Κεραμικό κενό αλουμίνας

Το Chuck Ceramic Vacuum Alumina είναι ένας κάτοχος πλακιδίων για επιταξιακές διεργασίες στην επεξεργασία ημιαγωγών. Είναι ένα βασικό εργαλείο για τη σταθεροποίηση των πλακών και τη διασφάλιση της ομοιόμορφης ανάπτυξης των επιταξιακών στρωμάτων. Χρησιμοποιείται ευρέως σε επιταξιακό εξοπλισμό όπωςMOCVDκαιLPCVD.

Το κεραμικό κενό Vetek Semiconductor alumina παίζει ζωτικό ρόλο στα στάδια αραίωσης και λείανσης των πλακιδίων της παραγωγής ημιαγωγών. Αυτά τα στάδια συνεπάγονται μειώνοντας με ακρίβεια το πάχος τουυπόστρωμα δισκίουγια την ενίσχυση της διάχυσης θερμότητας των τσιπ, η οποία είναι απαραίτητη για τη βελτίωση της αποτελεσματικότητας και της ζωής των συσκευών ημιαγωγών.

Συμβατό με πολλαπλά μεγέθη πλακιδίων: Το Ceramic Ceramic Ceramic Chuck του Vetek Semiconductor έχει σχεδιαστεί για να υποστηρίζει ένα ευρύ φάσμα μεγεθών πλακιδίων, συμπεριλαμβανομένων 2, 3, 4, 5, 6, 8 και 12 ίντσες. Αυτή η προσαρμοστικότητα το καθιστά κατάλληλο για διάφορα περιβάλλοντα παραγωγής ημιαγωγών, εξασφαλίζοντας συνεπείς και αξιόπιστες επιδόσεις σε διαφορετικά μεγέθη πλακιδίων.

Ανώτερη σύνθεση υλικού: Η βάση του κεραμικού κεραμικού τσοκ αλουμινίου είναι κατασκευασμένη από Ultra-Pure 99.9999% αλουμίνα (AL₂O₃), η οποία προσφέρει εξαιρετική αντίσταση στη χημική επίθεση και τη θερμική σταθερότητα. Η επιφάνεια του τσοκ είναι κατασκευασμένη από πορώδηκαρβίδιο πυριτίου (sic). Το πορώδες κεραμικό υλικό έχει μια πυκνή και ομοιόμορφη δομή, η οποία βελτιώνει την ανθεκτικότητα και την απόδοσή του.

Ωφελείται απόΠορώδη κεραμική τεχνολογία：

Καθαρότητα και ανθεκτικότητα υλικού: Κατασκευασμένο από 99,99% καθαρή αλουμίνα, το κεραμικό κεραμικό alumina Ceramic Chuck αντιστέκεται σε χημική επίθεση και προσφέρει εξαιρετική θερμική σταθερότητα, καθιστώντας το ιδανικό για εξαιρετικά απαιτητικά περιβάλλοντα κατασκευής.

Βέλτιστη διαπερατότητα του αέρα: Τα ομοιόμορφα κατανεμημένα μικροπόρους παρέχουν εξαιρετική διαπερατότητα αέρα και ομοιόμορφη δύναμη προσρόφησης, με αποτέλεσμα την ομαλή και συνεπή λειτουργία.

Ενισχυμένη επίπεδη και παραλληλισμό: Τα κεραμικά κεραμικά σφουγγαρίσματα με μικροπορώδη έχουν εξαιρετική επίπεδη επιπεδότητα και παραλληλισμό, εξασφαλίζοντας ακριβή χειρισμό και σταθερότητα.

Προσαρμοσμένες δυνατότητες υπηρεσίας: Το Veteksemi μπορεί να προσφέρει μια ποικιλία προσαρμόσιμων σχημάτων, συμπεριλαμβανομένων στρογγυλών, τετραγωνικών, δακτυλίων και άλλων σχεδίων, με πάχος που κυμαίνεται από 3mm έως 10mm. Αυτή η προσαρμογή εξασφαλίζει ότι τα κεραμικά μας κεραμικά σφουγγαρίστρα καλύπτουν τις συγκεκριμένες ανάγκες των διαφόρων διαδικασιών παραγωγής ημιαγωγών και είναι σίγουρα η ιδανική επιλογή σας.

Η Vetek Semiconductor δεσμεύεται να παρέχει προηγμένες λύσεις τεχνολογίας και προϊόντων για τη βιομηχανία ημιαγωγών και ελπίζουμε ειλικρινά να είναι ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.

ΟΧημικός τύποςαλουμίνα κεραμικά：

Είναι ημιαγωγόςΚαταστήματα τσοκ κεραμικών αλουμίνας: