Στερεά κεφαλή ντους αερίου SIC

Στερεά κεφαλή ντους αερίου SIC

Η VeTek Semiconductor είναι μια ολοκληρωμένη εταιρεία αφιερωμένη στην έρευνα, την παραγωγή και τις πωλήσεις. Η VeTek Semiconductor εργάζεται για την επιταξία ημιαγωγών, τη χάραξη και άλλα προϊόντα που σχετίζονται με τη διαδικασία εδώ και πολλά χρόνια, ειδικά η επίστρωση CVD SiC, η επίστρωση CVD TaC και η CVD Solid SiC είναι τα κορυφαία προϊόντα μας.

Το VeTek Semiconductor Solid SiC Gas Shower Head χρησιμοποιούνται συνήθως για την ομοιόμορφη κατανομή των πρόδρομων αερίων στην επιφάνεια του υποστρώματος κατά τη διάρκεια διεργασιών CVD ημιαγωγών. Η χρήση υλικού CVD-SiC για κεφαλές ντους προσφέρει πολλά πλεονεκτήματα. Η υψηλή θερμική του αγωγιμότητα βοηθά στη διάχυση της θερμότητας που παράγεται στη διαδικασία CVD, εξασφαλίζοντας ομοιόμορφη κατανομή θερμοκρασίας στο υπόστρωμα. Επιπλέον, η χημική σταθερότητα της κεφαλής ντους CVD sic της επιτρέπει να αντέχει τα διαβρωτικά αέρια και τα σκληρά περιβάλλοντα που συναντώνται συνήθως σε διαδικασίες CVD. 

Ο σχεδιασμός των κεφαλών ντους CVD SiC μπορεί να προσαρμοστεί σε συγκεκριμένα συστήματα CVD και απαιτήσεις διαδικασίας. Ωστόσο, συνήθως αποτελούνται από ένα εξάρτημα σε σχήμα πλάκας ή δίσκου με μια σειρά οπών ή σχισμών με ακρίβεια. Το σχέδιο και η γεωμετρία της οπής έχουν σχεδιαστεί προσεκτικά για να διασφαλίζουν ομοιόμορφη κατανομή αερίου και ταχύτητα ροής στην επιφάνεια του υποστρώματος.

Φυσικές ιδιότητες του στερεού SIC