Προϊόντα
Στερεό SiC Κεφαλή Ντους σε σχήμα δίσκου
  • Στερεό SiC Κεφαλή Ντους σε σχήμα δίσκουΣτερεό SiC Κεφαλή Ντους σε σχήμα δίσκου

Στερεό SiC Κεφαλή Ντους σε σχήμα δίσκου

Η VeTek Semiconductor είναι κορυφαίος κατασκευαστής εξοπλισμού ημιαγωγών στην Κίνα και επαγγελματίας κατασκευαστής και προμηθευτής κεφαλής ντους σε σχήμα δίσκου στερεού SiC. Η κεφαλή ντους σε σχήμα δίσκου χρησιμοποιείται ευρέως στην παραγωγή εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης, όπως η διαδικασία CVD για την εξασφάλιση ομοιόμορφης κατανομής του αερίου αντίδρασης και είναι ένα από τα βασικά συστατικά του κλιβάνου CVD.

Ο ρόλος της κεφαλής ντους σε σχήμα δίσκου στερεού SiC στη διαδικασία CVD είναι να κατανέμει ομοιόμορφα το αέριο αντίδρασης πάνω από την περιοχή εναπόθεσης έτσι ώστε το αέριο να μπορεί να διαχέεται ομοιόμορφα σε όλο τον αντιδραστήρα για να ληφθεί ένα επίπεδο και ομοιόμορφο φιλμ.


Η κεφαλή ντουζιέρας Solid SiC βρίσκεται στο επάνω μέρος του κλιβάνου CVD ή κοντά στην είσοδο αερίου. Το αέριο της αντίδρασης εισέρχεται στη δομή σε σχήμα δίσκου μέσω των οπών που διανέμονται στην κεφαλή ντους και διαχέεται γύρω από την επιφάνεια της κεφαλής ντους. Μέσω του σχεδιασμού πολλαπλών καναλιών και των ομοιόμορφων κατανεμημένων εξόδων, το αέριο της αντίδρασης μπορεί να ρέει ομοιόμορφα σε ολόκληρη την περιοχή του αντιδραστήρα, αποφεύγοντας τη συγκέντρωση ή τις αναταράξεις και διασφαλίζοντας τη συνοχή του πάχους του στρώματος που εναποτίθεται στο υπόστρωμα.

Solid SiC Disc-shaped Shower Head working diagram


Ταυτόχρονα, η δομή της κεφαλής ντους σε σχήμα δίσκου ημιαγωγών έχει επίσης ένα αποτέλεσμα διάχυσης, το οποίο μπορεί να μειώσει αποτελεσματικά τον ρυθμό ροής του αερίου, έτσι ώστε να μπορεί να διαχέεται ομοιόμορφα στην έξοδο του ακροφυσίου και να μειώσει την επίδραση του τοπικού αερίου αλλαγές ροής στο φαινόμενο εναπόθεσης. Βοηθά στην αποφυγή της άμεσης πρόσκρουσης αερίου στο υπόστρωμα και στην πρόληψη του προβλήματος της ανομοιόμορφης εναπόθεσης.


Από την άποψη των υλικών, η κεφαλή ντουζιέρας Solid SiC Gas είναι κατασκευασμένη από ανθεκτικό σε υψηλές θερμοκρασίες, ανθεκτικό στη διάβρωση και υψηλής αντοχής υλικό στερεό SiC με πολύ υψηλή σταθερότητα. Μπορεί να λειτουργήσει σταθερά για μεγάλο χρονικό διάστημα στον κλίβανο CVD και έχει μεγάλη διάρκεια ζωής.


Το VeTek Semiconductor παρέχει εξατομικευμένες υπηρεσίες υψηλής ποιότητας. Το σχήμα και η διάταξη των οπών της κεφαλής ντους σε σχήμα δίσκου στερεού SiC μπορεί να προσαρμοστεί ευέλικτα σύμφωνα με τις απαιτήσεις διαδικασίας του πελάτη, ώστε να προσαρμόζεται σε διαφορετικούς τύπους αερίων, ρυθμούς ροής και υλικά εναπόθεσης. Για διαφορετικά μεγέθη αντιδραστήρων ή μεγεθών υποστρώματος, οι κεφαλές ντους σε σχήμα δίσκου με διαφορετικές διαμέτρους και κατανομή οπών μπορούν να προσαρμοστούν για να βελτιστοποιήσουν το αποτέλεσμα διανομής αερίου.


Η VeTek Semiconductor διαθέτει ώριμες διαδικασίες και προηγμένες τεχνολογίες για προϊόντα Solid SiC Semiconductor Shower Head, βοηθώντας μεγάλο αριθμό πελατών να επιτύχουν συνεχή πρόοδο στις διαδικασίες CVD. Η VeTek Semiconductor ανυπομονεί να γίνει ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.


Φυσικές ιδιότητες του στερεού SiC


Φυσικές ιδιότητες του στερεού SiC
Πυκνότητα
3.21
g/cm3

Αντίσταση ηλεκτρικής ενέργειας
102
Ω/cm

Δύναμη κάμψης
590 MPa
(6000kgf/cm2)
Young's Modulus
450 GPa
(6000kgf/cm2)
Σκληρότητα Vickers
26 Pa
(2650 kgf/mm2)
C.T.E. (RT-1000℃)
4.0 x10-6

Θερμική αγωγιμότητα (RT)
250 W/mK

VeTek SemiconductorΚαταστήματα παραγωγής ντουζιέρας σε σχήμα δίσκου συμπαγούς SiC


Semiconductor EquipmentGraphite epitaxial substrateGraphite ring assemblySemiconductor process equipment



Hot Tags: Στερεά κεφαλή ντους σε σχήμα δίσκου SiC, Κίνα, Κατασκευαστής, Προμηθευτής, Εργοστάσιο, Προσαρμοσμένη, Αγορά, Προηγμένη, Ανθεκτική, Κατασκευασμένη στην Κίνα
Αποστολή Ερώτησης
Πληροφορίες επαφής
  • Διεύθυνση

    Wangda Road, οδός Ziyang, κομητεία Wuyi, πόλη Jinhua, επαρχία Zhejiang, Κίνα

  • ΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗ ΔΙΕΥΘΥΝΣΗ

    anny@veteksemi.com

Για ερωτήσεις σχετικά με την επίστρωση καρβιδίου πυριτίου, την επίστρωση καρβιδίου τανταλίου, τον ειδικό γραφίτη ή τον τιμοκατάλογο, αφήστε το email σας σε εμάς και θα επικοινωνήσουμε μαζί μας εντός 24 ωρών.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept