Πώς να επιλέξετε δίσκο γραφίτη MOCVD;

Ερώτηση 1: Τι είναι το δίσκο γραφίτη MOCVD και γιατί είναι τόσο σημαντικό για την επιταξιακή διαδικασία;

Η πλάκα γραφίτη μετάλλου-οργανικού χημικού ατμού (MOCVD), γνωστή και ως δίσκος γραφίτη MOCVD ή MOCVD Graphite Sensceptor, είναι ένα συστατικό υψηλής καθαρότητας που χρησιμοποιείται για την καθιέρωση των ημιαγωγών κατά τη διάρκεια της επιταξιακής ανάπτυξης. Στην επιταξιακή διαδικασία, λειτουργεί ως στοιχείο θέρμανσης και εξασφαλίζει ομοιόμορφη κατανομή θερμοκρασίας, η οποία διαδραματίζει αναντικατάστατο ρόλο στην εναπόθεση λεπτών μεμβρανών σε εφαρμογές όπως προηγμένες συσκευές ημιαγωγών, παραγωγή LED και ηλιακά κύτταρα.

Ο δίσκος γραφίτη μπορεί να αντέξει τις ακραίες θερμοκρασίες (έως 1.800 ° C) και τα διαβρωτικά περιβάλλοντα αερίου, καθιστώντας το απαραίτητο υλικό για συστήματα MOCVD ανθεκτικών σε υψηλής θερμοκρασίας. Η απόδοσή του επηρεάζει άμεσα τη συνεκτικότητα της διαδικασίας και την απόδοση των δισκίων.

Ερώτηση 2: Ποιες ιδιότητες υλικού πρέπει να δοθεί προτεραιότητα κατά την επιλογή δίσκων γραφίτη MOCVD;

Η επιλογή της δεξιάς πλάκας γραφίτη απαιτεί την αξιολόγηση των φυσικών και χημικών ιδιοτήτων της:

● Υψηλή καθαρότητα (πάνω από 99,999%):

Συνήθως, οι ακαθαρσίες όπως τα μέταλλα ή η τέφρα μπορούν να μολύνουν την επιταξιακή διαδικασία. Η επιλογή ενός προμηθευτή υψηλής καθαρότητας γραφής, όπως το Veteksemicon, εξασφαλίζει ελάχιστα ελαττώματα στο Epilayer του ημιαγωγού.

●  Εξαιρετική θερμική σταθερότητα:

Κατά τη διάρκεια της πραγματικής επεξεργασίας, οι πλάκες γραφίτη πρέπει να είναι σε θέση να αντέχουν σε ορισμένες θερμικές διαταραχές και να διατηρούν δομική ακεραιότητα κάτω από κύκλους ταχείας θερμοκρασίας. Το Veteksemicon γραφίτη υψηλής πυκνότητας εξασφαλίζει ομοιόμορφη κατανομή θερμότητας, η οποία είναι κρίσιμη για την ομοιόμορφη ανάπτυξη του φιλμ.

●  Εξαιρετική αντίσταση στη διάβρωση:

Στο περιβάλλον της διαδικασίας MOCVD, ο γραφίτης εκτίθεται γενικά σε διαβρωτικά αέρια (π.χ. αμμωνία, υδρογόνο). Υψηλής θερμοκρασίας ανθεκτικές στη διάβρωση πλάκες MOCVD γραφίτη με λεπτόκοκκο δομή ελαχιστοποιήστε τη διάβρωση και επεκτείνετε τη διάρκεια ζωής.

●  Μηχανική αντοχή υψηλής απόδοσης:

Στην επιταξιακή διαδικασία, οι δίσκοι γραφίτη MOCVD πρέπει να υποστηρίζουν πολλαπλές γκοφρέτες χωρίς στρέβλωση. Σύμφωνα με τα στατιστικά στοιχεία του Veteksemicon στην πραγματική επεξεργασία, η αντοχή κάμψης της πλάκας γραφίτη πρέπει να είναι ≥50 MPa για να αποφευχθεί η ρωγμή του δίσκου.

Ε3: Πώς επηρεάζει το σενάριο εφαρμογής την επιλογή των δίσκων γραφίτη MOCVD;

Διαφορετικές διαδικασίες MOCVD απαιτούν προσαρμοσμένα σχέδια πλάκας γραφίτη:

●  Επιταξιακή ανάπτυξη LED/φωτονικής:

Οι πλακές γραφίτη Ultra-ομαλό MOCVD χρησιμοποιούνται στη διαδικασία επιταξίας για τη μείωση της παραγωγής σωματιδίων και την εξασφάλιση στρώσεων χωρίς ελαττώματα.

Για παράδειγμα, οι πλάκες γραφίτη Veteksemicon MOCVD (ή πλάκες γραφίτη Veteksemicon για MOCVD) έχουν σχεδιαστεί για επιταξία GaN και GaAs και παρέχουν βελτιστοποιημένη θερμική διαχείριση.

