Πορώδη κεραμικά τσοκάκια

Τα πορώδη κεραμικά τσοκ που προσφέρονται από το Veteksemicon είναι κατασκευασμένο από καρβίδιο πυριτίου υψηλής καθαρότητας (SIC). Είναι ιδανικό για συστήματα σύσφιξης κενού, όπου ο χειρισμός μη επαφής χωρίς επαφή, είναι κρίσιμη.

Ⅰ. Ιδιότητες υλικού κλειδιού και οφέλη απόδοσης

1. Εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα και αντοχή στη θερμοκρασία

Το καρβίδιο του πυριτίου προσφέρει υψηλή θερμική αγωγιμότητα (120-200 β/m · k) και μπορεί να αντέξει τις θερμοκρασίες λειτουργίας άνω των 1600 ° C, καθιστώντας το τσοκ είναι ιδανικό για χάραξη πλάσματος, επεξεργασία δέσμης ιόντων και διαδικασίες εναπόθεσης υψηλής θερμοκρασίας.

Ρόλος: Εξασφαλίζει την ομοιόμορφη διάχυση της θερμότητας, τη μείωση της περιποίησης και τη βελτίωση της ομοιομορφίας της διαδικασίας.

2. Ανώτερη μηχανική αντοχή και αντίσταση φθοράς

Η πυκνή μικροδομή του SIC δίνει στον τσοκ εξαιρετικό σκληρότητα (> 2000 HV) και τη μηχανική ανθεκτικότητα, απαραίτητη για τους κύκλους εκφόρτωσης/εκφόρτωσης επαναλαμβανόμενων πλακιδίων και σκληρά περιβάλλοντα διεργασιών.

Ρόλος: Παρατείνει τη διάρκεια ζωής του Chuck διατηρώντας ταυτόχρονα τη σταθερότητα διαστάσεων και την ακρίβεια της επιφάνειας.

3. Ελεγχόμενο πορώδες για ομοιόμορφη κατανομή κενού

Η λεπτώς συντονισμένη πορώδη δομή του κεραμικού επιτρέπει σταθερή αναρρόφηση κενού στην επιφάνεια του δίσκου, εξασφαλίζοντας την ασφαλή τοποθέτηση δισκίων με ελάχιστη μόλυνση των σωματιδίων.

Ρόλος: Ενισχύει τη συμβατότητα καθαρισμού και εξασφαλίζει επεξεργασία με ζημιά χωρίς ζημιές.

4. Εξαιρετική χημική αντίσταση

Η αδράνεια του SIC στα διαβρωτικά αέρια και τα περιβάλλοντα πλάσματος προστατεύει το τσοκ από την αποικοδόμηση κατά τη διάρκεια της χάραξης αντιδραστικών ιόντων ή του χημικού καθαρισμού.

Ρόλος: Ελαχιστοποιεί τη συχνότητα διακοπής και καθαρισμού, μειώνοντας το λειτουργικό κόστος.

Ⅱ. Υπηρεσίες προσαρμογής και υποστήριξης του Veteksemicon

Στο Veteksemicon, παρέχουμε ένα πλήρες φάσμα προσαρμοσμένων υπηρεσιών για να ανταποκριθούμε στις απαιτητικές απαιτήσεις των κατασκευαστών ημιαγωγών:

● Προσαρμοσμένη γεωμετρία και σχεδιασμός μεγέθους πόρων: Προσφέρουμε τσοκ σε διάφορα μεγέθη, πάχη και πυκνότητες πόρων προσαρμοσμένες στις προδιαγραφές του εξοπλισμού σας και στις απαιτήσεις κενού.

● Πρωτότυπα γρήγορης ανάκαμψης: Σύντομοι χρόνοι παράδοσης και χαμηλή υποστήριξη παραγωγής MOQ για Ε & Α και πιλοτικές γραμμές.

● Αξιόπιστη υπηρεσία μετά την πώληση: Από την καθοδήγηση εγκατάστασης έως την παρακολούθηση του κύκλου ζωής, διασφαλίζουμε τη μακροπρόθεσμη σταθερότητα και την τεχνική υποστήριξη.

Ⅲ. Αιτήσεις

● Εξοπλισμός επεξεργασίας και επεξεργασίας πλάσματος

● Εμπιστοσύνη ιόντων και θάλαμοι ανόπτησης

● Συστήματα χημικής μηχανικής στίλβωσης (CMP)

● πλατφόρμες μετρολογίας και επιθεώρησης

● Συστήματα συγκράτησης και σύσφιξης κενού σε περιβάλλοντα καθαρού χώρου

Vekekemeicon Products Shop: