Σιλικόν καρβιδικό πλακίδιο τσοκ

Το Vetek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck χρησιμοποιεί τις εξαιρετικές ιδιότητες των υλικών καρβιδίου πυριτίου για να ανταποκριθεί στις αυστηρές απαιτήσεις της παραγωγής ημιαγωγών, ειδικά στην επεξεργασία ημιαγωγών που απαιτεί εξαιρετικά υψηλή ακρίβεια και αξιοπιστία.

Στη διαδικασία επεξεργασίας ημιαγωγών,Καρβίδιο πυριτίουέχει εξαιρετική αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία (μπορεί να λειτουργήσει σταθερά στους 1400 ° C), η χαμηλή αγωγιμότητα (το SIC έχει σχετικά χαμηλή αγωγιμότητα, συνήθως 10^³S/m) και χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής (περίπου 4,0 × 10^^-6/° C), το οποίο είναι ένα απαραίτητο και σημαντικό υλικό, ιδιαίτερα κατάλληλο για την κατασκευή του τσοκ καρβιδίου πυριτίου.

Κατά τη διάρκεια τουεπιθετική διαδικασία ανάπτυξης, ένα λεπτό στρώμα υλικού ημιαγωγού εναποτίθεται σε ένα υπόστρωμα, απαιτώντας απόλυτη σταθερότητα από το δίσκο για να εξασφαλιστεί στρώματα από εναπόθεσης ταινιών ομοιόμορφης και υψηλής ποιότητας. Το SIC Vacuum Chuck επιτυγχάνει αυτό δημιουργώντας μια σταθερή, σταθερή συγκράτηση κενού για να αποτρέψει οποιαδήποτε κίνηση ή παραμόρφωση του δίσκου.

Το Carbide Wafer Chuck του πυριτίου προσφέρει επίσης εξαιρετική αντίσταση σε θερμικό σοκ. Οι ταχείες αλλαγές θερμοκρασίας είναι κοινές στην κατασκευή ημιαγωγών και τα υλικά που δεν μπορούν να αντέξουν αυτές τις διακυμάνσεις μπορεί να σπάσουν, να κάμψουν ή να αποτύχουν. Το καρβίδιο του πυριτίου έχει χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής και μπορεί να διατηρήσει το σχήμα και τη λειτουργία του ακόμη και κάτω από δραστικές μεταβολές της θερμοκρασίας, εξασφαλίζοντας ότι το δίσκο παραμένει ασφαλές κατά τη διάρκεια της διαδικασίας επιταξίας χωρίς κίνηση ή κακή ευθυγράμμιση.

Επιπλέον, τοδιαδικασία επιταξίαςΣυχνά περιλαμβάνει αντιδραστικά αέρια και άλλα διαβρωτικά χημικά. Η χημική αδράνεια του Sic Wafer Chuck εξασφαλίζει ότι δεν επηρεάζεται από αυτά τα σκληρά περιβάλλοντα, διατηρώντας την απόδοσή του και επεκτείνοντας τη διάρκεια ζωής του. Αυτή η χημική ανθεκτικότητα όχι μόνο μειώνει τη συχνότητα της αντικατάστασης του Chuck, αλλά και εξασφαλίζει συνεπή απόδοση προϊόντων σε πολλαπλούς κύκλους παραγωγής, συμβάλλοντας στη βελτίωση της συνολικής αποτελεσματικότητας και της σχέσης κόστους-αποτελεσματικότητας της διαδικασίας παραγωγής ημιαγωγών.

Το Vetek Semiconductor είναι ένας κορυφαίος κατασκευαστής και προμηθευτής προϊόντων τσοκ καρβιδίου πυριτίου στην Κίνα. Μπορούμε να παρέχουμε διάφορους τύπους προϊόντων chuck όπωςΠορώδες κεραμικό τσοκ, ΠΟΡΟΛΟΚΛΗΡΟ ΣΚΥΛΟ, Πορώδες κεραμικό τσοκκαιΤσακ επικάλυψη TAC, κλπ. Η Vetek Semiconductor δεσμεύεται να παρέχει προηγμένες λύσεις τεχνολογίας και προϊόντων για τη βιομηχανία ημιαγωγών. Ελπίζουμε ειλικρινά να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.

Δεδομένα SEM του CVDΚρυσταλλική δομή ταινίας：

Vetek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck Shops：