Κεραμικό θερμαντήρα επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου

Είναι ημιαγωγόςΚεραμικό θερμαντήρα επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου είναι ένας θερμαντήρας που έχει σχεδιαστεί για υψηλή θερμοκρασία και σκληρά περιβάλλοντα. Καλύπτει ένα στρώμα κεραμικής επικάλυψης άνθρακα πυριτίου (SIC) στην επιφάνεια του στοιχείου θέρμανσης για να δώσει στον εξοπλισμό εξαιρετική αντοχή στη θερμότητα, αντίσταση στη διάβρωση και θερμική αγωγιμότητα. 

Κεραμικό θερμαντήρα επίστρωσης καρβιδίου πυριτίουχρησιμοποιείται κυρίως στον εξοπλισμό επικάλυψης κενού (εξάτμιση). Οι κοινώς χρησιμοποιούμενες μέθοδοι είναι η PCD (χημική ξήρανση στο πλάσμα) και η PVD (απόθεση φυσικού ατμού), οι οποίες χρησιμοποιούνται ευρέως στην κατασκευή ημιαγωγών και σε άλλες βιομηχανικές εφαρμογές υψηλής ζήτησης.

Σε συνδυασμό με τον σχεδιασμό επικάλυψης υψηλής απόδοσης του θερμαντήρα κεραμικής επίστρωσης πυριτίου του πυριτίου,Μπορεί να παρέχει ένα εξαιρετικό διάλυμα θέρμανσης για διαδικασίες υψηλής θερμοκρασίας.

Εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα: Το υλικό SIC έχει εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα, εξασφαλίζοντας ότι ο θερμαντήρας μπορεί να επιτύχει ομοιόμορφη κατανομή θερμότητας στην περιοχή εργασίας και να μειώσει τις βαθμίδες θερμοκρασίας.

Παρέχετε ομοιόμορφη διανομή θερμότητας: Ο θερμαντήρας κεραμικής επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου χρησιμοποιεί την υψηλή θερμική αγωγιμότητα του υλικού SIC για να επιτευχθεί ομοιόμορφη κατανομή θερμοκρασίας σε όλη την περιοχή θέρμανσης. Αυτό είναι κρίσιμο για να εξασφαλιστεί η ομοιόμορφη θερμική επεξεργασία των θαλάσσιων δισκίων ημιαγωγών σε διάφορες διεργασίες υψηλής θερμοκρασίας, όπως η ταχεία θερμική επεξεργασία (RTP), η διάχυση και η οξείδωση, αποφεύγοντας τα ελαττώματα του προϊόντος που προκαλούνται από τοπική υπερθέρμανση ή ανομοιόμορφη θερμοκρασία.

Ανοχή υψηλής θερμοκρασίας: Η επικάλυψη SIC επιτρέπει στον θερμαντήρα να αντέχει σε εξαιρετικά υψηλές θερμοκρασίες, συνήθως μέχρι 1600 ° C, κατάλληλο για διάφορες διεργασίες επεξεργασίας υψηλής θερμοκρασίας.

Βελτιώστε την αντίσταση στη θερμότητα: Επειδή η επικάλυψη μπορεί να αντέξει εξαιρετικά υψηλές θερμοκρασίες, εκτελεί καλά σε διαδικασίες που απαιτούν μακροχρόνια λειτουργία υψηλής θερμοκρασίας. Για παράδειγμα, στις διεργασίες εναπόθεσης χημικών ατμών (CVD), ο θερμαντήρας κεραμικής επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου μπορεί να εξασφαλίσει μακροπρόθεσμη σταθερή λειτουργία του εξοπλισμού σε υψηλές θερμοκρασίες και να διατηρεί συνεπείς επιδόσεις θέρμανσης, βελτιώνοντας έτσι την επαναληψιμότητα και την αξιοπιστία της διαδικασίας.

Χημική αντοχή στη διάβρωση: Η επικάλυψη SIC έχει εξαιρετικά υψηλή αντίσταση σε όξινα, αλκαλικά και διαβρωτικά αέρια και μπορεί να παραμείνει σταθερή για μεγάλο χρονικό διάστημα σε ένα σύνθετο περιβάλλον χημικής ατμόσφαιρας, επεκτείνοντας τη διάρκεια ζωής του εξοπλισμού. 

Επέκταση της ζωής του εξοπλισμού: Η επίστρωση SIC έχει εξαιρετική αντοχή στην οξείδωση και αντοχή στη διάβρωση και μπορεί να αντισταθεί αποτελεσματικά στη χημική διάβρωση και την οξείδωση σε υψηλές θερμοκρασίες. Αυτό είναι πολύ κρίσιμο στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, ειδικά σε ένα περιβάλλον που χειρίζεται διαβρωτικά αέρια και χημικά. Η προστατευτική επίδραση της επικάλυψης μπορεί να επεκτείνει σημαντικά τη διάρκεια ζωής του θερμαντήρα και να μειώσει τη συχνότητα του κόστους αντικατάστασης και συντήρησης εξοπλισμού.

Βασικές φυσικές ιδιότητες του θερμαντήρα κεραμικής επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου:

Vetek Semiconductor Silicon Carbide Carbide Ceramic Coater Shops:

Επισκόπηση της βιομηχανίας βιομηχανικής αλυσίδας Vetek Semiconductor Chip Epitaxy: