Τσοκ με κενό

Εφαρμογή: 

Ένα τσοκ κενών υψηλής απόδοσης κατασκευασμένο για την ακριβή προσρόφηση και σταθερή σταθεροποίηση των πλακιδίων και των πλινθώσεων. Είναι καλά - κατάλληλο για καταστάσεις, όπως η κατασκευή ημιαγωγών, η κοπή των δισκίων, η επεξεργασία ακριβείας, η επιταξία υψηλής θερμοκρασίας, η χάραξη και η εμφύτευση ιόντων.

Βασικές παραμέτρους:

● Ρυθμιζόμενο πορώδες (που κυμαίνεται από 10 έως 200 μm).
● ικανό να αντέξει τις εξαιρετικά υψηλές θερμοκρασίες (μέχρι ≤1600 ° C) και να δείχνει εξαιρετική αντοχή σε θερμικό σοκ.
● κενό προσρόφησης: Το πρότυπο είναι - 90kPa (προσαρμόσιμο για να φτάσει τα 100kPa).

● Διαστάσεις κυπέλλου αναρρόφησης: Μπορεί να υποστηρίξει τις δισκογραφικές μονάδες 4/6/8/12 - ίντσες και το μέγεθος του πλινητή μπορούν να προσαρμοστούν ανάλογα με τις συγκεκριμένες ανάγκες.

Ⅰ. Περιγραφή

Το Veteksemicon Ceramic Vacuum Chuck χρησιμοποιεί μια συνδυασμένη δομή πορώδους κεραμικού και μεταλλικού εξωτερικού δακτυλίου. Μέσω του εξατομικευμένου σχεδιασμού των καναλιών αέρα και των πόρων, συνειδητοποιεί την ομοιόμορφη κατανομή της δύναμης προσρόφησης και της υψηλής σταθερότητας. Αυτός ο τσοκ είναι κατάλληλος για την κατασκευή ημιαγωγών, την κοπή των πλακιδίων, την επεξεργασία ακριβείας κλπ. Μπορεί να λειτουργεί σε ρυθμίσεις υψηλής θερμοκρασίας και υψηλής ταχύτητας και πληροί τις απαιτήσεις συμβατότητας των πλακιδίων/inbots σε διαφορετικά μεγέθη.

Ⅱ. Δομή πυρήνα και πλεονεκτήματα υλικού

Πολλαπλή σύνθετη διάταξη:

✔ επιφανειακό στρώμα: Φτιαγμένο από πορώδη κεραμικό (μπορείτε να επιλέξετε μεταξύ πορώδους καρβιδίου πυριτίου ή πορώδους γραφίτη). Η διάμετρος των πόρων μπορεί να ρυθμιστεί (10 - 200 μm), η οποία εγγυάται ότι η δύναμη προσρόφησης μεταφέρεται ομοιόμορφα στην επιφάνεια του δίσκου, εμποδίζοντας έτσι την τοπική κατασκευή του στρες.

✔ μήτρα: Αποτελείται από ένα εξαιρετικά άκαμπτο μεταλλικό πλαίσιο (είτε από ανοξείδωτο χάλυβα είτε από κράμα αλουμινίου) για να προσφέρει δομική υποστήριξη και αεροστεγές.

✔ αεραγωγοί και πόροι: Οι ακριβώς επεξεργασμένοι εσωτερικοί αεραγωγοί σχηματίζουν ένα δίκτυο, μαζί με ομοιόμορφα διαχωρισμένα μικροπόρους. Αυτή η ρύθμιση υποστηρίζει ταχεία εκχύλιση κενού (δύναμη προσρόφησης μπορεί να φτάσει έως και 90kPa) και άμεση απελευθέρωση.

Ⅲ . Σύγκριση του maχαρακτηριστικά των τενείων

1. Σύγκριση των ιδιοτήτων υλικού

2. Εφαρμογή σεναρίων και περιπτώσεις

✔ Ημιαγωγός

Επιταξική ανάπτυξη: Μπορεί να προσροφήσει σταθερά τα πλακίδια SIC σε υψηλές θερμοκρασίες, εμποδίζοντας τις πλακίδια να στρεβλώνουν και να μολυνθούν.

