Θερμαντήρας γραφίτη κεραμικού καρβιδίου πυριτίου

Είναι ημιαγωγός Θερμαντήρας γραφίτη κεραμικού καρβιδίου πυριτίουΣυνδυάζει την εξαιρετική ηλεκτρική και θερμική αγωγιμότητα του γραφίτη με την αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία, την αντοχή στη διάβρωση και την αντοχή στη φθορά της επίστρωσης του κεραμικού άνθρακα πυριτίου και έχει σχεδιαστεί για σκληρά περιβάλλοντα παραγωγής ημιαγωγών. 

Θερμαντήρας γραφίτη κεραμικού καρβιδίου πυριτίουΧρησιμοποιείται κυρίως στον εξοπλισμό επικάλυψης κενού (εξάτμιση) και οι μέθοδοι που χρησιμοποιούνται συνήθως είναι η PCD (χημική ξήρανση στο πλάσμα) και η PVD (απόθεση φυσικού ατμού). Το προϊόν αυτό έχει διαδραματίσει σημαντικό ρόλο στην προώθηση της τεχνολογικής προόδου και στη βελτίωση της αποτελεσματικότητας της παραγωγής στη βιομηχανία ημιαγωγών.Ανυπομονούμε ειλικρινά για περαιτέρω συνεργασία μαζί σας.

Τα υλικά και τα δομικά χαρακτηριστικά του θερμαντήρα γραφίτη κεραμικού πιλότου του πυριτίου είναι τα εξής:

Υπόστρωμα γραφίτη: Ο γραφίτης είναι γνωστός για την υψηλή θερμική αγωγιμότητα του και τον χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής. Μπορεί να ανταποκριθεί γρήγορα στις αλλαγές της θερμοκρασίας και να διατηρήσει τη δομική σταθερότητα σε υψηλές θερμοκρασίες.

Κεραμική επίστρωση πυριτίου άνθρακα: Η επικάλυψη SIC είναι ομοιόμορφα επικαλυμμένη στην επιφάνεια του γραφίτη μέσω της εναπόθεσης χημικών ατμών ή άλλων προηγμένων διεργασιών. Το SIC έχει εξαιρετικά υψηλή σκληρότητα και χημική αντοχή στη διάβρωση, η οποία μπορεί να προστατεύσει το υπόστρωμα γραφίτη από οξείδωση υψηλής θερμοκρασίας και διαβρωτικά περιβάλλοντα.

Ο δομικός σχεδιασμός του ειδικού προϊόντος του κεραμικού θερμαντήρα γραφίτη κεραμικού κελύφους του πυριτίουΤα αναντικατάστατα πλεονεκτήματα του προϊόντος αυτού του προϊόντος στη διαδικασία επεξεργασίας ημιαγωγών:

Αποτελεσματική και ομοιόμορφη θέρμανση:

Θερμική αγωγιμότητα: Η υψηλή θερμική αγωγιμότητα του γραφίτη επιτρέπει στον θερμαντήρα να φτάνει γρήγορα και να διατηρεί την απαιτούμενη θερμοκρασία και η επικάλυψη SIC εξασφαλίζει ομοιόμορφη κατανομή θερμότητας. Αυτό είναι ιδιαίτερα σημαντικό για τις διεργασίες ημιαγωγών που απαιτούν ακριβή έλεγχο της θερμοκρασίας, όπως η ταχεία θερμική επεξεργασία (RTP) και η εναπόθεση χημικών ατμών (CVD).

Ομοιομορφία θερμοκρασίας: Μέσω της ομοιόμορφης κατανομής θερμότητας, ο θερμαντήρας γραφίτη του κεραμικού καρβιδίου πυριτίου μπορεί να μειώσει αποτελεσματικά τη θερμική τάση και τη θερμοκρασία, εξασφαλίζοντας τη συνέπεια και τη σταθερότητα της ποιότητας των πλακιδίων ημιαγωγών καθ 'όλη τη διάρκεια της διαδικασίας θέρμανσης.

Προστασία κατά του διάσημο:

Χημική αντίσταση: Η χημική αντοχή στη διάβρωση της επικάλυψης SIC επιτρέπει στον θερμαντήρα να λειτουργεί σταθερά και για μεγάλο χρονικό διάστημα σε διαβρωτικό αέριο και χημικά περιβάλλοντα, αποφεύγοντας τη βλάβη στο υπόστρωμα γραφίτη. Αυτό το χαρακτηριστικό είναι ιδιαίτερα κρίσιμο σε διεργασίες όπως η εναπόθεση χημικών ατμών (CVD) και η ενισχυμένη απόθεση χημικών ατμών (PECVD).

Αντίσταση οξείδωσης: Σε υψηλές θερμοκρασίες, η επικάλυψη SIC μπορεί να αποτρέψει την οξείδωση του υπόστρωμα γραφίτη, να επεκτείνει τη διάρκεια ζωής του θερμαντήρα και να μειώσει τη συχνότητα και το κόστος συντήρησης του εξοπλισμού.

Μειώστε τη μόλυνση των σωματιδίων:

Σταθερότητα επιφάνειας: Η επικάλυψη SIC δεν είναι μόνο ανθεκτική στη φθορά, αλλά και εμποδίζει την πτώση των σωματιδίων από την επιφάνεια του υλικού λόγω θερμικής κύκλησης ή χημικών αντιδράσεων, μειώνοντας έτσι τον κίνδυνο μόλυνσης των σωματιδίων που μπορεί να συμβεί κατά τη διάρκεια της παραγωγής ημιαγωγών και εξασφάλιση ενός περιβάλλοντος διεργασίας υψηλής καθαρότητας.

Βελτίωση της αξιοπιστίας και της αποδοτικότητας των διαδικασιών:

Σχεδιασμός μεγάλης διάρκειας ζωής: Λόγω του συνδυασμού της μηχανικής αντοχής του γραφίτη και της αντοχής στη φθορά της επίστρωσης SIC, ο θερμαντήρας γραφίτη κεραμικού σιλικόνου μπορεί να διατηρήσει τη λειτουργία υψηλής απόδοσης για μεγάλο χρονικό διάστημα κάτω από σκληρές συνθήκες διεργασίας, βελτιώνοντας σημαντικά τη συνολική αξιοπιστία του εξοπλισμού.

Αποτελεσματική χρήση ενέργειας: Η υψηλή θερμική αγωγιμότητα του γραφίτη και η σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας της επικάλυψης SIC επιτρέπουν στον θερμαντήρα να μειώσει την κατανάλωση ενέργειας, βελτιώνοντας ταυτόχρονα την ακρίβεια του ελέγχου της θερμοκρασίας, βελτιώνοντας έτσι τη συνολική αποτελεσματικότητα της παραγωγής ημιαγωγών.

Βασικές φυσικές ιδιότητες τουΘερμαντήρας γραφίτη κεραμικού καρβιδίου πυριτίου:

Είναι ημιαγωγόςΘερμαντήρας γραφίτη κεραμικού καρβιδίου πυριτίουκαταστήματα:

Επισκόπηση της αλυσίδας βιομηχανίας επιταξίας Chip Epitaxy Semiconductor:

/άλλη επεξεργασία