Τον τελεστή χειρισμού πλακιδίων

Το End Teply Handling End -Tex είναι ένας τύπος χεριού ρομπότ σχεδιασμένο ειδικά για τη βιομηχανία ημιαγωγών, που συνήθως χρησιμοποιείται για τη διαχείριση και τη μεταφοράπασχαλινά. Το περιβάλλον παραγωγής των πλακών απαιτεί εξαιρετικά υψηλή καθαριότητα, επειδή τα μικροσκοπικά σωματίδια ή μολυσματικές ουσίες μπορούν να προκαλέσουν την αποτυχία των τσιπ κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας. 

Τα κεραμικά υλικά χρησιμοποιούνται ευρέως στην κατασκευή αυτών των χεριών λόγω των εξαιρετικών φυσικών και χημικών τους ιδιοτήτων.

Καθαρότητα και σύνθεση

Η καθαρότητα της αλουμίνας είναι συνήθως ≥99,9% και οι μεταλλικές ακαθαρσίες (όπως MGO, CaO, Sio₂) ελέγχονται εντός 0,05% έως 0,8% για τη βελτίωση της αντίστασης στη χάραξη στο πλάσμα.

Η αλουμίνα α-φάσης (δομή corundum) είναι ο κύριος, ο τύπος κρυστάλλου είναι σταθερός, η πυκνότητα είναι 3,98 g/cm3 και η πραγματική πυκνότητα μετά την πυροσυσσωμάτωση είναι 3,6 ~ 3,9 g/cm3.

Μηχανική ιδιότητα

Σκληρότητα: Mohs Hardness 9 ~ 9.5, Vickers Hardness 1800 ~ 2100 HV, υψηλότερη από ανοξείδωτο χάλυβα και κράμα.

Δύναμη κάμψης: 300 ~ 400 MPa, το οποίο μπορεί να αντέξει τη μηχανική τάση του χειρισμού υψηλής ταχύτητας του δισκίου.

Ελαστικό μέτρο: 380 ~ 400 GPa, για να διασφαλιστεί ότι ο βραχίονας χειρισμού είναι άκαμπτος και δεν είναι εύκολο να παραμορφωθεί.

Θερμικές και ηλεκτρικές ιδιότητες

Θερμική αγωγιμότητα: 20 ~ 30 W/(m · k), εξακολουθεί να διατηρεί σταθερή μόνωση (αντίσταση> 10⁴ ω · cm).

Αντίσταση θερμοκρασίας: Η μακροπρόθεσμη θερμοκρασία χρήσης μπορεί να φτάσει τα 850 ~ 1300 ℃, κατάλληλη για περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας κενού.

Επιφανειακό χαρακτηριστικό

Τραχύτητα: RA≤ 0,2 μm (μετά το στίλβωμα) για να αποφύγετε τις γρατζουνιές

Πορώδες προσρόφησης κενού: Κοίλη δομή που επιτυγχάνεται με ισοστατική πίεση, πορώδες <0,5%.

Δεύτερον, χαρακτηριστικά διαρθρωτικού σχεδιασμού

Ελαφριά βελτιστοποίηση και αντοχή

Χρησιμοποιώντας μια ενσωματωμένη διαδικασία χύτευσης, το βάρος είναι μόνο το 1/3 του μεταλλικού βραχίονα, μειώνοντας το σφάλμα τοποθέτησης που προκαλείται από αδράνεια.

Ο τελικός παράγοντας έχει σχεδιαστεί ως αρπαγή ή απορρόφηση κενού και η επιφάνεια επαφής επικαλύπτεται με αντιστατική επικάλυψη για να αποτρέψει τη μόλυνση του δισκίου από την ηλεκτροστατική προσρόφηση.

Αντίσταση ρύπανσης

Η αλουμίνα υψηλής καθαρότητας είναι χημικά αδρανής, δεν απελευθερώνει μεταλλικά ιόντα και πληροί το πρότυπο ημι -F47 (ρύπανση σωματιδίων <10 ppm).

Τρίτον, απαιτήσεις διαδικασίας παραγωγής

Σχηματισμός και πυροσυσσωμάτωση

Ισοστατική πίεση (πίεση 200 ~ 300 MPa) για να εξασφαλιστεί η πυκνότητα του υλικού> 99,5%.

Υψηλής θερμοκρασίας πυροσυσσωμάτωσης (1600 ~ 1800 ℃), έλεγχος μεγέθους κόκκων σε 1 ~ 5μm για να εξισορροπηθεί η αντοχή και η ανθεκτικότητα.

Κατεργασία ακριβείας

Επεξεργασία με διαμάντια, ακρίβεια διαστάσεων ± 0.01mm, επιπεδότητα ≤ 0.05mm/m

Ημικάνιο Καταστήματα προϊόντων: