Χρήσεις στερεού καρβιδίου πυριτίου

Το στερεό καρβίδιο του πυριτίου SIC είναι ένα προηγμένο κεραμικό υλικό που αποτελείται από πυρίτιο (SI) και άνθρακα (C). Δεν είναι μια ουσία που βρίσκεται ευρέως στη φύση και συνήθως απαιτεί σύνθεση υψηλής θερμοκρασίας. Ο μοναδικός συνδυασμός φυσικών και χημικών ιδιοτήτων του καθιστά ένα κλειδί υλικό που εκτελεί καλά σε ακραία περιβάλλοντα, ειδικά στην κατασκευή ημιαγωγών.

Ⅰ. Βασικές φυσικές ιδιότητες του στερεού καρβιδίου πυριτίου (στερεό SIC)

▶ Υψηλή σκληρότητα και αντίσταση στη φθορά:

Το SIC έχει σκληρότητα MOHS περίπου 9-9,5, δεύτερο μόνο στο Diamond. Αυτό δίνει εξαιρετική αντοχή στο μηδέν και τη φθορά, και αποδίδει καλά σε περιβάλλοντα που πρέπει να αντέχουν στη μηχανική τάση ή τη διάβρωση των σωματιδίων.

▶ Εξαιρετική δύναμη και σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας

1. Το SIC μπορεί να διατηρήσει τη μηχανική του αντοχή και τη δομική ακεραιότητα σε εξαιρετικά υψηλές θερμοκρασίες (που λειτουργούν σε θερμοκρασίες μέχρι 1600 ° C ή ακόμη υψηλότερα, ανάλογα με τον τύπο και την καθαρότητα).

2. Ο χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής σημαίνει ότι έχει καλή σταθερότητα διαστάσεων και δεν είναι επιρρεπής σε παραμόρφωση ή ρωγμές όταν η θερμοκρασία αλλάζει δραστικά.

▶ Υψηλή θερμική αγωγιμότητα:

Σε αντίθεση με πολλά άλλα κεραμικά υλικά, η SIC έχει σχετικά υψηλή θερμική αγωγιμότητα. Αυτό του επιτρέπει να διεξάγει και να διαλύει αποτελεσματικά τη θερμότητα, η οποία είναι κρίσιμη για εφαρμογές που απαιτούν ακριβή έλεγχο της θερμοκρασίας και ομοιομορφία.

Ανώτερη χημική αδράνεια και αντοχή στη διάβρωση:

Το SIC παρουσιάζει εξαιρετικά ισχυρή αντίσταση στα πιο ισχυρά οξέα, ισχυρές βάσεις και διαβρωτικά αέρια που χρησιμοποιούνται συνήθως σε διεργασίες ημιαγωγών (όπως αέρια με βάση το φθόριο και χλωρίνη σε περιβάλλοντα πλάσματος), ακόμη και σε υψηλές θερμοκρασίες. Αυτό είναι κρίσιμο για την πρόληψη της διαβίωσης ή μολυσμένων εξαρτημάτων του θαλάμου διεργασίας.

▶ Δυναμικό για υψηλή καθαρότητα:

Εξαιρετικά επικαλύψεις SIC υψηλής καθαρότητας ή στερεά μέρη SIC μπορούν να παραχθούν μέσω συγκεκριμένων διαδικασιών παραγωγής (όπως η εναπόθεση χημικών ατμών - CVD). Στην κατασκευή ημιαγωγών, η καθαρότητα των υλικών επηρεάζει άμεσα το επίπεδο μόλυνσης του δίσκου και την απόδοση του τελικού προϊόντος.

▶ Υψηλή δυσκαμψία (μέτρο Young's):

Το SIC έχει ένα μέτρο υψηλού Young, που σημαίνει ότι είναι πολύ δύσκολο και δεν είναι εύκολο να παραμορφωθεί κάτω από το φορτίο. Αυτό είναι πολύ σημαντικό για τα εξαρτήματα που πρέπει να διατηρήσουν ακριβές σχήμα και μέγεθος (όπως οι φορείς πλακιδίων).

▶ Ρυθμιζόμενες ηλεκτρικές ιδιότητες:

Παρόλο που χρησιμοποιείται συχνά ως μονωτήρας ή ημιαγωγός (ανάλογα με την κρυσταλλική του μορφή και το ντόπινγκ), η υψηλή του αντίσταση βοηθά στη διαχείριση της συμπεριφοράς στο πλάσμα ή αποτρέπει την περιττή εκφόρτιση σε ορισμένες εφαρμογές συστατικών.

Ⅱ. Ειδικές εφαρμογές και πλεονεκτήματα των τελικών προϊόντων Silicon Carbide (στερεά SIC) στην κατασκευή ημιαγωγών

Με βάση τις παραπάνω φυσικές ιδιότητες, το στερεό SIC κατασκευάζεται σε διάφορα συστατικά ακριβείας και χρησιμοποιείται ευρέως σε πολλαπλούς συνδέσμους κλειδιών των διεργασιών εμπρόσθιου τύπου ημιαγωγών.