Λιθογραφία και χάραξη: Επιτρέπει την ακριβή τοποθέτηση σε πλατφόρμες υψηλής ταχύτητας (επιτάχυνση ≤10g), εξασφαλίζοντας την ακρίβεια της ευθυγράμμισης γραφικών.

✔ Επεξεργασία

Κοπή και λείανση: Μπορεί να προσροφήσει βαριά πλινθώματα (όπως ζαφείρι και πυριτίες - καρβίδιο), μειώνοντας τις ρωγμές άκρων λόγω κραδασμών.

✔ Επιστημονική έρευνα και ειδικές τεχνολογίες

Υψηλή - Ανόπτηση θερμοκρασίας: Τα πορώδη πυριτίνα - καρβίδιο αναρρόφησης μπορούν να λειτουργούν συνεχώς στους 1600 ° C χωρίς παραμόρφωση ή εξαερισμό ρύπανσης.

Επικάλυψη κενού: Με σχεδιασμό υψηλού αέρα - σφίξιμο, μπορεί να προσαρμοστεί στο περιβάλλον κοιλοτήτων PVD/CVD.

3. Προσαρμοσμένη υπηρεσία

✔ Προσφέρουμε προσαρμογή για το μέγεθος και το φορτίο.

✔ Τα stomata και ο αεραγωγός μπορούν να βελτιστοποιηθούν για να ικανοποιήσουν συγκεκριμένες απαιτήσεις.

✔ Μπορεί να προσαρμοστεί σε ειδικά περιβάλλοντα.

Ⅳ. Συχνές ερωτήσεις:

Πώς επιτυγχάνουν η συμβατότητα με κενό (π.χ. 12/8/6 ");

Ε: Πώς ταιριάζει ένα μόνο τσοκ σε ένα πλακίδιο 12 ιντσών, 8 ιντσών και 6 ιντσών ταυτόχρονα; Είναι απαραίτητη η φυσική αναδιάρθρωση;

ΕΝΑ:Πολυδιάστατη συμβατότητα μέσω προσαρμοστικού διαχωρισμού των αεραγωγών και του στοματικού:

✔ Δυναμικός στοματικός έλεγχος: Τα στοματικά στην επιφάνεια του κοροϊδεύτη κατανέμονται σε μια περιοχή δακτυλίου και το κύκλωμα αέρα σε διαφορετικές περιοχές ελέγχεται από μια εξωτερική βαλβίδα.

Για παράδειγμα, κατά την απορρόφηση ενός δισκίου 8 ιντσών, είναι ενεργοποιημένοι μόνο οι πόροι στην κεντρική περιοχή και οι εξωτερικοί πόροι είναι κλειστές (για να αποφευχθεί η διαρροή της δύναμης προσρόφησης).

✔ Εύκαμπτος σχεδιασμός αεραγωγών: Το δίκτυο των θυρών διαθέτει αρθρωτή διάταξη που ταιριάζει με τα προφίλ άκρων των δισκίων διαφορετικών μεγεθών για να εξασφαλίσει την ομοιόμορφη κάλυψη της δύναμης προσρόφησης. και Τα πλεονεκτήματα είναι τα ακόλουθα:

Αντικατάσταση μηδενικού υλικού: Δεν χρειάζεται να αφαιρέσετε ή να αντικαταστήσετε το κύπελλο αναρρόφησης, μέσω του διακόπτη λογισμικού ή βαλβίδας αερίου μπορεί να προσαρμοστεί σε διαφορετικά μεγέθη.

Εξοικονόμηση κόστους: Μειώστε το κόστος ανακαίνισης εξοπλισμού και το χρόνο διακοπής λειτουργίας και αυξήστε την ευελιξία της γραμμής παραγωγής.