Κεφαλή ντουζιέρας με επίστρωση γραφίτη CVD καρβιδίου πυριτίου (SiC).

Βασικά Χαρακτηριστικά

• Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα – Η επίστρωση SiC σφραγίζει πλήρως τον γραφίτη, ώστε να μην υπάρχει εξάτμιση αερίων ή μόλυνση από μέταλλο.

• Εξαιρετική κατανομή αερίου – Κάθε κεφαλή ντους είναι κατεργασμένη για να παρέχει σταθερή ταχύτητα αερίου σε ολόκληρη τη γκοφρέτα.

• Ανώτερη αντοχή στη διάβρωση – Το CVD SiC δεν αντιδρά με αλογόνα ή υπολείμματα διεργασίας. Διαρκεί πολύ περισσότερο από τον γυμνό γραφίτη ή τον χαλαζία.

• Εξαιρετική θερμική απόδοση – Η επίστρωση ταιριάζει στενά με τη θερμική διαστολή του γραφίτη, ώστε να μην υπάρχει ρωγμή κατά τη διάρκεια γρήγορων ράμπων θερμοκρασίας.

• Κατασκευή ακριβείας – Χρησιμοποιούμε μηχανική κατεργασία CNC και εσωτερική επίστρωση CVD. Οι διάμετροι και τα σχέδια των οπών διατηρούνται σε αυστηρές ανοχές.

Τεχνικές Προδιαγραφές

Εφαρμογές

Αυτές οι κεφαλές ντους χρησιμοποιούνται σε:

• Συστήματα CVD ημιαγωγών (τόσο παραγωγής όσο και Ε&Α)

• Εξοπλισμός PECVD – διηλεκτρικά χαμηλής θερμοκρασίας

• Αντιδραστήρες MOCVD – Ενώσεις III‑V όπως GaN, InP

• Επίταξη πυριτίου (Si Epi) – για συσκευές ισχύος και CMOS

• Επίταξη SiC – ηλεκτρονικά υψηλής τάσης ισχύος

• Σύνθετα εργοστάσια ημιαγωγών

• Προηγμένη συσκευασία (π.χ. εναπόθεση επένδυσης TSV)

• Οποιοδήποτε εργαλείο λεπτής μεμβράνης που χρειάζεται αντιδιαβρωτικό διανομέα αερίου υψηλής καθαρότητας

Γιατί να επιλέξετε το VETEK;

• Δεν είμαστε εμπορική εταιρεία. Τα πάντα – από την κατεργασία γραφίτη έως την τελική επίστρωση CVD SiC – γίνονται στο εσωτερικό. Αυτό σημαίνει ότι ελέγχουμε την ποιότητα, τον χρόνο παράδοσης και το κόστος.

• Ολοκληρωμένη εσωτερική παραγωγή – χωρίς εκπλήξεις εξωτερικής ανάθεσης

• Προηγμένη τεχνολογία επίστρωσης – πυκνό CVD SiC χωρίς οπές

• Εξατομικευμένη τεχνική υποστήριξη – στείλτε μας το σχέδιο της κεφαλής ντους σας ή απλώς το μοντέλο του αντιδραστήρα

• Αξιόπιστη αλυσίδα εφοδιασμού ημιαγωγών – προμηθεύουμε fabs και OEM εδώ και χρόνια

• Δεν χρειάζεται να επαναπροσδιορίζετε κάθε φορά ένα νέο σχέδιο. Έχουμε ήδη επικαλύψει κεφαλές ντους για πολλές κοινές πλατφόρμες (AMAT, TEL, LAM, ASM, κ.λπ.).