Τι είναι ένα σκάφος γραφίτη PECVD;

Ⅰ. Ποιο είναι το υλικό του σκάφους PECVD γραφίτη;

Το υλικό πυρήνα τουΣκάφος γραφίτη PECVD(Πλάσμα ενισχυμένο χημικό ατμό από εναπόθεση γραφίτη) είναι κατασκευασμένο από υψηλή καθαρότηταισοτροπικό υλικό γραφίτη(Η καθαρότητα είναι συνήθως ≥99,999%) και τροποποιείται με ειδικές διεργασίες (όπως CVD από εναπόθεση χημικών ατμών ή επιφάνεια). Ο γραφίτης υψηλής καθαρότητας χρησιμοποιείται ευρέως σε συστήματα PECVD λόγω της εξαιρετικής ηλεκτρικής αγωγιμότητας και της υψηλής θερμικής αγωγιμότητας (80 ~ 150 W/M · K). ΑυτόΥλικό γραφίτη υψηλής καθαρότηταςΜπορεί να διατηρήσει καλή δομική σταθερότητα και χημική σταθερότητα σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και μπορεί να αντισταθεί στη διάβρωση από τα αντιδραστικά αέρια και το πλάσμα.

Ⅱ. Ποιες είναι οι φυσικές ιδιότητες του σκάφους γραφίτη;

Οι φυσικές ιδιότητες των σκαφών γραφίτη PECVD περιλαμβάνουν:

● Ηλεκτρική αγωγιμότητα: Ο ισοστατικός γραφίτης έχει εξαιρετική ηλεκτρική αγωγιμότητα, η οποία του επιτρέπει να διαχειρίζεται αποτελεσματικά την ηλεκτρική ενέργεια και να προάγει τη δημιουργία και τη διατήρηση του πλάσματος κατά τη διάρκεια της διαδικασίας PECVD.

●  Θερμική αγωγιμότητα: Η υψηλή θερμική αγωγιμότητα του γραφίτη (περίπου 80 ~ 150 W/m · K) βοηθά στη διατήρηση ενός σταθερού περιβάλλοντος θερμοκρασίας κατά τη διάρκεια της διαδικασίας PECVD και εξασφαλίζει ομοιόμορφη εναπόθεση λεπτών μεμβρανών.

●  Πυκνότητα: Η πυκνότητα του εμπορικού πολυκρυσταλλικού γραφίτη κυμαίνεται από 1,30 g/cm³ έως 1,88 g/cm3. Όσο υψηλότερη είναι η πυκνότητα, τόσο καλύτερα είναι οι φυσικές και μηχανικές ιδιότητες, οι οποίες μπορούν να βελτιώσουν τη διάρκεια ζωής του προϊόντος.

Ⅲ. Ποια είναι τα πλεονεκτήματα του σκάφους γραφίτη PECVD σε σύγκριση με το συνηθισμένο σκάφος γραφίτη;

Σε σύγκριση με τα συνηθισμένα σκάφη γραφίτη, τα σκάφη γραφίτη PECVD έχουν τα ακόλουθα πλεονεκτήματα:

Ⅳ. Γιατί να επιλέξετε το σκάφος γραφίτη PECVD του Veteksemicon;

Όπως όλοι γνωρίζουμε, το Veteksemicon είναι κορυφαίος κατασκευαστής και προμηθευτής προϊόντων επικάλυψης ημιαγωγών καιπροϊόντα γραφίτηστην Κίνα. ΜαςΣκάφη γραφίτη PECVDχρησιμοποιούνται κυρίως στις βιομηχανίες ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών, ειδικά στις διαδικασίες PECVD και CVD.

Τα σκάφη γραφίτη χρησιμοποιούνται συνήθως ως μεταφορείς για τη μεταφορά πλακών πυριτίου ή άλλων υλικών για να εξασφαλίσουν ασφαλή χειρισμό και μεταφορά αυτών των υλικών σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και πλάσματος. Για παράδειγμα, στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, τα σκάφη γραφίτη PECVD του Veteksemicon έχουν σχεδιαστεί για διαδικασίες ενισχυμένης χημικής ατμών που ενισχύονται στο πλάσμα. Το σκάφος γραφίτη διαδραματίζει το ρόλο της εναπόθεσης στρώσεων παθητικοποίησης του νιτριδίου πυριτίου (αμαρτίας) και των μεμβράνων χαμηλής διηλεκτρικής σταθεράς (χαμηλής Κ).

Στο φωτοβολταϊκό πεδίο, τα σκάφη γραφίτη PECVD χρησιμοποιούνται για την παρασκευή ηλιακών κυττάρων λεπτών μεμβρανών που βασίζονται σε πυρίτιο (όπως το άμορφο πυρίτιο A-Si: H) και τα στρώματα παθητικοποίησης των κυττάρων PERC. Το σκάφος γραφίτη PECVD του Veteksemic, βελτιστοποιεί τη διαδικασία επικάλυψης με την αποτελεσματική απόσταση από τις δισκότητες πυριτίου και την προαγωγή της εκκένωσης της λάμψης για να επιτευχθεί ομοιόμορφη εναπόθεση επικάλυψης.

Το πιο σημαντικό είναι ότι το Veteksemicon μπορεί να παρέχει προσαρμοσμένα προϊόντα και τεχνικές υπηρεσίες και μπορεί να σχεδιάσει και να κατασκευάσει προϊόντα σκαφών γραφίτη διαφορετικών προδιαγραφών σύμφωνα με τις πραγματικές απαιτήσεις της διαδικασίας σας. Η επιλογή του Veteksemicon σημαίνει την επιλογή ενός ηγέτη της βιομηχανίας με ισχυρή δύναμη στις βιομηχανίες ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών. Ανυπομονούμε ειλικρινά να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας.