Κεραμική επίστρωση καρβιδίου πυριτίου

Είναι ημιαγωγός Κεραμική επίστρωση καρβιδίου πυριτίουείναι μια προστατευτική επικάλυψη υψηλής απόδοσης κατασκευασμένη από εξαιρετικά σκληρό και ανθεκτικό σε φθορά του υλικού καρβιδίου πυριτίου (SIC), το οποίο παρέχει εξαιρετική χημική αντοχή στη διάβρωση και σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας. Αυτές οι ιδιότητες είναι ζωτικής σημασίας για την παραγωγή ημιαγωγών, έτσι η κεραμική επίστρωση καρβιδίου πυριτίου χρησιμοποιείται ευρέως σε βασικά συστατικά του εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών.

Ο συγκεκριμένος ρόλος που διαδραματίζει από το Vetek Semiconductor Silicon Carbide Ceramic Coating στην παραγωγή ημιαγωγών είναιως εξής:

Βελτιώστε την ανθεκτικότητα του εξοπλισμού: Η κεραμική επίστρωση καρβιδίου πυριτίου παρέχει εξαιρετική προστασία επιφάνειας για εξοπλισμό παραγωγής ημιαγωγών με εξαιρετικά υψηλή σκληρότητα και αντίσταση στη φθορά. Ειδικά σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας, εξαιρετικά διαβρωτικά διεργασίες, όπως η εναπόθεση χημικών ατμών (CVD) και η χάραξη στο πλάσμα, η χάραξη του πυριτίου, η κεραμική επικάλυψη μπορεί να αποτρέψει αποτελεσματικά τη βλάβη της επιφάνειας του εξοπλισμού λόγω της χημικής διάβρωσης ή της φυσικής φθοράς, επομένως επεκτείνοντας σημαντικά τη διάρκεια ζωής του εξοπλισμού και η μείωση του χρόνου διακοπής του χρόνου που προκαλείται από τη συχνή επαναφορά και τη συντήρηση.

Βελτιώστε την καθαρότητα της διαδικασίας: Στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, οποιαδήποτε μικροσκοπική μόλυνση μπορεί να προκαλέσει ελαττώματα προϊόντος. Η χημική αδράνεια της κεραμικής επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου του επιτρέπει να παραμείνει σταθερή υπό ακραίες συνθήκες, να εμποδίσει το υλικό να απελευθερώνει σωματίδια ή ακαθαρσίες και να εξασφαλίζει την καθαρότητα του περιβάλλοντος κατά τη διάρκεια της διαδικασίας. Αυτό είναι ιδιαίτερα σημαντικό για τα βήματα κατασκευής που απαιτούν υψηλή ακρίβεια και υψηλή καθαριότητα, όπως η εμφύτευση PECVD και ιόντων.

Βελτιστοποίηση της θερμικής διαχείρισης: Σε επεξεργασία ημιαγωγών υψηλής θερμοκρασίας, όπως η ταχεία θερμική επεξεργασία (RTP) και οι διεργασίες οξείδωσης, η υψηλή θερμική αγωγιμότητα της κεραμικής επικάλυψης του καρβιδίου πυριτίου επιτρέπει μια ομοιόμορφη κατανομή θερμοκρασίας μέσα στον εξοπλισμό. Αυτό βοηθά στη μείωση της θερμικής καταπόνησης και της παραμόρφωσης του υλικού που προκαλείται από τις διακυμάνσεις της θερμοκρασίας, βελτιώνοντας έτσι την ακρίβεια και τη συνέπεια της παραγωγής προϊόντων.

Υποστήριξη σύνθετου περιβάλλοντος διεργασίας: Σε διεργασίες που απαιτούν σύνθετο έλεγχο ατμόσφαιρας, όπως η χάραξη ICP και οι διαδικασίες χάραξης PSS, η σταθερότητα και η ανθεκτικότητα στην οξείδωση του κεραμικού θερμαντήρα του καρβιδίου πυριτίου εξασφαλίζουν τη σταθερή απόδοση του εξοπλισμού σε μακροπρόθεσμη λειτουργία, μειώνοντας τον κίνδυνο υποβάθμισης του υλικού ή βλάβης του εξοπλισμού λόγω περιβαλλοντικών αλλαγών.

Είναι ημιαγωγόςεπικεντρώνεται στην κατασκευή και την παροχή υψηλής απόδοσηςΚεραμική επίστρωση καρβιδίου πυριτίου, και δεσμεύεται να παρέχει προηγμένες λύσεις τεχνολογίας και προϊόντων για τη βιομηχανία ημιαγωγών.Ελπίζουμε ειλικρινά να είναι ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.

Βασικές φυσικές ιδιότητες τουΚεραμική επίστρωση καρβιδίου πυριτίου:

Είναι ημιαγωγός Silicon Carbide Ceramic Coating Shops:

Επισκόπηση της αλυσίδας βιομηχανίας επιταξίας Chip Epitaxy Semiconductor: