Κεφαλή ντους SIC

Το Vetek Semiconductor παρέχει προηγμένη κεφαλή ντους SIC στη βιομηχανία ημιαγωγών. Τα υλικά καρβιδίου πυριτίου έχουν ένα μοναδικό συνδυασμό εξαιρετικών θερμικών, ηλεκτρικών και χημικών ιδιοτήτων, καθιστώντας τα ιδανικά για εφαρμογές στη βιομηχανία ημιαγωγών όπου απαιτούνται υλικά υψηλής απόδοσης. Το Vetek Semiconductor έχει μακρά συσσωρευμένη εμπειρία στην τεχνολογία SIC SIC CVD. Η επαναστατική τεχνολογία του Vetek Semiconductor επιτρέπει την παραγωγή κεφαλής ντους SIC, ένα υλικό καρβιδίου πυριτίου εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας που δημιουργείται μέσω της διαδικασίας της εναπόθεσης χημικών ατμών.

Η κεφαλή ντους SIC είναι ένα κρίσιμο στοιχείο στην κατασκευή ημιαγωγών, ειδικά σχεδιασμένη για συστήματα MOCVD, επιταξία πυριτίου καιΟύτωδιαδικασίες επιταξίας. Φτιαγμένο από ανθεκτικόΣτερεό καρβίδιο πυριτίου (sic), αυτό το στοιχείο μπορεί να αντέξει τις ακραίες συνθήκες επεξεργασίας πλάσματος και εφαρμογών υψηλής θερμοκρασίας.

Καρβίδιο πυριτίου (sic)είναι γνωστό για την υψηλή θερμική αγωγιμότητα, την ανθεκτικότητα της χημικής διάβρωσης και την εξαιρετική μηχανική αντοχή, καθιστώντας το ιδανικό υλικό για τα χύδην sic εξαρτήματα όπως η κεφαλή ντους SIC. Η κεφαλή ντους αερίου εξασφαλίζει ομοιόμορφη κατανομή των αερίων διεργασίας στην επιφάνεια του δίσκου, η οποία είναι απαραίτητη για την παραγωγή επιταξιακών στρωμάτων υψηλής ποιότητας. Οι δακτύλιοι εστίασης και οι δακτύλιοι άκρων, συχνά κατασκευασμένοι από CVD-SIC, διατηρούν ομοιόμορφη κατανομή στο πλάσμα και προστατεύουν το θάλαμο από τη μόλυνση, ενισχύοντας την αποτελεσματικότητα και την απόδοση της επιταξιακής ανάπτυξης.

Με τον ακριβή έλεγχο ροής αερίου και τις εξαιρετικές ιδιότητες υλικού, η κεφαλή ντους SIC αποτελεί βασικό στοιχείο στη σύγχρονη επεξεργασία ημιαγωγών, υποστηρίζοντας προηγμένες εφαρμογές σε επιταξία πυριτίου και επιταξία SIC.

Το Vetek Semiconductor προσφέρει μια χαμηλή αντίσταση Silicon Carbide Semiconductor Head Head. Έχουμε τη δυνατότητα να προσαρμόσουμε μηχανικούς και προμήθειαΠροηγμένα κεραμικά υλικάχρησιμοποιώντας μια ποικιλία μοναδικών δυνατοτήτων.