Κεραμικό ηλεκτροστατικό τσοκ

Οι διαδικασίες παραγωγής ημιαγωγών, ειδικά η επεξεργασία των πλακιδίων, διεξάγονται σε περιβάλλον κενού και μεταφέρουν μηχανικά σύσφιξη 

ορισμένοι κίνδυνοι. Όταν η δύναμη είναι επικεντρωμένη στο σημείο σύσφιξης, εύθραυστα πλακίδια πυριτίου μπορούν να ρίξουν μικροσκοπικά θραύσματα, προκαλώντας σοβαρές ζημιές στην παραγωγή.

Σε αυτή την περίπτωση, το κεραμικό ηλεκτροστατικό τσοκ γίνεται μια καλύτερη επιλογή, η οποία καθορίζει το δίσκο με ηλεκτροστατική δύναμη. Η ηλεκτροστατική δύναμη δρα ομοιόμορφα στο δίσκο, οπότε το δίσκο μπορεί να σταθεροποιηθεί κατηγορηματικά, βελτιώνοντας την ακρίβεια της διαδικασίας.

Σύμφωνα με τα σχετικά ερευνητικά έγγραφα, το κεραμικό ηλεκτροστατικό τσοκ έχουν ισχυρότερη αναρρόφηση από άλλες ηλεκτροστατικές τσοκ. Για παράδειγμα, το κεραμικό ηλεκτροστατικό τσοκ έχει πολύ ισχυρότερη αναρρόφηση από το ηλεκτροστατικό τσοκ.

Το Ceramics Chuck είναι συνήθως κατασκευασμένο από κεραμικά υλικά υψηλής απόδοσης όπως το AL2O3, το ALN ή το SIC, το οποίο έχει υψηλή αντοχή στη θερμότητα, μόνωση και αντοχή στη διάβρωση. Το πορώδες κεραμικό τσοκ δεν είναι μόνο σταθερό σε ακραίες θερμοκρασίες, αλλά και αποτελεσματικά αποτρέπει αποτελεσματικά το κεραμικό e-chuck από την αποικοδόμηση λόγω χημικών αντιδραστηρίων και της χάραξης στο πλάσμα κατά τη διάρκεια της διαδικασίας παραγωγής.

Έλεγχος θερμοκρασίας: Η υψηλή θερμική αγωγιμότητα και οι σταθερές θερμικές ιδιότητες των κεραμικών υλικών επιτρέπουν το κεραμικό κενό της αλουμίνας για τον αποτελεσματικό έλεγχο της θερμοκρασίας, βελτιστοποιώντας έτσι την κατανομή της θερμοκρασίας κατά τη διάρκεια της διαδικασίας.

Προσαρμοστικότητα κενού: Το κεραμικό ηλεκτροστατικό τσοκ είναι κατάλληλο για περιβάλλοντα κενού, ειδικά σε διαδικασίες χάραξης χαμηλής πίεσης και υψηλής ακρίβειας.

Παραγωγή χαμηλών σωματιδίων: Το πορώδες κεραμικό e-chuck SIC έχει μια ομαλή επιφάνεια, η οποία μπορεί να μειώσει τη μόλυνση των σωματιδίων κατά τη διάρκεια της στερέωσης των δισκίων και να βοηθήσει στη βελτίωση της απόδοσης του προϊόντος.

Εφαρμογή: Χρησιμοποιείται κυρίως στην κατασκευή ημιαγωγών, το αποσπώμενο κεραμικό ηλεκτροστατικό τσοκ που παρέχει ακριβή τοποθέτηση και σταθερότητα, η οποία είναι πολύ χρήσιμη για τη λιθογραφία, τη χάραξη και άλλες διαδικασίες παραγωγής επεξεργασίας πλακιδίων ημιαγωγών. Βεβαιωθείτε ότι το δίσκο είναι άθικτο κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας και βελτίωση της ποιότητας της παραγωγής τσιπ.

Είναι ημιαγωγόςΚεραμικά καταστήματα παραγωγής e-chuck: