ανά γκοφρέτα.

5. Έγκριση επαλήθευσης οικολογικής αλυσίδας

Η επαλήθευση οικολογικής αλυσίδας του Veteksemicon EPI Susceptor Part' καλύπτει τις πρώτες ύλες για την παραγωγή, έχει περάσει πιστοποίηση διεθνών προτύπων και διαθέτει μια σειρά κατοχυρωμένων τεχνολογιών για να διασφαλίσει την αξιοπιστία και τη βιωσιμότητά του στους τομείς των ημιαγωγών και των νέων ενεργειακών πόρων.

Για λεπτομερείς τεχνικές προδιαγραφές, λευκές βίβλους ή ρυθμίσεις δειγμάτων δοκιμών, επικοινωνήστε με την ομάδα τεχνικής υποστήριξης για να διερευνήσετε πώς το Veteksemicon μπορεί να βελτιώσει την αποτελεσματικότητα της διαδικασίας σας.

Κύρια πεδία εφαρμογής

Αποθήκη προϊόντων Ο αντίπαλός μου