1) Carrier Solid SIC (στερεός φορέας / βάρκα SIC SIC):

Εφαρμογή:

Χρησιμοποιείται για τη μεταφορά και τη μεταφορά πλακιδίων πυριτίου σε διεργασίες υψηλής θερμοκρασίας (όπως διάχυση, οξείδωση, LPCVD-Χημική εναπόθεση χημικών ατμών χαμηλής πίεσης).

Ανάλυση πλεονεκτημάτων:

1. Σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας: Σε θερμοκρασίες διεργασιών που υπερβαίνουν τους 1000 ° C, οι φορείς SIC δεν θα μαλακώσουν, παραμορφώνονται ή θα παραμορφώνονται τόσο εύκολα όσο το χαλαζία και μπορούν να διατηρήσουν με ακρίβεια την απόσταση των πλακιδίων για να εξασφαλίσουν την ομοιομορφία της διαδικασίας.

2. Μεγάλη διάρκεια ζωής και χαμηλή παραγωγή σωματιδίων: Η σκληρότητα και η αντίσταση της φθοράς του SIC υπερβαίνουν κατά πολύ το χαλαζία και δεν είναι εύκολο να παράγουν μικροσκοπικά σωματίδια για να μολύνουν τα πλακίδια. Η διάρκεια ζωής του είναι συνήθως αρκετές φορές ή ακόμα και δεκάδες φορές εκείνη των μεταφορέων χαλαζία, μειώνοντας το κόστος συχνότητας και συντήρησης αντικατάστασης.

3. Χημική αδράνεια: Μπορεί να αντισταθεί στη χημική διάβρωση στην ατμόσφαιρα της διαδικασίας και να μειώσει τη μόλυνση του δίσκου που προκαλείται από την καθίζηση των δικών του υλικών.

4. Θερμική αγωγιμότητα: Η καλή θερμική αγωγιμότητα βοηθά στην επίτευξη ταχείας και ομοιόμορφης θέρμανσης και ψύξης των μεταφορέων και των πλακών, βελτιώνοντας την αποδοτικότητα της διαδικασίας και την ομοιομορφία της θερμοκρασίας.

5. Υψηλή καθαρότητα: Οι μεταφορείς SIC υψηλής καθαρότητας μπορούν να κατασκευαστούν για να ικανοποιήσουν τις αυστηρές απαιτήσεις των προχωρημένων κόμβων για τον έλεγχο των ακαθαρσιών.

Τιμή χρήστη:

Βελτιώστε τη σταθερότητα των διαδικασιών, αυξήστε την απόδοση του προϊόντος, μειώστε το χρόνο διακοπής που προκαλείται από την αποτυχία ή τη μόλυνση των εξαρτημάτων και τη μείωση του συνολικού κόστους ιδιοκτησίας μακροπρόθεσμα.

2) Στερεά σχήμα δίσκου / κεφαλή ντους αερίου:

Εφαρμογή:

Εγκαταστάθηκε στην κορυφή του θαλάμου αντίδρασης του εξοπλισμού όπως η χάραξη πλάσματος, η εναπόθεση χημικών ατμών (CVD), η εναπόθεση ατομικής στρώσης (ALD) κ.λπ.

Ανάλυση πλεονεκτήματος:

1. Ανοχή στο πλάσμα: Σε ένα περιβάλλον χημικά ενεργού ενεργού πλάσματος υψηλής ενέργειας, η κεφαλή ντους SIC παρουσιάζει εξαιρετικά ισχυρή αντίσταση στον βομβαρδισμό του πλάσματος και τη χημική διάβρωση, η οποία είναι πολύ ανώτερη από το χαλαζία ή την αλουμίνα.

2. Η ομοιομορφία και η σταθερότητα: Η κεφαλή ντους SIC που έχει μειωθεί με ακρίβεια μπορεί να εξασφαλίσει ότι η ροή αερίου κατανέμεται ομοιόμορφα σε ολόκληρη την επιφάνεια του δίσκου, η οποία είναι κρίσιμη για την ομοιομορφία του πάχους του φιλμ, της ομοιομορφίας σύνθεσης ή της χάραξης. Έχει καλή μακροπρόθεσμη σταθερότητα και δεν είναι εύκολο να παραμορφωθεί ή να φράξει.

3. Θερμική διαχείριση: Η καλή θερμική αγωγιμότητα βοηθά στη διατήρηση της ομοιομορφίας της θερμοκρασίας στην επιφάνεια του ντους, η οποία είναι κρίσιμη για πολλές διαδικασίες εναπόθεσης ή χάραξης θερμότητας.

4. Χαμηλή μόλυνση: Η υψηλή καθαρότητα και η χημική αδράνεια μειώνουν τη μόλυνση των υλικών του ντους στη διαδικασία.

Τιμή χρήστη:

Βελτιώστε σημαντικά την ομοιομορφία και την επαναληψιμότητα των αποτελεσμάτων των διαδικασιών, την επέκταση της διάρκειας ζωής του ντους, τη μείωση των χρόνων συντήρησης και των προβλημάτων σωματιδίων και την υποστήριξη πιο προηγμένων και αυστηρότερων συνθηκών διεργασίας.

