Γκοφρέτα μεταφοράς για VEECO MOCVD (LED Epitaxy)

Χαρακτηριστικά προϊόντος:

1. Βάση γραφίτη υψηλής καθαρότητας με πυκνό στρώμα CVD SiC
2. Καλή θερμική ομοιομορφία για σταθερή επιταξία LED
3. Αντέχει σε NH3, HCl και άλλα διαβρωτικά αέρια που χρησιμοποιούνται στη διαδικασία
4. Χαμηλή αποβολή σωματιδίων και μεγάλη διάρκεια ζωής
5. Τα σχέδια τσέπης μπορούν να προσαρμοστούν για διαφορετικά μεγέθη γκοφρέτας και πλατφόρμες αντιδραστήρων
6. Λειτουργεί καλά για μακροχρόνια λειτουργία MOCVD σε υψηλή θερμοκρασία

Εφαρμογές:
Αυτοί οι φορείς γκοφρέτας χρησιμοποιούνται ευρέως στην επιταξία LED και σύνθετων ημιαγωγών, συμπεριλαμβανομένων:

• GaN επιταξία LED
• Γαλαζοπράσινη επιταξία LED
• Βαθιά ανάπτυξη LED UV
• Επίταξη GaN με βάση το Si
• Γενική κατασκευή σύνθετων ημιαγωγών

Οι προσαρμοσμένες λύσεις μεταφοράς ταιριάζουν σε πολλαπλές πλατφόρμες LED MOCVD, όπως:

• VEECO K465i
• VEECO K700
• VEECO K868
• Aixtron G4/G5
• A7/Unimax

Τεχνικά πλεονεκτήματα:

1. Επίστρωση CVD SiCτεχνολογία που σας δίνει καλή πυκνότητα και καθαρότητα
2. Διακύμανση πάχους επίστρωσης που διατηρείται εντός ±10 μm - βοηθά τη θερμική απόδοση να παραμένει σταθερή
3. Κατεργασία CNC με ακρίβεια 3 μm για καλή εφαρμογή γκοφρέτας και σταθερότητα περιστροφής
4. Η επίστρωση κολλάει καλά και αντιστέκεται στο ράγισμα μετά από επαναλαμβανόμενους κύκλους MOCVD υψηλής θερμοκρασίας
5. Χειρίζεται τα NH3, HCl και άλλα σκληρά περιβάλλοντα επιταξίας χωρίς πρόβλημα
6. Χαμηλή παραγωγή σωματιδίων και καθαρή επιφάνεια για υποστήριξη υψηλής απόδοσηςΕπίταξη LED
7. Μπορεί να επικαλύψει μεγάλα ή προσαρμοσμένα μεγέθη για διαφορετικές πλατφόρμες αντιδραστήρων και διάταξη γκοφρέτας
8. Μακρά εμπειρία μεπροσαρμοσμένα εξαρτήματα γραφίτη και επικαλυμμένα με SiCγια επιταξία LED και σύνθετων ημιαγωγών

FAQ:
1. Τι κάνει ένας φορέας γκοφρέταςMOCVDΕπίταξη LED;

Α: Συγκρατεί και περιστρέφει γκοφρέτες μέσα στον αντιδραστήρα MOCVD και βοηθά στη διατήρηση της θερμοκρασίας σταθερή κατά την επιταξιακή ανάπτυξη.

2. Γιατί να χρησιμοποιήσετε φορείς πλακιδίων γραφίτη με επίστρωση SiC για MOCVD;

Α: ΤοΕπίστρωση CVD SiCπαρέχει καλύτερη αντοχή στη διάβρωση, θερμική σταθερότητα και ανθεκτικότητα. Βοηθά επίσης στη μείωση της μόλυνσης από σωματίδια σε επιτάξεις σε υψηλή θερμοκρασία.

3. Η Vetek Semiconductor κατασκευάζει προσαρμοσμένες συσκευές μεταφοράς γκοφρέτας;
Α: Ναι. Μπορούμε να σχεδιάσουμε προσαρμοσμένους φορείς με βάση την πλατφόρμα του αντιδραστήρα σας, το μέγεθος γκοφρέτας, τη διάταξη τσέπης και άλλες ανάγκες διεργασίας.