●  Power Semiconductor Manufacturing:

Σε συνδυασμό με τα πειραματικά στατιστικά στοιχεία του ημιαγωγού Semikera, οι πλάκες με ενισχυμένη αντοχή στην οξείδωση προτιμώνται γενικά για τις διεργασίες καρβιδίου πυριτίου (SIC) ή γάλλου (GAN).

●  Παραγωγή υψηλής απόδοσης:

Οι δίσκοι πολλαπλών στροφών απαιτούν ακριβή επεξεργασία για να ευθυγραμμιστούν με το σχεδιασμό του αντιδραστήρα. Προσαρμόσιμοι δίσκοι γραφίτη MOCVD από αξιόπιστο SemiConductor SemiConductor Semiconductor μπορεί να ταιριάζει με συγκεκριμένες διαμορφώσεις εργαλείων.

Ε4: Ποιες είναι οι βασικές εκτιμήσεις για την εύρεση ενός αξιόπιστου προμηθευτή πλάκας γραφίτη MOCVD;

●  Πιστοποίηση και δοκιμές:

Βεβαιωθείτε ότι ο προμηθευτής παρέχει πιστοποίηση υλικού (π.χ. έκθεση καθαρότητας, δοκιμή πυκνότητας) και παρέχει μετα-επεξεργασία επιφανειακής επεξεργασίας (π.χ. επικάλυψη για τη μείωση του πορώδους). Ως κορυφαίος κατασκευαστής εξοπλισμού εξοπλισμού και επιταξιακής διεργασίας, ο κατασκευαστής γραφίτη Veteksemicon MOCVD έχει πιστοποιηθεί από κυβερνητικά τμήματα για αυστηρά πειράματα ορίων και τα αποτελέσματα των δοκιμών καθαρότητας και πυκνότητας των προϊόντων του είναι πολύ μπροστά από τους συνομηλίκους του.

●  Δυνατότητες προσαρμογής:

Οι κορυφαίοι προμηθευτές υψηλής ποιότητας Graphite Sensceptor θα πρέπει να προσαρμόσουν το μέγεθος, το πρότυπο οπών και την επικάλυψη για να ικανοποιήσουν τις απαιτήσεις του αντιδραστήρα σας. Τόσο η Veteksemicon όσο και η Semikera Semiconductor έχουν τις δυνατότητες προσαρμογής των σχετικών προϊόντων και τεχνολογιών και είναι πλήρως σε θέση να καλύψουν τις διάφορες προσαρμοσμένες ανάγκες σας.

●  Διάρκεια ζωής και αποδοτικότητα κόστους:

Ενώ ο φθηνότερος γραφίτης μπορεί να εξοικονομήσει εκ των προτέρων κόστος, οι κατώτερες πλάκες γραφίτη θα οδηγήσουν σε συχνή αντικατάσταση και διακοπή λειτουργίας, επηρεάζοντας σοβαρά την κανονική αποτελεσματικότητα της παραγωγής. Η επιλογή των πλακών γραφίτη Veteksemicon και άλλων προϊόντων ποιότητας θα επιτρέψει στην επιχείρησή σας να επιτύχει μακροπρόθεσμη αξιόπιστη παραγωγή.

Ε5: Πώς να επεκτείνετε τη διάρκεια ζωής των δίσκων γραφίτη MOCVD;

●  Αποτρέψτε την οξείδωση: Χρησιμοποιήστε καθαρισμό αδρανών αερίου κατά τη διάρκεια των κύκλων θέρμανσης/ψύξης.

●  Καθαρίστε τακτικά: Χρησιμοποιήστε μη λειαντικές μεθόδους (όπως ξηρή χάραξη) για να αφαιρέσετε τα κατατεθειμένα υπολείμματα.

●  Αποφύγετε τη μηχανική τάση: Χειριστείτε προσεκτικά το δίσκο κατά τη διάρκεια της φόρτωσης/εκφόρτωσης δίσκου.

Οι καλύτερες συμβουλές του Veteksemicon για εσάς:

Για τις πλάκες γραφίτη MOCVD που είναι ανθεκτικές στη διάβρωση υψηλής θερμοκρασίας, δίνουν προτεραιότητα στους προμηθευτές με εμπειρία σε υλικά ημιαγωγού.

Δοκιμάστε δείγματα υπό πραγματικές συνθήκες διεργασίας για την επαλήθευση της απόδοσης.

Εξερευνήστε τις προηγμένες επικαλύψεις (όπως η επίστρωση SIC, η επίστρωση TAC) για την ενίσχυση της ανθεκτικότητας και της αξιοπιστίας σε ακραία περιβάλλοντα.

Για περισσότερες πληροφορίες σχετικά με την πλάκα γραφίτη MOCVD SIC, κάντε κλικ εδώ.

Για περισσότερες πληροφορίες σχετικά με την πλάκα γραφίτη MOCVD, κάντε κλικ εδώ.