3) Δαχτυλίδι εστίασης Solid Sic (στερεός δακτύλιος εστίασης / άκρη δακτύλου / άκρη):

Εφαρμογή:

Χρησιμοποιείται κυρίως στο θάλαμο εξοπλισμού χάραξης πλάσματος (όπως το CCP με χωρητικότητα στο πλάσμα ή το επαγωγικά συζευγμένο Etcher ICP του πλάσματος), που συνήθως τοποθετείται στην άκρη του φορέα πλακιδίων (Chuck), που περιβάλλει το δίσκο. Η λειτουργία του είναι να περιορίζει και να καθοδηγεί το πλάσμα έτσι ώστε να λειτουργεί πιο ομοιόμορφα στην επιφάνεια του δίσκου, ενώ προστατεύει άλλα συστατικά του θαλάμου.

Ανάλυση πλεονεκτήματος:

1. Ισχυρή αντίσταση στη διάβρωση του πλάσματος: Αυτό είναι το πιο σημαντικό πλεονέκτημα του δακτυλίου εστίασης SIC. Σε εξαιρετικά επιθετικά πλάσματα χάραξης (όπως χημικές ουσίες που περιέχουν φθορίου ή χλώριο), το SIC φοράει πολύ πιο αργή από τη χαλαζία, την αλουμίνα ή ακόμα και την yttria (οξείδιο του yttrium) και έχει εξαιρετικά μεγάλη διάρκεια ζωής.

2. Διατήρηση κρίσιμων διαστάσεων: Η υψηλή σκληρότητα και η υψηλή ακαμψία επιτρέπουν στους δακτυλίους εστίασης SIC για να διατηρήσουν καλύτερα το ακριβές σχήμα και το μέγεθος τους σε μεγάλες περιόδους χρήσης, η οποία είναι κρίσιμη για τη σταθεροποίηση της μορφολογίας του πλάσματος και την εξασφάλιση της ομοιομορφίας της χάραξης.

3. Παραγωγή χαμηλών σωματιδίων: Λόγω της αντοχής της φθοράς, μειώνει σημαντικά τα σωματίδια που παράγονται από τη γήρανση των εξαρτημάτων, βελτιώνοντας έτσι την απόδοση.

4. Υψηλή καθαρότητα: Αποφύγετε την εισαγωγή μετάλλων ή άλλων ακαθαρσιών.

Τιμή χρήστη:

Επεκτείνετε σε μεγάλο βαθμό τους κύκλους αντικατάστασης εξαρτημάτων, μειώνουν σημαντικά το κόστος συντήρησης και το χρόνο διακοπής του εξοπλισμού. βελτίωση της σταθερότητας και της επαναληψιμότητας των διαδικασιών χάραξης · Μειώστε τα ελαττώματα και βελτιώστε την απόδοση της κατασκευής τσιπ high-end.

Ⅲ.Περίληψη

Το στερεό καρβίδιο του πυριτίου έχει γίνει ένα από τα απαραίτητα βασικά υλικά στη σύγχρονη κατασκευή ημιαγωγών λόγω του μοναδικού συνδυασμού φυσικών ιδιοτήτων - υψηλής σκληρότητας, υψηλού σημείου τήξης, υψηλής θερμικής αγωγιμότητας, εξαιρετικής χημικής σταθερότητας και αντοχής στη διάβρωση. Είτε πρόκειται για μεταφορέα για τη μεταφορά πλακιδίων, μια κεφαλή ντους για τον έλεγχο της κατανομής του φυσικού αερίου, είτε για ένα δακτύλιο εστίασης για την καθοδήγηση του πλάσματος, τα στερεά προϊόντα SIC βοηθούν τους κατασκευαστές τσιπ να αντιμετωπίσουν ολοένα και πιο αυστηρές προκλήσεις διεργασιών με την εξαιρετική απόδοση και αξιοπιστία τους, να βελτιώσουν την αποδοτικότητα της παραγωγής και την απόδοση των προϊόντων και να προωθήσουν την αειφόρο ανάπτυξη της βιομηχανίας ημιαγωγών.

Ως κορυφαίος κατασκευαστής και προμηθευτής στερεών προϊόντων καρβιδίου πυριτίου στην Κίνα,Ημικάνιοπροϊόντα όπωςΣτερεό μεταφορέα / σκάφος, Στερεά σχήμα δίσκου / κεφαλή ντους αερίου, Στερεό δακτύλιο εστίασης / άκρης δακτύλιος SIC SICπωλούνται ευρέως στην Ευρώπη και τις Ηνωμένες Πολιτείες και έχουν κερδίσει υψηλό έπαινο και αναγνώριση από αυτούς τους πελάτες. Ανυπομονούμε ειλικρινά να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα. Καλώς ήλθατε να συμβουλευτείτε.

Mob/Whatsapp: +86-180 6922 0752

Email: anny@veteksemi.com